12 inç Safir Wafer C-Düzlemi SSP/DSP
Ayrıntılı Diyagram
Safir Tanıtımı
Safir levha, yüksek saflıkta sentetik alüminyum oksitten (Al₂O₃) yapılmış tek kristalli bir altlık malzemesidir. Büyük safir kristalleri, Kyropoulos (KY) veya Isı Değişim Yöntemi (HEM) gibi gelişmiş yöntemler kullanılarak yetiştirilir ve daha sonra kesme, yönlendirme, taşlama ve hassas parlatma işlemlerinden geçirilir. Olağanüstü fiziksel, optik ve kimyasal özellikleri nedeniyle safir levha, yarı iletkenler, optoelektronik ve üst düzey tüketici elektroniği alanlarında yeri doldurulamaz bir role sahiptir.
Ana Akım Safir Sentez Yöntemleri
| Yöntem | Prensip | Avantajlar | Ana Uygulamalar |
|---|---|---|---|
| Verneuil Yöntemi(Alev Füzyonu) | Yüksek saflıkta Al₂O₃ tozu, oksijen-hidrojen alevinde eritilir ve damlacıklar bir çekirdek üzerinde katman katman katılaşır. | Düşük maliyet, yüksek verimlilik, nispeten basit süreç | Mücevher kalitesinde safirler, erken dönem optik malzemeler |
| Czochralski Yöntemi (CZ) | Al₂O₃ bir potada eritilir ve bir tohum kristali yavaşça yukarı çekilerek kristal büyütülür. | Nispeten büyük ve iyi bütünlüğe sahip kristaller üretir. | Lazer kristalleri, optik pencereler |
| Kyropoulos Yöntemi (KY) | Kontrollü yavaş soğutma, kristalin potanın içinde kademeli olarak büyümesini sağlar. | Büyük boyutlu, düşük gerilimli kristaller (onlarca kilogram veya daha fazla) yetiştirebilme özelliğine sahip. | LED alt tabakalar, akıllı telefon ekranları, optik bileşenler |
| HEM Yöntemi(Isı Değişimi) | Soğuma potanın üst kısmından başlar, kristaller çekirdekten aşağı doğru büyür. | Tekdüze kalitede, çok büyük (yüzlerce kilograma kadar) kristaller üretir. | Büyük optik pencereler, havacılık ve uzay, askeri optik |
Kristal Yönelimi
| Yönelim / Düzlem | Miller Endeksi | Özellikler | Ana Uygulamalar |
|---|---|---|---|
| C-uçağı | (0001) | c eksenine dik, polar yüzey, atomlar düzgün şekilde dizilmiş. | LED'ler, lazer diyotlar, GaN epitaksiyel alt tabakalar (en yaygın kullanılanlar) |
| A uçağı | (11-20) | c eksenine paralel, polar olmayan yüzey, polarizasyon etkilerinden kaçınır. | Kutupsuz GaN epitaksi, optoelektronik cihazlar |
| M düzlemi | (10-10) | c eksenine paralel, kutupsuz, yüksek simetriye sahip. | Yüksek performanslı GaN epitaksi, optoelektronik cihazlar |
| R düzlemi | (1-102) | C eksenine eğimli, mükemmel optik özelliklere sahip. | Optik pencereler, kızılötesi dedektörler, lazer bileşenleri |
Safir Levha Özellikleri (Özelleştirilebilir)
| Öğe | 1 inç C-düzlemi (0001) 430 μm Safir Levhalar | |
| Kristal Malzemeler | %99,999, Yüksek Saflıkta, Monokristalin Al2O3 | |
| Seviye | Prime, Epi-Ready | |
| Yüzey Yönelimi | C düzlemi (0001) | |
| C düzleminin M eksenine göre açısı 0,2 +/- 0,1° | ||
| Çap | 25,4 mm +/- 0,1 mm | |
| Kalınlık | 430 μm +/- 25 μm | |
| Tek Tarafı Cilalı | Ön Yüzey | Epi-cilalı, Ra < 0,2 nm (AFM ile) |
