LT Lityum Tantal (LiTaO3) Kristal 2 inç/3 inç/4 inç/6 inç Oryantasyon Y-42°/36°/108° Kalınlık 250-500 µm
Teknik parametreler
| İsim | Optik sınıfı LiTaO3 | Ses tablası seviyesi LiTaO3 |
| Eksenel | Z kesimi + / - 0,2 ° | 36° Y kesim / 42° Y kesim / X kesim(+ / - 0,2 °) |
| Çap | 76,2 mm + / - 0,3 mm/100±0,2 mm | 76,2 mm +/- 0,3 mm100 mm +/- 0,3 mm veya 150 ± 0,5 mm |
| Referans düzlemi | 22 mm +/- 2 mm | 22 mm +/- 2 mm32 mm +/- 2 mm |
| Kalınlık | 500 µm +/- 5 mm1000 µm +/- 5 mm | 500 µm +/- 20 mm350 µm +/- 20 mm |
| TTV | ≤ 10 µm | ≤ 10 µm |
| Curie sıcaklığı | 605 °C + / - 0,7 °C (DTA yöntemi) | 605 °C + / -3 °C (DTA yöntemi) |
| Yüzey kalitesi | Çift taraflı parlatma | Çift taraflı parlatma |
| pahlanmış kenarlar | kenar yuvarlama | kenar yuvarlama |
Başlıca Özellikler
1. Kristal Yapısı ve Elektriksel Performans
• Kristalografik Kararlılık: %100 4H-SiC polimorf baskınlığı, sıfır çok kristalli inklüzyon (örneğin, 6H/15R), XRD salınım eğrisinin yarı maksimum genişliği (FWHM) ≤32,7 ark saniye.
• Yüksek Taşıyıcı Hareketliliği: 5.400 cm²/V·s (4H-SiC) elektron hareketliliği ve 380 cm²/V·s delik hareketliliği, yüksek frekanslı cihaz tasarımlarına olanak tanır.
• Radyasyon Dayanıklılığı: 1 MeV nötron ışınımına 1×10¹⁵ n/cm² yer değiştirme hasar eşiğiyle dayanır; havacılık ve nükleer uygulamalar için idealdir.
2. Isıl ve Mekanik Özellikler
• Olağanüstü Isı İletkenliği: 4,9 W/cm·K (4H-SiC), silikonunkinin üç katı, 200°C'nin üzerinde çalışmayı destekler.
• Düşük Termal Genleşme Katsayısı: 4,0×10⁻⁶/K (25–1000°C) CTE değeri, silikon tabanlı ambalajlarla uyumluluğu sağlar ve termal stresi en aza indirir.
3. Hata Kontrolü ve İşleme Hassasiyeti
• Mikro boru yoğunluğu: <0,3 cm⁻² (8 inçlik plakalar), dislokasyon yoğunluğu <1.000 cm⁻² (KOH aşındırma yöntemiyle doğrulandı).
• Yüzey Kalitesi: CMP ile Ra <0,2 nm'ye kadar parlatılmış olup, EUV litografi sınıfı düzlük gereksinimlerini karşılamaktadır.
Başlıca Uygulamalar
| Alan adı | Uygulama Senaryoları | Teknik Avantajlar |
| Optik İletişim | 100G/400G lazerler, silikon fotonik hibrit modüller | InP tohum alt tabakaları, doğrudan bant aralığı (1,34 eV) ve Si tabanlı heteroepitaksiye olanak tanıyarak optik bağlantı kaybını azaltır. |
| Yeni Enerji Araçları | 800V yüksek voltajlı invertörler, araç içi şarj cihazları (OBC) | 4H-SiC alt tabakalar >1200 V gerilime dayanıklıdır, bu da iletim kayıplarını %50 ve sistem hacmini %40 azaltır. |
| 5G İletişimi | Milimetre dalga RF cihazları (PA/LNA), baz istasyonu güç amplifikatörleri | Yarı yalıtkan SiC alt tabakalar (direnç >10⁵ Ω·cm), yüksek frekanslı (60 GHz+) pasif entegrasyonu mümkün kılar. |
| Endüstriyel Ekipman | Yüksek sıcaklık sensörleri, akım transformatörleri, nükleer reaktör monitörleri | InSb tohum alt tabakaları (0,17 eV bant aralığı), 10 T'de %300'e kadar manyetik hassasiyet sağlar. |
LiTaO₃ Levhaları - Temel Özellikler
1. Üstün Piezoelektrik Performansı
• Yüksek piezoelektrik katsayıları (d₃₃~8-10 pC/N, K²~0.5%), 5G RF filtreleri için <1,5dB ekleme kaybına sahip yüksek frekanslı SAW/BAW cihazlarına olanak tanır.
