4H-N/6H-N SiC Wafer Araştırma üretimi Sahte sınıf Dia150mm Silisyum karbür alt tabaka
6 inç çaplı silisyum karbür (SiC) alt tabaka spesifikasyonu
Seviye | Sıfır MPD | Üretme | Araştırma Sınıfı | Sahte Sınıf |
Çap | 150,0 mm±0,25 mm | |||
Kalınlık | 4H-N | 350um±25um | ||
4H-SI | 500um±25um | |||
Wafer Yönlendirmesi | Eksen üzerinde: <0001> ± 0,5° 4H-SI için | |||
Birincil Daire | {10-10}±5,0° | |||
Birincil Düz Uzunluk | 47,5 mm±2,5 mm | |||
Kenar dışlama | 3 mm | |||
TTV/Yay/Çarpıtma | ≤15um/≤40um/≤60um | |||
Mikroboru Yoğunluğu | ≤1cm-2 | ≤5cm-2 | ≤15cm-2 | ≤50cm-2 |
Direnç 4H-N 4H-SI | 0,015~0,028Ω!cm | |||
≥1E5Ω!cm | ||||
Pürüzlülük | Lehçe Ra ≤1nm CMP Ra≤0,5nm | |||
#Yüksek yoğunluklu ışıktan kaynaklanan çatlaklar | Hiçbiri | 1 izin verildi, ≤2mm | Toplam uzunluk ≤10mm, tek uzunluk ≤2mm | |
*Yüksek yoğunluklu ışıkla altıgen plakalar | Toplam alan ≤%1 | Toplam alan ≤ %2 | Toplam alan ≤ %5 | |
*Yüksek yoğunluklu ışıkla politip alanları | Hiçbiri | Toplam alan ≤ %2 | Toplam alan ≤ %5 | |
*&Yüksek yoğunluklu ışıktan kaynaklanan çizikler | 1 x gofret çapının kümülatif uzunluğuna 3 çizik | 1 x gofret çapının kümülatif uzunluğuna 5 çizik | 1 x gofret çapının kümülatif uzunluğuna 5 çizik | |
Kenar çipi | Hiçbiri | 3 adet izin verildi, her biri ≤0,5 mm | 5 adet izin verilir, her biri ≤1mm | |
Yüksek yoğunluklu ışıktan kaynaklanan kirlenme | Hiçbiri
|
Satış ve Müşteri Hizmetleri
Malzeme Satın Alma
Malzeme satın alma departmanı, ürününüzün üretimi için gereken tüm hammaddeleri toplamaktan sorumludur. Kimyasal ve fiziksel analizler de dahil olmak üzere tüm ürün ve malzemelerin eksiksiz izlenebilirliği her zaman mevcuttur.
Kalite
Ürünlerinizin üretimi veya işlenmesi sırasında ve sonrasında, kalite kontrol departmanımız tüm malzemelerin ve toleransların sizin belirlediğiniz şartları karşılamasını veya aşmasını sağlamakla görevlidir.
Hizmet
Yarı iletken sektöründe 5 yılı aşkın deneyime sahip satış mühendisleri kadromuzla gurur duyuyoruz. Teknik sorularınızı yanıtlamak ve ihtiyaçlarınıza uygun zamanında teklifler sunmak üzere eğitilmişlerdir.
Sorununuz olduğunda her zaman yanınızdayız ve 10 saat içinde çözüyoruz.
Ayrıntılı Diyagram

