MOS veya SBD Üretim Araştırması ve Sahte Sınıf için 6 inç 150 mm Silisyum Karbür SiC Wafer'lar 4H-N tipi
Uygulama Alanları
6 inçlik silisyum karbür tek kristal alttaş, birçok sektörde önemli bir rol oynamaktadır. İlk olarak, yarı iletken endüstrisinde güç transistörleri, entegre devreler ve güç modülleri gibi yüksek güçlü elektronik cihazların üretiminde yaygın olarak kullanılmaktadır. Yüksek ısı iletkenliği ve yüksek sıcaklık direnci, daha iyi ısı dağılımı sağlayarak verimliliği ve güvenilirliği artırır. İkinci olarak, silisyum karbür gofretler, yeni malzeme ve cihazların geliştirilmesi için araştırma alanlarında olmazsa olmazdır. Ayrıca, silisyum karbür gofret, LED ve lazer diyot üretimi de dahil olmak üzere optoelektronik alanında geniş uygulama alanları bulmaktadır.
Ürün Özellikleri
6 inçlik silisyum karbür tek kristal alt tabakanın çapı 6 inçtir (yaklaşık 152,4 mm). Yüzey pürüzlülüğü Ra < 0,5 nm ve kalınlığı 600 ± 25 μm'dir. Alt tabaka, müşteri ihtiyaçlarına göre N tipi veya P tipi iletkenlikle özelleştirilebilir. Ayrıca, basınç ve titreşime dayanıklı olağanüstü mekanik stabiliteye sahiptir.
| Çap | 150±2,0 mm（6 inç） | ||||
| Kalınlık | 350 μm±25μm | ||||
| Oryantasyon | Eksen üzerinde ： <0001>±0,5° | Eksen dışı: 1120±0.5°'ye doğru 4.0° | |||
| Politip | 4H | ||||
| Direnç (Ω·cm) | 4H-N | 0,015~0,028 Ω·cm/0,015~0,025ohm·cm | |||
| 4/6H-SI | >1E5 | ||||
| Birincil düz yönelim | {10-10}±5,0° | ||||
| Birincil düz uzunluk (mm) | 47,5 mm±2,5 mm | ||||
| Kenar | Pah kırma | ||||
| TTV/Yay/Çarpıtma (ııı) | ≤15 /≤40 /≤60 | ||||
| AFM Ön (Si-yüz) | Polonya Ra≤1 nm | ||||
| CMP Ra≤0,5 nm | |||||
| Ömür boyu değer | ≤3μm(10mm*10mm) | ≤5μm(10mm*10mm) | ≤10μm(10mm*10mm) | ||
| TTV | ≤5μm | ≤10μm | ≤15μm | ||
| Portakal kabuğu/çekirdekler/çatlaklar/kirlenme/lekeler/çizgiler | Hiçbiri | Hiçbiri | Hiçbiri | ||
| girintiler | Hiçbiri | Hiçbiri | Hiçbiri | ||
6 inçlik silisyum karbür tek kristal alt tabaka, yarı iletken, araştırma ve optoelektronik endüstrilerinde yaygın olarak kullanılan yüksek performanslı bir malzemedir. Mükemmel ısı iletkenliği, mekanik kararlılık ve yüksek sıcaklık dayanımı sunarak, yüksek güçlü elektronik cihazların üretimi ve yeni malzeme araştırmaları için uygundur. Çeşitli müşteri taleplerini karşılamak için çeşitli özellikler ve özelleştirme seçenekleri sunuyoruz.Silisyum karbür gofretler hakkında daha fazla bilgi için bizimle iletişime geçin!
Ayrıntılı Diyagram
