8 inç SiC silisyum karbür gofret 4H-N tipi 0,5 mm üretim sınıfı araştırma sınıfı özel cilalı alt tabaka
8 inçlik silisyum karbür alt tabaka 4H-N tipinin başlıca özellikleri şunlardır:
1. Mikrotübül yoğunluğu: ≤ 0,1/cm² veya daha düşük; örneğin bazı ürünlerde mikrotübül yoğunluğu 0,05/cm²'nin altına önemli ölçüde düşmüştür.
2. Kristal form oranı: 4H-SiC kristal form oranı %100'e ulaşır.
3. Öz direnç: 0,014~0,028 Ω·cm veya 0,015-0,025 Ω·cm arasında daha kararlı.
4. Yüzey pürüzlülüğü: CMP Si Yüzey Ra≤0.12nm.
5. Kalınlık: Genellikle 500,0±25 μm veya 350,0±25 μm.
6. Pah açısı: Kalınlığa bağlı olarak A1/A2 için 25±5° veya 30±5°.
7. Toplam dislokasyon yoğunluğu: ≤3000/cm².
8. Yüzey metal kirliliği: ≤1E+11 atom/cm².
9. Eğilme ve çarpılma: sırasıyla ≤ 20 μm ve ≤ 2 μm.
Bu özellikler, 8 inçlik silisyum karbür alt tabakaları yüksek sıcaklık, yüksek frekans ve yüksek güç gerektiren elektronik cihazların üretiminde önemli uygulama değerine sahip kılmaktadır.
8 inçlik silisyum karbür levhanın çeşitli uygulamaları vardır.
1. Güç Cihazları: SiC levhalar, güç MOSFET'leri (metal-oksit-yarıiletken alan etkili transistörler), Schottky diyotları ve güç entegrasyon modülleri gibi güç elektroniği cihazlarının üretiminde yaygın olarak kullanılmaktadır. SiC'nin yüksek termal iletkenliği, yüksek kırılma gerilimi ve yüksek elektron hareketliliği sayesinde, bu cihazlar yüksek sıcaklık, yüksek gerilim ve yüksek frekanslı ortamlarda verimli ve yüksek performanslı güç dönüşümü sağlayabilir.
2. Optoelektronik cihazlar: SiC levhalar, fotodedektörler, lazer diyotlar, ultraviyole kaynakları vb. üretiminde kullanılan optoelektronik cihazlarda hayati bir rol oynar. Silisyum karbürün üstün optik ve elektronik özellikleri, özellikle yüksek sıcaklıklar, yüksek frekanslar ve yüksek güç seviyeleri gerektiren uygulamalarda onu tercih edilen malzeme haline getirir.
3. Radyo Frekansı (RF) Cihazları: SiC çipleri ayrıca RF güç amplifikatörleri, yüksek frekanslı anahtarlar, RF sensörleri ve daha fazlası gibi RF cihazlarının üretiminde de kullanılır. SiC'nin yüksek termal kararlılığı, yüksek frekans özellikleri ve düşük kayıpları, onu kablosuz iletişim ve radar sistemleri gibi RF uygulamaları için ideal hale getirir.
4. Yüksek sıcaklık elektroniği: Yüksek termal kararlılıkları ve sıcaklık esneklikleri nedeniyle, SiC levhalar yüksek sıcaklık ortamlarında çalışmak üzere tasarlanmış elektronik ürünlerin üretiminde kullanılır; bunlar arasında yüksek sıcaklık güç elektroniği, sensörler ve kontrolcüler yer alır.
8 inçlik silisyum karbür 4H-N tipi alt tabakanın başlıca uygulama alanları arasında, özellikle otomotiv elektroniği, güneş enerjisi, rüzgar enerjisi üretimi, elektrikli lokomotifler, sunucular, ev aletleri ve elektrikli araçlar alanlarında yüksek sıcaklık, yüksek frekans ve yüksek güç gerektiren elektronik cihazların üretimi yer almaktadır. Ayrıca, SiC MOSFET'ler ve Schottky diyotlar gibi cihazlar, anahtarlama frekanslarında, kısa devre deneylerinde ve invertör uygulamalarında mükemmel performans göstermiş ve güç elektroniğinde kullanımlarını artırmıştır.
XKH, müşteri gereksinimlerine göre farklı kalınlıklarda özelleştirilebilir. Farklı yüzey pürüzlülüğü ve parlatma işlemleri mevcuttur. Farklı doping türleri (örneğin nitrojen dopingi) desteklenmektedir. XKH, müşterilerin kullanım sürecinde karşılaştıkları sorunları çözebilmeleri için teknik destek ve danışmanlık hizmetleri sunmaktadır. 8 inçlik silisyum karbür alt tabaka, maliyet düşürme ve kapasite artırma açısından önemli avantajlara sahiptir ve 6 inçlik alt tabakaya kıyasla birim talaş maliyetini yaklaşık %50 oranında azaltabilir. Ayrıca, 8 inçlik alt tabakanın artan kalınlığı, işleme sırasında geometrik sapmaları ve kenar deformasyonunu azaltmaya yardımcı olarak verimi artırır.
Ayrıntılı Diyagram













