4H-N/6H-N SiC Wafer Araştırma üretimi Sahte sınıf Dia150mm Silisyum karbür alt tabaka
6 inç çaplı silisyum karbür (SiC) alt tabaka spesifikasyonu
Seviye | Sıfır MPD | Üretme | Araştırma Sınıfı | Sahte Sınıf |
Çap | 150,0 mm±0,25 mm | |||
Kalınlık | 4H-N | 350um±25um | ||
4H-SI | 500um±25um | |||
Wafer Yönlendirmesi | Eksen üzerinde:<0001>±0,5° 4H-SI için | |||
Birincil Daire | {10-10}±5,0° | |||
Birincil Düz Uzunluk | 47,5 mm±2,5 mm | |||
Kenar dışlama | 3mm | |||
TTV/Yay/Çarpı | ≤15um/≤40um/≤60um | |||
Mikroboru Yoğunluğu | ≤1cm-2 | ≤5cm-2 | ≤15cm-2 | ≤50cm-2 |
Direnç 4H-N 4H-SI | 0,015~0,028Ω!cm | |||
≥1E5Ω!cm | ||||
Pürüzlülük | Lehçe Ra ≤1nm CMP Ra≤0.5nm | |||
#Yüksek yoğunluklu ışıkta oluşan çatlaklar | Hiçbiri | 1 izin verildi, ≤2mm | Toplam uzunluk ≤10mm, tek uzunluk ≤2mm | |
*Yüksek yoğunluklu ışıkla altıgen plakalar | Toplam alan ≤1% | Toplam alan ≤ %2 | Toplam alan ≤ %5 | |
*Yüksek yoğunluklu ışıkla politip alanları | Hiçbiri | Toplam alan ≤ %2 | Toplam alan ≤ %5 | |
*&Yüksek yoğunluklu ışıktan kaynaklanan çizikler | 3 çizik 1 x gofret çapının toplam uzunluğuna eşittir | 5 çizik 1 x gofret çapının toplam uzunluğuna eşittir | 5 çizikten 1 x gofret çapının toplam uzunluğuna | |
Kenar çipi | Hiçbiri | 3 adet izin verildi, her biri ≤0,5 mm | 5 adet izin verildi, her biri ≤1mm | |
Yüksek yoğunluklu ışıktan kaynaklanan kirlenme | Hiçbiri
|
Satış ve Müşteri Hizmetleri
Malzeme Satın Alma
Malzeme satın alma departmanı, ürününüzü üretmek için gereken tüm ham maddeleri toplamaktan sorumludur. Kimyasal ve fiziksel analizler dahil olmak üzere tüm ürün ve malzemelerin tam izlenebilirliği her zaman mevcuttur.
Kalite
Ürünlerinizin üretimi veya işlenmesi sırasında ve sonrasında, kalite kontrol departmanımız tüm malzemelerin ve toleransların sizin şartnamelerinizi karşıladığından veya aştığından emin olmak için çalışır.
Hizmet
Yarı iletken sektöründe 5 yılı aşkın deneyime sahip satış mühendisliği personelimizle gurur duyuyoruz. Teknik sorularınızı yanıtlamak ve ihtiyaçlarınız için zamanında teklifler sunmak üzere eğitilmişlerdir.
Sorununuz olduğunda her zaman yanınızdayız ve 10 saat içerisinde çözüme ulaştırıyoruz.
Ayrıntılı Diyagram