| (SSP) | Arka Yüzey | İnce öğütülmüş, Ra = 0,8 μm ila 1,2 μm |
| Çift Taraflı Cilalı | Ön Yüzey | Epi-cilalı, Ra < 0,2 nm (AFM ile) |
| (DSP) | Arka Yüzey | Epi-cilalı, Ra < 0,2 nm (AFM ile) |
| TTV | < 5 μm | |
| YAY | < 5 μm | |
| ÇARP | < 5 μm | |
| Temizlik / Paketleme | Sınıf 100 temiz oda temizliği ve vakumlu paketleme, | |
| Bir kaset ambalajında veya tekli ambalajda 25 adet. | ||
| Öğe | 2 inç C-düzlemi (0001) 430 μm Safir Levhalar | |
| Kristal Malzemeler | %99,999, Yüksek Saflıkta, Monokristalin Al2O3 | |
| Seviye | Prime, Epi-Ready | |
| Yüzey Yönelimi | C düzlemi (0001) | |
| C düzleminin M eksenine göre açısı 0,2 +/- 0,1° | ||
| Çap | 50,8 mm +/- 0,1 mm | |
| Kalınlık | 430 μm +/- 25 μm | |
| Birincil Düzlem Yönlendirmesi | A düzlemi (11-20) +/- 0,2° | |
| Birincil Düz Uzunluk | 16,0 mm +/- 1,0 mm | |
| Tek Tarafı Cilalı | Ön Yüzey | Epi-cilalı, Ra < 0,2 nm (AFM ile) |
| (SSP) | Arka Yüzey | İnce öğütülmüş, Ra = 0,8 μm ila 1,2 μm |
| Çift Taraflı Cilalı | Ön Yüzey | Epi-cilalı, Ra < 0,2 nm (AFM ile) |
| (DSP) | Arka Yüzey | Epi-cilalı, Ra < 0,2 nm (AFM ile) |
| TTV | < 10 μm | |
| YAY | < 10 μm | |
| ÇARP | < 10 μm | |
| Temizlik / Paketleme | Sınıf 100 temiz oda temizliği ve vakumlu paketleme, | |
| Bir kaset ambalajında veya tekli ambalajda 25 adet. | ||
| Öğe | 3 inç C-düzlemi (0001) 500 μm Safir Levhalar | |
| Kristal Malzemeler | %99,999, Yüksek Saflıkta, Monokristalin Al2O3 | |
| Seviye | Prime, Epi-Ready | |
| Yüzey Yönelimi | C düzlemi (0001) | |
| C düzleminin M eksenine göre açısı 0,2 +/- 0,1° | ||
| Çap | 76,2 mm +/- 0,1 mm | |
| Kalınlık | 500 μm +/- 25 μm | |
| Birincil Düzlem Yönlendirmesi | A düzlemi (11-20) +/- 0,2° | |
| Birincil Düz Uzunluk | 22,0 mm +/- 1,0 mm | |
| Tek Tarafı Cilalı | Ön Yüzey | Epi-cilalı, Ra < 0,2 nm (AFM ile) |
| (SSP) | Arka Yüzey | İnce öğütülmüş, Ra = 0,8 μm ila 1,2 μm |
| Çift Taraflı Cilalı | Ön Yüzey | Epi-cilalı, Ra < 0,2 nm (AFM ile) |
| (DSP) | Arka Yüzey | Epi-cilalı, Ra < 0,2 nm (AFM ile) |
| TTV | < 15 μm | |
| YAY | < 15 μm | |
| ÇARP | < 15 μm | |
| Temizlik / Paketleme | Sınıf 100 temiz oda temizliği ve vakumlu paketleme, | |
| Bir kaset ambalajında veya tekli ambalajda 25 adet. | ||
| Öğe | 4 inç C-düzlemi (0001) 650 μm Safir Levhalar | |
| Kristal Malzemeler | %99,999, Yüksek Saflıkta, Monokristalin Al2O3 | |
| Seviye | Prime, Epi-Ready | |
| Yüzey Yönelimi | C düzlemi (0001) | |
| C düzleminin M eksenine göre açısı 0,2 +/- 0,1° | ||
| Çap | 100,0 mm +/- 0,1 mm | |
| Kalınlık | 650 μm +/- 25 μm | |
| Birincil Düzlem Yönlendirmesi | A düzlemi (11-20) +/- 0,2° | |
| Birincil Düz Uzunluk | 30,0 mm +/- 1,0 mm | |
| Tek Tarafı Cilalı | Ön Yüzey | Epi-cilalı, Ra < 0,2 nm (AFM ile) |
| (SSP) | Arka Yüzey | İnce öğütülmüş, Ra = 0,8 μm ila 1,2 μm |
| Çift Taraflı Cilalı | Ön Yüzey | Epi-cilalı, Ra < 0,2 nm (AFM ile) |
