3 inç Yüksek Saflıkta (Doplanmamış) Silisyum Karbürlü Plakalar Yarı Yalıtımlı Sic Alt Tabakalar (HPSl)
Özellikler
1. Fiziksel ve Yapısal Özellikler
●Malzeme Türü: Yüksek Saflıkta (Katkılanmamış) Silisyum Karbür (SiC)
●Çap: 3 inç (76,2 mm)
●Kalınlık: 0,33-0,5 mm, uygulama gereksinimlerine göre özelleştirilebilir.
●Kristal Yapı: Yüksek elektron hareketliliği ve termal kararlılığı ile bilinen, altıgen kafesli 4H-SiC politipi.
●Oryantasyon:
oStandart: [0001] (C düzlemi), çok çeşitli uygulamalar için uygundur.
oİsteğe bağlı: Cihaz katmanlarının epitaksiyel büyümesinin artırılması için eksen dışı (4° veya 8° eğim).
●Düzlük: Toplam kalınlık değişimi (TTV) ●Yüzey Kalitesi:
oDüşük kusur yoğunluğuna (<10/cm² mikro boru yoğunluğu) kadar cilalanmıştır. 2. Elektriksel Özellikler ●Direnç: >109^99 Ω·cm, kasıtlı katkı maddelerinin ortadan kaldırılmasıyla korunur.
●Dielektrik Dayanıklılık: Minimum dielektrik kayıpları ile yüksek voltaj dayanıklılığı, yüksek güç uygulamaları için idealdir.
●Isı İletkenliği: 3,5-4,9 W/cm·K, yüksek performanslı cihazlarda etkili ısı dağılımı sağlar.
3. Termal ve Mekanik Özellikler
●Geniş Bant Aralığı: 3,26 eV, yüksek voltaj, yüksek sıcaklık ve yüksek radyasyon koşullarında çalışmayı destekler.
●Sertlik: Mohs skalası 9 olup, işleme sırasında mekanik aşınmaya karşı dayanıklılık sağlar.
●Termal Genleşme Katsayısı: 4.2×10−6/K4.2 \times 10^{-6}/\text{K}4.2×10−6/K, sıcaklık değişimlerinde boyutsal kararlılığı garanti eder.
Parametre | Üretim Sınıfı | Araştırma Sınıfı | Sahte Sınıf | Birim |
Seviye | Üretim Sınıfı | Araştırma Sınıfı | Sahte Sınıf | |
Çap | 76,2 ± 0,5 | 76,2 ± 0,5 | 76,2 ± 0,5 | mm |
Kalınlık | 500 ± 25 | 500 ± 25 | 500 ± 25 | µm |
Wafer Yönlendirmesi | Eksen üzerinde: <0001> ± 0,5° | Eksen üzerinde: <0001> ± 2,0° | Eksen üzerinde: <0001> ± 2,0° | derece |
Mikro Boru Yoğunluğu (MPD) | ≤ 1 | ≤ 5 | ≤ 10 | cm−2^-2−2 |
Elektriksel Direnç | ≥ 1E10 | ≥ 1E5 | ≥ 1E5 | Ω·cm |
Dopant | Katkısız | Katkısız | Katkısız | |
Birincil Düz Yönlendirme | {1-100} ± 5,0° | {1-100} ± 5,0° | {1-100} ± 5,0° | derece |
Birincil Düz Uzunluk | 32,5 ± 3,0 | 32,5 ± 3,0 | 32,5 ± 3,0 | mm |
İkincil Düz Uzunluk | 18,0 ± 2,0 | 18,0 ± 2,0 | 18,0 ± 2,0 | mm |
İkincil Düz Yönlendirme | Birincil düzlükten 90° saat yönünde ± 5.0° | Birincil düzlükten 90° saat yönünde ± 5.0° | Birincil düzlükten 90° saat yönünde ± 5.0° | derece |
Kenar Dışlama | 3 | 3 | 3 | mm |
LTV/TTV/Yay/Çarpıtma | 3 / 10 / ±30 / 40 | 3 / 10 / ±30 / 40 | 5 / 15 / ±40 / 45 | µm |
Yüzey Pürüzlülüğü | Si-yüz: CMP, C-yüz: Cilalı | Si-yüz: CMP, C-yüz: Cilalı | Si-yüz: CMP, C-yüz: Cilalı | |
Çatlaklar (Yüksek Yoğunluklu Işık) | Hiçbiri | Hiçbiri | Hiçbiri | |
Altıgen Plakalar (Yüksek Yoğunluklu Işık) | Hiçbiri | Hiçbiri | Toplam alan %10 | % |
Polytype Alanları (Yüksek Yoğunluklu Işık) | Toplam alan %5 | Toplam alan %20 | Toplam alan %30 | % |
Çizikler (Yüksek Yoğunluklu Işık) | ≤ 5 çizik, kümülatif uzunluk ≤ 150 | ≤ 10 çizik, kümülatif uzunluk ≤ 200 | ≤ 10 çizik, kümülatif uzunluk ≤ 200 | mm |
Kenar Kırılması | Hiçbiri ≥ 0,5 mm genişlik/derinlik | 2 izin verilen ≤ 1 mm genişlik/derinlik | 5 izin verilen ≤ 5 mm genişlik/derinlik | mm |
Yüzey Kirliliği | Hiçbiri | Hiçbiri | Hiçbiri |
Uygulamalar
1. Güç Elektroniği
HPSI SiC alt tabakalarının geniş bant aralığı ve yüksek termal iletkenliği, bunları aşağıdaki gibi aşırı koşullarda çalışan güç aygıtları için ideal hale getirir:
●Yüksek Gerilim Cihazları: Verimli güç dönüşümü için MOSFET'ler, IGBT'ler ve Schottky Bariyer Diyotlar (SBD'ler) dahil.
