SiC substrat 3 inç 350um kalınlık HPSI tipi Prime Sınıf Sahte sınıf
Özellikler
| Parametre | Üretim Sınıfı | Araştırma Sınıfı | Sahte Sınıf | Birim |
| Seviye | Üretim Sınıfı | Araştırma Sınıfı | Sahte Sınıf | |
| Çap | 76,2 ± 0,5 | 76,2 ± 0,5 | 76,2 ± 0,5 | mm |
| Kalınlık | 500 ± 25 | 500 ± 25 | 500 ± 25 | µm |
| Wafer Yönlendirmesi | Eksen üzerinde: <0001> ± 0,5° | Eksen üzerinde: <0001> ± 2,0° | Eksen üzerinde: <0001> ± 2,0° | derece |
| Mikro Boru Yoğunluğu (MPD) | ≤ 1 | ≤ 5 | ≤ 10 | cm−2^-2−2 |
| Elektriksel Direnç | ≥ 1E10 | ≥ 1E5 | ≥ 1E5 | Ω·cm |
| Dopant | Katkısız | Katkısız | Katkısız | |
| Birincil Düz Yönlendirme | {1-100} ± 5,0° | {1-100} ± 5,0° | {1-100} ± 5,0° | derece |
| Birincil Düz Uzunluk | 32,5 ± 3,0 | 32,5 ± 3,0 | 32,5 ± 3,0 | mm |
| İkincil Düz Uzunluk | 18,0 ± 2,0 | 18,0 ± 2,0 | 18,0 ± 2,0 | mm |
| İkincil Düz Yönlendirme | Birincil düzlükten 90° saat yönünde ± 5.0° | Birincil düzlükten 90° saat yönünde ± 5.0° | Birincil düzlükten 90° saat yönünde ± 5.0° | derece |
| Kenar Dışlama | 3 | 3 | 3 | mm |
| LTV/TTV/Yay/Çarpıtma | 3 / 10 / ±30 / 40 | 3 / 10 / ±30 / 40 | 5 / 15 / ±40 / 45 | µm |
| Yüzey Pürüzlülüğü | Si-yüz: CMP, C-yüz: Cilalı | Si-yüz: CMP, C-yüz: Cilalı | Si-yüz: CMP, C-yüz: Cilalı | |
| Çatlaklar (Yüksek Yoğunluklu Işık) | Hiçbiri | Hiçbiri | Hiçbiri | |
| Altıgen Plakalar (Yüksek Yoğunluklu Işık) | Hiçbiri | Hiçbiri | Toplam alan %10 | % |
| Polytype Alanları (Yüksek Yoğunluklu Işık) | Toplam alan %5 | Toplam alan %20 | Toplam alan %30 | % |
| Çizikler (Yüksek Yoğunluklu Işık) | ≤ 5 çizik, kümülatif uzunluk ≤ 150 | ≤ 10 çizik, kümülatif uzunluk ≤ 200 | ≤ 10 çizik, kümülatif uzunluk ≤ 200 | mm |
| Kenar Kırılması | Hiçbiri ≥ 0,5 mm genişlik/derinlik | 2 izin verilen ≤ 1 mm genişlik/derinlik | 5 izin verilen ≤ 5 mm genişlik/derinlik | mm |
| Yüzey Kirliliği | Hiçbiri | Hiçbiri | Hiçbiri |
Uygulamalar
1. Yüksek Güçlü Elektronikler
SiC yongaların üstün ısı iletkenliği ve geniş bant aralığı, onları yüksek güçlü, yüksek frekanslı cihazlar için ideal hale getirir:
●Güç dönüşümü için MOSFET'ler ve IGBT'ler.
●İnvertörler ve şarj cihazları da dahil olmak üzere gelişmiş elektrikli araç güç sistemleri.
●Akıllı şebeke altyapısı ve yenilenebilir enerji sistemleri.
2. RF ve Mikrodalga Sistemleri
SiC alt tabakaları, minimum sinyal kaybıyla yüksek frekanslı RF ve mikrodalga uygulamalarına olanak sağlar:
●Telekomünikasyon ve uydu sistemleri.
●Havacılık radar sistemleri.
●Gelişmiş 5G ağ bileşenleri.
3. Optoelektronik ve Sensörler
SiC'nin benzersiz özellikleri çeşitli optoelektronik uygulamaları destekler:
●Çevresel izleme ve endüstriyel algılama için UV dedektörleri.
●Katı hal aydınlatma ve hassas aletler için LED ve lazer alt tabakaları.
●Havacılık ve otomotiv endüstrileri için yüksek sıcaklık sensörleri.
4. Araştırma ve Geliştirme
Sınıfların çeşitliliği (Üretim, Araştırma, Modelleme) akademi ve endüstride son teknoloji deneylere ve cihaz prototiplemelerine olanak tanır.
Avantajları
●Güvenilirlik:Tüm sınıflarda mükemmel direnç ve kararlılık.
●Özelleştirme:Farklı ihtiyaçlara uygun özel yönlendirmeler ve kalınlıklar.
●Yüksek Saflık:Katkısız bileşim, kirlilik kaynaklı varyasyonların en aza indirilmesini sağlar.
●Ölçeklenebilirlik:Hem seri üretimin hem de deneysel araştırmaların gereksinimlerini karşılar.
3 inçlik yüksek saflıktaki SiC wafer'lar, yüksek performanslı cihazlara ve yenilikçi teknolojik gelişmelere açılan kapınızdır. Sorularınız ve ayrıntılı özellikler için bugün bizimle iletişime geçin.
Özet
Üretim, Araştırma ve Sahte Sınıflarda mevcut olan 3 inçlik Yüksek Saflıkta Silisyum Karbür (SiC) Wafer'lar, yüksek güçlü elektronik, RF/mikrodalga sistemleri, optoelektronik ve gelişmiş Ar-Ge için tasarlanmış birinci sınıf substratlardır. Bu wafer'lar, mükemmel özdirenç (Üretim Sınıfı için ≥1E10 Ω·cm), düşük mikro boru yoğunluğu (≤1 cm−2^-2−2) ve olağanüstü yüzey kalitesiyle katkısız, yarı yalıtkan özelliklere sahiptir. Güç dönüşümü, telekomünikasyon, UV algılama ve LED teknolojileri dahil olmak üzere yüksek performanslı uygulamalar için optimize edilmiştir. Özelleştirilebilir yönelimler, üstün termal iletkenlik ve sağlam mekanik özellikler ile bu SiC wafer'lar, endüstriler genelinde verimli, güvenilir cihaz imalatı ve çığır açan yenilikler sağlar.
Ayrıntılı Diyagram
