MOS veya SBD Üretim Araştırması ve Kukla sınıfı için 6 inç 150 mm Silisyum Karbür SiC Gofretler 4H-N tipi
Uygulama Alanları
6 inçlik silisyum karbür tek kristal substrat, birçok endüstride önemli bir rol oynar. İlk olarak, yarı iletken endüstrisinde güç transistörleri, entegre devreler ve güç modülleri gibi yüksek güçlü elektronik cihazların imalatında yaygın olarak kullanılmaktadır. Yüksek termal iletkenliği ve yüksek sıcaklık direnci, daha iyi ısı dağılımı sağlayarak verimliliğin ve güvenilirliğin artmasını sağlar. İkincisi, silisyum karbür plakalar, yeni malzeme ve cihazların geliştirilmesi için araştırma alanlarında gereklidir. Ek olarak, silisyum karbür levha, LED'lerin ve lazer diyotların üretimi de dahil olmak üzere optoelektronik alanında kapsamlı uygulamalara sahiptir.
Ürün Özellikleri
6 inçlik silisyum karbür tek kristal alt tabakanın çapı 6 inçtir (yaklaşık 152,4 mm). Yüzey pürüzlülüğü Ra < 0,5 nm ve kalınlığı 600 ± 25 μm'dir. Alt tabaka, müşteri gereksinimlerine göre N tipi veya P tipi iletkenlik ile özelleştirilebilir. Üstelik basınca ve titreşime dayanabilen olağanüstü mekanik stabilite sergiliyor.
| Çap | 150±2,0 mm (6 inç) | ||||
| Kalınlık | 350 μm±25μm | ||||
| Oryantasyon | Eksen üzerinde: <0001>±0,5° | Eksen dışı: 4,0°, 1120±0,5°'ye doğru | |||
| Politip | 4H | ||||
| Direnç(Ω·cm) | 4sa-k | 0,015~0,028 Ω·cm/0,015~0,025ohm·cm | |||
| 4/6H-SI | >1E5 | ||||
| Birincil düz yönlendirme | {10-10}±5,0° | ||||
| Birincil düz uzunluk (mm) | 47,5 mm±2,5 mm | ||||
| Kenar | Pah | ||||
| TTV/Yay/Çözgü (um) | ≤15 /≤40 /≤60 | ||||
| AFM Önü (Si-yüzlü) | Polonya Ra≤1 nm | ||||
| CMP Ra≤0,5 nm | |||||
| YBD | ≤3μm(10mm*10mm) | ≤5μm(10mm*10mm) | ≤10μm(10mm*10mm) | ||
| TTV | ≤5μm | ≤10μm | ≤15μm | ||
| Portakal kabuğu/çukurlar/çatlaklar/kirlilik/lekeler/çizgiler | Hiçbiri | Hiçbiri | Hiçbiri | ||
| girintiler | Hiçbiri | Hiçbiri | Hiçbiri | ||
6 inçlik silisyum karbür tek kristal alt tabaka, yarı iletken, araştırma ve optoelektronik endüstrilerinde yaygın olarak kullanılan yüksek performanslı bir malzemedir. Mükemmel termal iletkenlik, mekanik stabilite ve yüksek sıcaklık direnci sunarak yüksek güçlü elektronik cihazların üretimi ve yeni malzeme araştırmaları için uygun hale getirir. Farklı müşteri taleplerini karşılamak için çeşitli özellikler ve özelleştirme seçenekleri sunuyoruz.Silisyum karbür levhalar hakkında daha fazla bilgi için bizimle iletişime geçin!
Detaylı Diyagram