●Yenilenebilir Enerji Sistemleri: Güneş enerjisi invertörleri ve rüzgar türbini kontrolörleri gibi.
●Elektrikli Araçlar (EV'ler): Verimliliği artırmak ve boyutu küçültmek için invertörlerde, şarj cihazlarında ve güç aktarma sistemlerinde kullanılır.
2. RF ve Mikrodalga Uygulamaları
HPSI yongaların yüksek özdirenci ve düşük dielektrik kayıpları, radyo frekansı (RF) ve mikrodalga sistemleri için önemlidir, bunlara şunlar dahildir:
●Telekomünikasyon Altyapısı: 5G ağları ve uydu haberleşmeleri için baz istasyonları.
●Havacılık ve Savunma: Radar sistemleri, faz dizili antenler ve aviyonik bileşenler.
3. Optoelektronik
4H-SiC'nin şeffaflığı ve geniş bant aralığı, aşağıdakiler gibi optoelektronik cihazlarda kullanılmasını mümkün kılar:
●UV Fotodedektörler: Çevresel izleme ve tıbbi teşhis için.
●Yüksek Güçlü LED'ler: Katı hal aydınlatma sistemlerini destekler.
●Lazer Diyotlar: Endüstriyel ve tıbbi uygulamalar için.
4. Araştırma ve Geliştirme
HPSI SiC alt tabakaları, gelişmiş malzeme özelliklerini ve cihaz imalatını keşfetmek için akademik ve endüstriyel Ar-Ge laboratuvarlarında yaygın olarak kullanılmaktadır. Bunlara şunlar dahildir:
●Epitaksiyel Tabaka Büyümesi: Kusur azaltma ve katman optimizasyonu üzerine çalışmalar.
●Taşıyıcı Hareketliliği Çalışmaları: Yüksek saflıktaki malzemelerde elektron ve delik taşınımının incelenmesi.
●Prototipleme: Yeni cihazların ve devrelerin ilk geliştirilmesi.
Avantajları
Üstün Kalite:
Yüksek saflık ve düşük hata yoğunluğu, ileri düzey uygulamalar için güvenilir bir platform sağlar.
Isıl Kararlılık:
Mükemmel ısı dağıtma özellikleri cihazların yüksek güç ve sıcaklık koşullarında verimli bir şekilde çalışmasını sağlar.
Geniş Uyumluluk:
Mevcut yönlendirmeler ve özel kalınlık seçenekleri, çeşitli cihaz gereksinimlerine uyum sağlamayı garanti eder.
Dayanıklılık:
Olağanüstü sertliği ve yapısal kararlılığı, işleme ve işletme sırasında aşınma ve deformasyonu en aza indirir.
Çok yönlülük:
Yenilenebilir enerjiden havacılık ve telekomünikasyona kadar çok çeşitli sektörlere uygundur.
Çözüm
3 inçlik Yüksek Saflıkta Yarı Yalıtımlı Silisyum Karbür yonga, yüksek güç, yüksek frekans ve optoelektronik cihazlar için alt tabaka teknolojisinin zirvesini temsil eder. Mükemmel termal, elektriksel ve mekanik özelliklerinin birleşimi, zorlu ortamlarda güvenilir performans sağlar. Güç elektroniğinden ve RF sistemlerinden optoelektroniklere ve gelişmiş Ar-Ge'ye kadar, bu HPSI alt tabakaları yarının yenilikleri için temel oluşturur.
Daha fazla bilgi veya sipariş vermek için lütfen bizimle iletişime geçin. Teknik ekibimiz ihtiyaçlarınıza göre uyarlanmış rehberlik ve özelleştirme seçenekleri sunmak için hazırdır.
Ayrıntılı Diyagram