• Mükemmel elektromekanik bağlantı, 6 GHz altı ve milimetre dalga uygulamaları için geniş bant genişliğine (≥%5) sahip filtre tasarımlarını destekler.
2. Optik Özellikler
• 40 GHz'den yüksek bant genişliğine ulaşan elektro-optik modülatörler için geniş bant şeffaflığı (>400-5000 nm aralığında %70'in üzerinde iletim)
• Güçlü doğrusal olmayan optik duyarlılık (χ⁽²⁾~30pm/V), lazer sistemlerinde verimli ikinci harmonik üretimi (SHG) sağlar.
3. Çevresel İstikrar
• Yüksek Curie sıcaklığı (600°C), otomotiv sınıfı (-40°C ila 150°C) ortamlarda piezoelektrik tepkiyi korur.
• Asitlere/alkalilere karşı kimyasal inertlik (pH 1-13), endüstriyel sensör uygulamalarında güvenilirliği sağlar.
4. Özelleştirme Yetenekleri
• Yönlendirme mühendisliği: Özel piezoelektrik tepkiler için X-kesim (51°), Y-kesim (0°), Z-kesim (36°)
• Katkı maddesi seçenekleri: Mg katkılı (optik hasara karşı direnç), Zn katkılı (geliştirilmiş d₃₃)
• Yüzey işlemleri: Epitaksiyel kaplamaya hazır parlatma (Ra<0,5nm), ITO/Au metalizasyon
LiTaO₃ Levhalar - Başlıca Uygulamalar
1. RF Ön Uç Modülleri
· Frekans sıcaklık katsayısı (TCF) <|-15ppm/°C| olan 5G NR SAW filtreleri (Bant n77/n79)
• WiFi 6E/7 (5.925-7.125GHz) için ultra geniş bantlı BAW rezonatörleri
2. Entegre Fotonik
• Tutarlı optik iletişim için yüksek hızlı Mach-Zehnder modülatörleri (>100 Gbps)
• 3-14 μm arasında ayarlanabilir kesme dalga boylarına sahip QWIP kızılötesi dedektörler
3. Otomotiv Elektroniği
• 200 kHz'den yüksek çalışma frekansına sahip ultrasonik park sensörleri
• TPMS piezoelektrik dönüştürücüler -40°C ila 125°C arasındaki termal döngüye dayanıklıdır.
4. Savunma Sistemleri
• 60 dB'den yüksek bant dışı reddetme özelliğine sahip EW alıcı filtreleri
• 3-5 μm MWIR radyasyonu ileten füze arayıcı IR pencereleri
5. Gelişen Teknolojiler
• Mikrodalga-optik dönüştürme için optomekanik kuantum dönüştürücüler
• Tıbbi ultrason görüntüleme için PMUT dizileri (>20MHz çözünürlük)
LiTaO₃ Yonga Levhaları - XKH Hizmetleri
1. Tedarik Zinciri Yönetimi
• Standart özellikler için 4 haftalık teslim süresiyle külçeden wafer'a işleme
• Maliyet optimizasyonlu üretim, rakiplere kıyasla %10-15 fiyat avantajı sağlıyor.
2. Özel Çözümler
• Yönlendirmeye özel gofretleme: En uygun SAW performansı için 36°±0,5° Y-kesim
• Katkılı bileşimler: Optik uygulamalar için MgO (%5 mol) katkısı
Metalizasyon hizmetleri: Cr/Au (100/1000Å) elektrot desenleme
3. Teknik Destek
• Malzeme karakterizasyonu: XRD salınım eğrileri (FWHM<0,01°), AFM yüzey analizi
• Cihaz simülasyonu: SAW filtre tasarım optimizasyonu için FEM modellemesi
Çözüm
LiTaO₃ levhalar, RF iletişimi, entegre fotonik ve zorlu ortam sensörleri alanlarında teknolojik ilerlemeleri mümkün kılmaya devam ediyor. XKH'nin malzeme uzmanlığı, üretim hassasiyeti ve uygulama mühendisliği desteği, müşterilerin yeni nesil elektronik sistemlerdeki tasarım zorluklarının üstesinden gelmelerine yardımcı oluyor.









