3 inç Yüksek Saflıkta (Katkısız) Silisyum Karbür Levhalar Yarı İletken SiC Alt Tabakalar (HPSl)
Özellikler
1. Fiziksel ve Yapısal Özellikler
●Malzeme Türü: Yüksek Saflıkta (Katkısız) Silisyum Karbür (SiC)
●Çap: 3 inç (76,2 mm)
●Kalınlık: 0,33-0,5 mm, uygulama gereksinimlerine göre özelleştirilebilir.
●Kristal Yapı: Yüksek elektron hareketliliği ve termal kararlılığıyla bilinen altıgen kafesli 4H-SiC polimorfu.
●Yönlendirme:
oStandart: [0001] (C düzlemi), çok çeşitli uygulamalar için uygundur.
İsteğe bağlı: Cihaz katmanlarının epitaksiyel büyümesini iyileştirmek için eksen dışı (4° veya 8° eğim).
●Düzlük: Toplam kalınlık değişimi (TTV) ●Yüzey Kalitesi:
1. Düşük kusur yoğunluğuna (<10/cm² mikro boru yoğunluğu) kadar cilalanmıştır. 2. Elektriksel Özellikler ●Direnç: >109^99 Ω·cm, kasıtlı katkı maddelerinin ortadan kaldırılmasıyla korunmuştur.
●Dielektrik Dayanımı: Minimum dielektrik kayıplarıyla yüksek voltaj dayanımı, yüksek güç gerektiren uygulamalar için idealdir.
●Isı İletkenliği: 3,5-4,9 W/cm·K, yüksek performanslı cihazlarda etkili ısı dağılımı sağlar.
3. Isıl ve Mekanik Özellikler
●Geniş Bant Aralığı: 3,26 eV, yüksek voltaj, yüksek sıcaklık ve yüksek radyasyon koşullarında çalışmayı destekler.
●Sertlik: Mohs ölçeğinde 9, işleme sırasında mekanik aşınmaya karşı sağlamlık sağlar.
●Termal Genleşme Katsayısı: 4,2×10⁻⁶/K, sıcaklık değişimleri altında boyutsal kararlılığı sağlar.
| Parametre | Üretim Kalitesi | Araştırma Düzeyi | Sahte Not | Birim |
| Seviye | Üretim Kalitesi | Araştırma Düzeyi | Sahte Not | |
| Çap | 76,2 ± 0,5 | 76,2 ± 0,5 | 76,2 ± 0,5 | mm |
| Kalınlık | 500 ± 25 | 500 ± 25 | 500 ± 25 | µm |
| Yonga Levha Yönlendirmesi | Eksen üzerinde: <0001> ± 0,5° | Eksen üzerinde: <0001> ± 2,0° | Eksen üzerinde: <0001> ± 2,0° | derece |
| Mikroboru Yoğunluğu (MPD) | ≤ 1 | ≤ 5 | ≤ 10 | cm−2^-2−2 |
| Elektriksel Direnç | ≥ 1E10 | ≥ 1E5 | ≥ 1E5 | Ω·cm |
| Katkı maddesi | Katkısız | Katkısız | Katkısız | |
| Birincil Düzlem Yönlendirmesi | {1-100} ± 5,0° | {1-100} ± 5,0° | {1-100} ± 5,0° | derece |
| Birincil Düz Uzunluk | 32,5 ± 3,0 | 32,5 ± 3,0 | 32,5 ± 3,0 | mm |
| İkincil Düz Uzunluk | 18,0 ± 2,0 | 18,0 ± 2,0 | 18,0 ± 2,0 | mm |
| İkincil Düzlem Yönlendirmesi | Ana düzlemden 90° saat yönünde ± 5,0° | Ana düzlemden 90° saat yönünde ± 5,0° | Ana düzlemden 90° saat yönünde ± 5,0° | derece |
| Kenar Hariç Tutma | 3 | 3 | 3 | mm |
| LTV/TTV/Yay/Çarp | 3 / 10 / ±30 / 40 | 3 / 10 / ±30 / 40 | 5 / 15 / ±40 / 45 | µm |
| Yüzey Pürüzlülüğü | Si yüzeyi: CMP, C yüzeyi: Cilalı | Si yüzeyi: CMP, C yüzeyi: Cilalı | Si yüzeyi: CMP, C yüzeyi: Cilalı | |
| Çatlaklar (Yüksek Yoğunluklu Işık) | Hiçbiri | Hiçbiri | Hiçbiri | |
| Altıgen Plakalar (Yüksek Yoğunluklu Işık) | Hiçbiri | Hiçbiri | Kümülatif alan %10 | % |
| Politip Alanları (Yüksek Yoğunluklu Işık) | Kümülatif alan %5 | Toplam alan %20 | Toplam alan %30 | % |
| Çizikler (Yüksek Yoğunluklu Işık) | ≤ 5 çizik, toplam uzunluk ≤ 150 | ≤ 10 çizik, toplam uzunluk ≤ 200 | ≤ 10 çizik, toplam uzunluk ≤ 200 | mm |
| Kenar Yontması | Hiçbiri ≥ 0,5 mm genişlik/derinlik | 2 adet, ≤ 1 mm genişlik/derinlik için izin verilir. | 5 mm'den küçük/genişlik için izin verilen 5 adet değer. | mm |
| Yüzey Kirliliği | Hiçbiri | Hiçbiri | Hiçbiri |
Uygulamalar
1. Güç Elektroniği
HPSI SiC alt tabakalarının geniş bant aralığı ve yüksek termal iletkenliği, onları aşağıdakiler gibi aşırı koşullarda çalışan güç cihazları için ideal hale getirir:
●Yüksek Gerilim Cihazları: Verimli güç dönüşümü için MOSFET'ler, IGBT'ler ve Schottky Bariyer Diyotları (SBD'ler) dahil.