| (DSP) | Arka Yüzey | Epi-cilalı, Ra < 0,2 nm (AFM ile) |
| TTV | < 20 μm | |
| YAY | < 20 μm | |
| ÇARP | < 20 μm | |
| Temizlik / Paketleme | Sınıf 100 temiz oda temizliği ve vakumlu paketleme, | |
| Bir kaset ambalajında veya tekli ambalajda 25 adet. | ||
| Öğe | 6 inç C-düzlemi (0001) 1300 μm Safir Levhalar | |
| Kristal Malzemeler | %99,999, Yüksek Saflıkta, Monokristalin Al2O3 | |
| Seviye | Prime, Epi-Ready | |
| Yüzey Yönelimi | C düzlemi (0001) | |
| C düzleminin M eksenine göre açısı 0,2 +/- 0,1° | ||
| Çap | 150,0 mm +/- 0,2 mm | |
| Kalınlık | 1300 μm +/- 25 μm | |
| Birincil Düzlem Yönlendirmesi | A düzlemi (11-20) +/- 0,2° | |
| Birincil Düz Uzunluk | 47,0 mm +/- 1,0 mm | |
| Tek Tarafı Cilalı | Ön Yüzey | Epi-cilalı, Ra < 0,2 nm (AFM ile) |
| (SSP) | Arka Yüzey | İnce öğütülmüş, Ra = 0,8 μm ila 1,2 μm |
| Çift Taraflı Cilalı | Ön Yüzey | Epi-cilalı, Ra < 0,2 nm (AFM ile) |
| (DSP) | Arka Yüzey | Epi-cilalı, Ra < 0,2 nm (AFM ile) |
| TTV | < 25 μm | |
| YAY | < 25 μm | |
| ÇARP | < 25 μm | |
| Temizlik / Paketleme | Sınıf 100 temiz oda temizliği ve vakumlu paketleme, | |
| Bir kaset ambalajında veya tekli ambalajda 25 adet. | ||
| Öğe | 8 inç C-düzlemi (0001) 1300 μm Safir Levhalar | |
| Kristal Malzemeler | %99,999, Yüksek Saflıkta, Monokristalin Al2O3 | |
| Seviye | Prime, Epi-Ready | |
| Yüzey Yönelimi | C düzlemi (0001) | |
| C düzleminin M eksenine göre açısı 0,2 +/- 0,1° | ||
| Çap | 200,0 mm +/- 0,2 mm | |
| Kalınlık | 1300 μm +/- 25 μm | |
| Tek Tarafı Cilalı | Ön Yüzey | Epi-cilalı, Ra < 0,2 nm (AFM ile) |
| (SSP) | Arka Yüzey | İnce öğütülmüş, Ra = 0,8 μm ila 1,2 μm |
| Çift Taraflı Cilalı | Ön Yüzey | Epi-cilalı, Ra < 0,2 nm (AFM ile) |
| (DSP) | Arka Yüzey | Epi-cilalı, Ra < 0,2 nm (AFM ile) |
| TTV | < 30 μm | |
| YAY | < 30 μm | |
| ÇARP | < 30 μm | |
| Temizlik / Paketleme | Sınıf 100 temiz oda temizliği ve vakumlu paketleme, | |
| Tekli paket. | ||
| Öğe | 12 inç C-düzlemi (0001) 1300 μm Safir Levhalar | |
| Kristal Malzemeler | %99,999, Yüksek Saflıkta, Monokristalin Al2O3 | |
| Seviye | Prime, Epi-Ready | |
| Yüzey Yönelimi | C düzlemi (0001) | |
| C düzleminin M eksenine göre açısı 0,2 +/- 0,1° | ||
| Çap | 300,0 mm +/- 0,2 mm | |
| Kalınlık | 3000 μm +/- 25 μm | |
| Tek Tarafı Cilalı | Ön Yüzey | Epi-cilalı, Ra < 0,2 nm (AFM ile) |
| (SSP) | Arka Yüzey | İnce öğütülmüş, Ra = 0,8 μm ila 1,2 μm |
| Çift Taraflı Cilalı | Ön Yüzey | Epi-cilalı, Ra < 0,2 nm (AFM ile) |
| (DSP) | Arka Yüzey | Epi-cilalı, Ra < 0,2 nm (AFM ile) |
| TTV | < 30 μm | |
| YAY | < 30 μm | |
| ÇARP | < 30 μm | |
Safir Levha Üretim Süreci
-
Kristal Büyümesi
-
Kyropoulos (KY) yöntemi kullanılarak, özel kristal büyütme fırınlarında 100-400 kg ağırlığında safir külçeleri yetiştirilir.
-
-
Külçe Delme ve Şekillendirme
-
Bir matkap ucu kullanarak külçeyi, çapları 2-6 inç ve uzunlukları 50-200 mm olan silindirik külçelere işleyin.
