6 inç (150 mm) Silisyum Karbür (SiC) Levhalar, 4H-N tipi, MOS veya SBD Üretimi, Araştırma ve Deneme amaçlı kullanım için.
Uygulama Alanları
6 inçlik silisyum karbür tek kristal alt tabaka, birçok endüstride kritik bir rol oynamaktadır. Öncelikle, güç transistörleri, entegre devreler ve güç modülleri gibi yüksek güçlü elektronik cihazların üretiminde yarı iletken endüstrisinde yaygın olarak kullanılmaktadır. Yüksek ısı iletkenliği ve yüksek sıcaklık direnci, daha iyi ısı dağılımı sağlayarak verimliliği ve güvenilirliği artırır. İkinci olarak, silisyum karbür levhalar, yeni malzemelerin ve cihazların geliştirilmesi için araştırma alanlarında önemlidir. Ayrıca, silisyum karbür levha, LED'ler ve lazer diyotların üretimi de dahil olmak üzere optoelektronik alanında geniş uygulama alanları bulmaktadır.
Ürün Özellikleri
6 inçlik silisyum karbür tek kristal alt tabakanın çapı 6 inç (yaklaşık 152,4 mm)'dir. Yüzey pürüzlülüğü Ra < 0,5 nm ve kalınlığı 600 ± 25 μm'dir. Alt tabaka, müşteri gereksinimlerine bağlı olarak N tipi veya P tipi iletkenlikle özelleştirilebilir. Ayrıca, basınca ve titreşime dayanabilen olağanüstü mekanik stabilite sergiler.
| Çap | 150±2,0 mm (6 inç) | ||||
| Kalınlık | 350 μm±25μm | ||||
| Oryantasyon | Eksen üzerinde: <0001>±0,5° | Eksen dışı: 1120±0,5° yönüne doğru 4,0° | |||
| Polytype | 4H | ||||
| Öz direnç (Ω·cm) | 4H-N | 0,015~0,028 Ω·cm/0,015~0,025ohm·cm | |||
| 4/6H-SI | >1E5 | ||||
| Birincil düzlem yönlendirmesi | {10-10}±5.0° | ||||
| Birincil düz uzunluk (mm) | 47,5 mm ± 2,5 mm | ||||
| Kenar | Pah | ||||
| TTV/Yay/Çarpma (um) | ≤15 /≤40 /≤60 | ||||
| AFM Ön (Si-yüz) | Polonya Ra≤1 nm | ||||
| CMP Ra≤0,5 nm | |||||
| LTV | ≤3μm (10mm*10mm) | ≤5μm (10mm*10mm) | ≤10μm (10mm*10mm) | ||
| TTV | ≤5μm | ≤10μm | ≤15μm | ||
| Portakal kabuğu görünümü/çukurlar/çatlaklar/kirlenme/lekeler/çizgiler | Hiçbiri | Hiçbiri | Hiçbiri | ||
| girintiler | Hiçbiri | Hiçbiri | Hiçbiri | ||
6 inçlik silisyum karbür tek kristal altlık, yarı iletken, araştırma ve optoelektronik endüstrilerinde yaygın olarak kullanılan yüksek performanslı bir malzemedir. Mükemmel ısı iletkenliği, mekanik kararlılık ve yüksek sıcaklık direnci sunarak, yüksek güçlü elektronik cihazların üretimi ve yeni malzeme araştırmaları için uygundur. Çeşitli müşteri taleplerini karşılamak için farklı özellikler ve özelleştirme seçenekleri sunuyoruz.Silisyum karbür levhalar hakkında daha fazla bilgi için bizimle iletişime geçin!
Ayrıntılı Diyagram