●Yenilenebilir Enerji Sistemleri: Güneş invertörleri ve rüzgar türbini kontrolörleri gibi.
●Elektrikli Araçlar (EV'ler): Verimliliği artırmak ve boyutu küçültmek için invertörlerde, şarj cihazlarında ve güç aktarma sistemlerinde kullanılır.
2. RF ve Mikrodalga Uygulamaları
HPSI levhaların yüksek özdirenci ve düşük dielektrik kayıpları, aşağıdakiler de dahil olmak üzere radyo frekansı (RF) ve mikrodalga sistemleri için çok önemlidir:
●Telekomünikasyon Altyapısı: 5G ağları ve uydu iletişimi için baz istasyonları.
●Havacılık ve Savunma: Radar sistemleri, faz dizili antenler ve aviyonik bileşenler.
3. Optoelektronik
4H-SiC'nin şeffaflığı ve geniş bant aralığı, aşağıdakiler gibi optoelektronik cihazlarda kullanımını mümkün kılar:
●UV Fotodedektörler: Çevresel izleme ve tıbbi teşhis için.
●Yüksek Güçlü LED'ler: Katı hal aydınlatma sistemlerini destekler.
●Lazer Diyotlar: Endüstriyel ve tıbbi uygulamalar için.
4. Araştırma ve Geliştirme
HPSI SiC alt tabakalar, aşağıdakiler de dahil olmak üzere, gelişmiş malzeme özelliklerinin araştırılması ve cihaz üretimi için akademik ve endüstriyel Ar-Ge laboratuvarlarında yaygın olarak kullanılmaktadır:
●Epitaksiyel Katman Büyümesi: Kusurların azaltılması ve katman optimizasyonu üzerine çalışmalar.
●Taşıyıcı Hareketliliği Çalışmaları: Yüksek saflıktaki malzemelerde elektron ve delik taşınımının incelenmesi.
●Prototipleme: Yeni cihazların ve devrelerin ilk geliştirme aşaması.
Avantajlar
Üstün Kalite:
Yüksek saflık ve düşük kusur yoğunluğu, gelişmiş uygulamalar için güvenilir bir platform sağlar.
Termal Kararlılık:
Mükemmel ısı dağıtım özellikleri, cihazların yüksek güç ve sıcaklık koşullarında verimli bir şekilde çalışmasına olanak tanır.
Geniş Uyumluluk:
Mevcut yönlendirmeler ve özel kalınlık seçenekleri, çeşitli cihaz gereksinimlerine uyum sağlama olanağı sunar.
Dayanıklılık:
Olağanüstü sertlik ve yapısal kararlılık, işleme ve çalışma sırasında aşınmayı ve deformasyonu en aza indirir.
Çok yönlülük:
Yenilenebilir enerjiden havacılık ve telekomünikasyona kadar çok çeşitli sektörler için uygundur.
Çözüm
3 inçlik Yüksek Saflıkta Yarı Yalıtkan Silisyum Karbür levha, yüksek güçlü, yüksek frekanslı ve optoelektronik cihazlar için alt tabaka teknolojisinin zirvesini temsil eder. Mükemmel termal, elektriksel ve mekanik özelliklerinin birleşimi, zorlu ortamlarda güvenilir performans sağlar. Güç elektroniği ve RF sistemlerinden optoelektroniğe ve gelişmiş Ar-Ge'ye kadar, bu HPSI alt tabakalar, yarının yeniliklerinin temelini oluşturur.
Daha fazla bilgi almak veya sipariş vermek için lütfen bizimle iletişime geçin. Teknik ekibimiz, ihtiyaçlarınıza uygun rehberlik ve özelleştirme seçenekleri sunmak için hazırdır.
Ayrıntılı Diyagram