-
-
İlk Tavlama
-
Külçeleri kusurlar açısından inceleyin ve iç gerilimi gidermek için ilk yüksek sıcaklıkta tavlama işlemini gerçekleştirin.
-
-
Kristal Yönelimi
-
Yönlendirme aletleri kullanarak safir külçesinin kesin yönelimini belirleyin (örneğin, C düzlemi, A düzlemi, R düzlemi).
-
-
Çok Telli Testere Kesimi
-
Çok telli kesme ekipmanı kullanarak külçeyi istenilen kalınlıkta ince dilimler halinde kesin.
-
-
İlk Kontrol ve İkinci Tavlama
-
Kesilmiş silikon levhaları inceleyin (kalınlık, düzlük, yüzey kusurları).
-
Kristal kalitesini daha da iyileştirmek için gerekirse tavlama işlemini tekrarlayın.
-
-
Pah Kırma, Taşlama ve CMP Parlatma
-
Ayna kalitesinde yüzeyler elde etmek için özel ekipmanlarla pah kırma, yüzey taşlama ve kimyasal mekanik parlatma (CMP) işlemlerini gerçekleştirin.
-
-
Temizlik
-
Parçacıkları ve kirleticileri gidermek için, temiz oda ortamında ultra saf su ve kimyasallar kullanarak yonga levhalarını iyice temizleyin.
-
-
Optik ve Fiziksel Muayene
-
Geçirgenlik tespiti yapın ve optik verileri kaydedin.
-
Toplam kalınlık değişimi (TTV), eğilme, çarpılma, yönlendirme doğruluğu ve yüzey pürüzlülüğü dahil olmak üzere gofret parametrelerini ölçün.
-
-
Kaplama (İsteğe bağlı)
-
Müşteri spesifikasyonlarına göre kaplamaları (örneğin, yansıma önleyici kaplamalar, koruyucu katmanlar) uygulayın.
-
Son Kontrol ve Paketleme
-
Temiz oda ortamında %100 kalite kontrolü gerçekleştirin.
-
Yonga levhalarını Class-100 temizlik koşullarında kaset kutularına yerleştirin ve sevkiyat öncesinde vakumla kapatın.
Safir Levhaların Uygulamaları
Olağanüstü sertliği, üstün optik geçirgenliği, mükemmel termal performansı ve elektriksel yalıtımıyla safir levhalar, birçok sektörde yaygın olarak kullanılmaktadır. Uygulamaları sadece geleneksel LED ve optoelektronik sektörlerini kapsamakla kalmayıp, yarı iletkenler, tüketici elektroniği ve gelişmiş havacılık ve savunma alanlarına da yayılmaktadır.
1. Yarı İletkenler ve Optoelektronik
LED Altlıkları
Safir levhalar, mavi LED'lerde, beyaz LED'lerde ve Mini/Mikro LED teknolojilerinde yaygın olarak kullanılan galyum nitrür (GaN) epitaksiyel büyümesinin birincil alt tabakalarıdır.
Lazer Diyotlar (LD'ler)
GaN tabanlı lazer diyotlar için altlık görevi gören safir levhalar, yüksek güçlü ve uzun ömürlü lazer cihazlarının geliştirilmesini desteklemektedir.
Fotodedektörler
Ultraviyole ve kızılötesi fotodedektörlerde, safir levhalar genellikle şeffaf pencereler ve yalıtım altlıkları olarak kullanılır.
2. Yarı İletken Cihazlar
RFIC'ler (Radyo Frekansı Entegre Devreleri)
Mükemmel elektriksel yalıtım özellikleri sayesinde safir levhalar, yüksek frekanslı ve yüksek güçlü mikrodalga cihazları için ideal alt tabakalardır.
Silikon-Safir (SoS) Teknolojisi
SoS teknolojisi uygulanarak parazitik kapasitans büyük ölçüde azaltılabilir ve devre performansı artırılabilir. Bu teknoloji, RF iletişiminde ve havacılık elektroniğinde yaygın olarak kullanılmaktadır.
3. Optik Uygulamalar
Kızılötesi Optik Pencereler
200 nm–5000 nm dalga boyu aralığında yüksek geçirgenliğe sahip olan safir, kızılötesi dedektörlerde ve kızılötesi yönlendirme sistemlerinde yaygın olarak kullanılmaktadır.
Yüksek Güçlü Lazer Pencereler
Safir taşının sertliği ve ısıya dayanıklılığı, onu yüksek güçlü lazer sistemlerinde koruyucu pencereler ve lensler için mükemmel bir malzeme haline getirir.
4. Tüketici Elektroniği
Kamera Lens Kapakları
Safir taşının yüksek sertliği, akıllı telefon ve kamera lenslerinin çizilmeye karşı dayanıklılığını sağlar.
Parmak İzi Sensörleri
Safir levhalar, parmak izi tanıma işlemlerinde doğruluğu ve güvenilirliği artıran dayanıklı, şeffaf kaplamalar olarak kullanılabilir.
Akıllı Saatler ve Üstün Kalite Ekranlar
Safir ekranlar, çizilmeye karşı dayanıklılığı yüksek optik netlikle birleştirerek üst düzey elektronik ürünlerde popüler hale gelmiştir.
5. Havacılık ve Savunma
Füze Kızılötesi Kubbeleri
Safir pencereler yüksek sıcaklık ve yüksek hız koşullarında bile şeffaf ve stabil kalır.
Havacılık ve Uzay Optik Sistemleri
Bunlar, yüksek mukavemetli optik pencerelerde ve aşırı ortamlara yönelik tasarlanmış gözlem ekipmanlarında kullanılır.
Diğer Yaygın Safir Ürünleri
Optik Ürünler
-
Safir Optik Pencereler
-
Lazerlerde, spektrometrelerde, kızılötesi görüntüleme sistemlerinde ve sensör pencerelerinde kullanılır.
-
İletim aralığı:UV 150 nm ila orta kızılötesi 5,5 μm.
-
-
Safir Lensler
-
Yüksek güçlü lazer sistemlerinde ve havacılık optiğinde kullanılır.
-
Dışbükey, içbükey veya silindirik lensler olarak üretilebilirler.
-
-
Safir Prizmalar
-
Optik ölçüm cihazlarında ve hassas görüntüleme sistemlerinde kullanılır.
-
Havacılık ve Savunma
-
Safir Kubbeler
-
Füze, insansız hava aracı ve uçaklardaki kızılötesi güdümlü sistemleri koruyun.
-
-
Safir Koruyucu Kapaklar
-
Yüksek hızlı hava akımının etkisine ve zorlu ortamlara dayanıklıdır.
-
Ürün Ambalajı
XINKEHUI Hakkında
Shanghai Xinkehui New Material Co., Ltd., bu şirketlerden biridir.Çin'deki en büyük optik ve yarı iletken tedarikçisi2002 yılında kurulan XKH, akademik araştırmacılara yarı iletken levhalar ve diğer yarı iletkenle ilgili bilimsel malzemeler ve hizmetler sağlamak amacıyla geliştirilmiştir. Yarı iletken malzemeler ana iş kolumuzdur ve ekibimiz teknik bilgiye dayalıdır. Kuruluşundan bu yana XKH, özellikle çeşitli levha/alt tabaka alanında, gelişmiş elektronik malzemelerin araştırma ve geliştirilmesinde aktif olarak yer almaktadır.
Ortaklar
Üstün yarı iletken malzeme teknolojisiyle Şanghay Zhimingxin, dünyanın önde gelen şirketlerinin ve tanınmış akademik kurumlarının güvenilir bir ortağı haline gelmiştir. Yenilikçiliğe ve mükemmelliğe olan bağlılığıyla Zhimingxin, Schott Glass, Corning ve Seoul Semiconductor gibi sektör liderleriyle derin iş birliği ilişkileri kurmuştur. Bu iş birlikleri, ürünlerimizin teknik seviyesini iyileştirmenin yanı sıra, güç elektroniği, optoelektronik cihazlar ve yarı iletken cihazlar alanlarında teknolojik gelişmeyi de desteklemiştir.
Zhimingxin, tanınmış şirketlerle yaptığı iş birliklerinin yanı sıra, Harvard Üniversitesi, University College London (UCL) ve Houston Üniversitesi gibi dünyanın önde gelen üniversiteleriyle de uzun vadeli araştırma iş birliği ilişkileri kurmuştur. Bu iş birlikleri sayesinde Zhimingxin, akademik alandaki bilimsel araştırma projelerine teknik destek sağlamanın yanı sıra, yeni malzemelerin ve teknolojik yeniliklerin geliştirilmesine de katılarak, yarı iletken endüstrisinde her zaman öncü konumda olmasını sağlamaktadır.
Dünyaca ünlü bu şirketler ve akademik kurumlarla yakın iş birliği sayesinde, Şanghay Zhimingxin teknolojik yenilik ve gelişmeyi teşvik etmeye devam ederek, küresel pazarın artan ihtiyaçlarını karşılamak üzere dünya standartlarında ürünler ve çözümler sunmaktadır.
