12 inç SiC alt tabaka Çapı 300 mm Kalınlık 750 μm 4H-N Tipi özelleştirilebilir
Teknik parametreler
12 inç Silisyum Karbür (SiC) Alt Tabaka Spesifikasyonu | |||||
Seviye | ZeroMPD Üretimi Sınıf(Z Sınıfı) | Standart Üretim Sınıf(P Sınıfı) | Sahte Sınıf (D Sınıfı) | ||
Çap | 3 0 0 mm~1305 mm | ||||
Kalınlık | 4H-N | 750μm±15 μm | 750μm±25 μm | ||
4H-SI | 750μm±15 μm | 750μm±25 μm | |||
Wafer Yönlendirmesi | Eksen dışı: 4H-N için <1120 >±0,5°'ye doğru 4,0°, Eksen üzerinde: 4H-SI için <0001>±0,5° | ||||
Mikroboru Yoğunluğu | 4H-N | ≤0,4 cm-2 | ≤4cm-2 | ≤25cm-2 | |
4H-SI | ≤5cm-2 | ≤10cm-2 | ≤25cm-2 | ||
Direnç | 4H-N | 0,015~0,024 Ω·cm | 0,015~0,028 Ω·cm | ||
4H-SI | ≥1E10 Ω·cm | ≥1E5 Ω·cm | |||
Birincil Düz Yönlendirme | {10-10} ±5,0° | ||||
Birincil Düz Uzunluk | 4H-N | Yok | |||
4H-SI | Çentik | ||||
Kenar Dışlama | 3 mm | ||||
LTV/TTV/Yay/Çarpıtma | ≤5μm/≤15μm/≤35 μm/≤55 μm | ≤5μm/≤15μm/≤35 □ μm/≤55 □ μm | |||
Pürüzlülük | Polonya Ra≤1 nm | ||||
CMP Ra≤0,2 nm | Ra≤0,5 nm | ||||
Yüksek Yoğunluklu Işıktan Kaynaklanan Kenar Çatlakları Yüksek Yoğunluklu Işıkla Altıgen Plakalar Yüksek Yoğunluklu Işığa Göre Politip Alanları Görsel Karbon Kapanımları Yüksek Yoğunluklu Işık Nedeniyle Silikon Yüzey Çizikleri | Hiçbiri Toplam alan ≤%0,05 Hiçbiri Toplam alan ≤%0,05 Hiçbiri | Toplam uzunluk ≤ 20 mm, tek uzunluk ≤ 2 mm Toplam alan ≤%0,1 Toplam alan ≤%3 Toplam alan ≤%3 Toplam uzunluk≤1×gofret çapı | |||
Yüksek Yoğunluklu Işıkla Kenar Çipleri | ≥0,2 mm genişlik ve derinliğe izin verilmez | 7'ye izin verildi, her biri ≤1 mm | |||
(TSD) Vida çıkığı dişlisi | ≤500 cm-2 | Yok | |||
(BPD) Taban düzlemi çıkığı | ≤1000 cm-2 | Yok | |||
Yüksek Yoğunluklu Işık Nedeniyle Silikon Yüzey Kirlenmesi | Hiçbiri | ||||
Ambalajlama | Çoklu Gofret Kaset veya Tek Gofret Kabı | ||||
Notlar: | |||||
1 Kusur sınırları kenar dışlama alanı hariç tüm gofret yüzeyi için geçerlidir. 2Çizikler sadece Si yüzünde kontrol edilmelidir. 3 Dislokasyon verileri yalnızca KOH ile aşındırılmış gofretlerden elde edilmiştir. |
Temel Özellikler
1. Üretim Kapasitesi ve Maliyet Avantajları: 12 inçlik SiC alt tabakanın (12 inçlik silisyum karbür alt tabaka) seri üretimi, yarı iletken üretiminde yeni bir çağı başlatıyor. Tek bir yonga plakasından elde edilebilen çip sayısı, 8 inçlik alt tabakaların 2,25 katına ulaşarak üretim verimliliğinde doğrudan bir sıçrama sağlıyor. Müşteri geri bildirimleri, 12 inçlik alt tabakaların benimsenmesinin güç modülü üretim maliyetlerini %28 oranında azalttığını ve kıyasıya rekabetin yaşandığı pazarda belirleyici bir rekabet avantajı sağladığını gösteriyor.
2. Olağanüstü Fiziksel Özellikler: 12 inçlik SiC alt tabaka, silisyum karbür malzemenin tüm avantajlarını bünyesinde barındırır; termal iletkenliği silisyumun 3 katı, kırılma alanı dayanımı ise silisyumun 10 katına ulaşır. Bu özellikler, 12 inçlik alt tabakalara dayalı cihazların 200°C'yi aşan yüksek sıcaklık ortamlarında kararlı bir şekilde çalışmasını sağlayarak, elektrikli araçlar gibi zorlu uygulamalar için özellikle uygundur.
3. Yüzey İşleme Teknolojisi: 12 inçlik SiC alt tabakalar için özel olarak geliştirilen ve atomik düzeyde yüzey düzlüğü (Ra<0,15 nm) sağlayan yeni bir kimyasal mekanik parlatma (CMP) işlemi geliştirdik. Bu çığır açan buluş, büyük çaplı silisyum karbür gofret yüzey işleminin dünya çapındaki zorluğunu çözerek, yüksek kaliteli epitaksiyel büyümenin önündeki engelleri ortadan kaldırıyor.
4. Isıl Yönetim Performansı: Pratik uygulamalarda, 12 inçlik SiC alt tabakalar dikkate değer ısı dağıtma kabiliyetleri göstermektedir. Test verileri, aynı güç yoğunluğu altında, 12 inçlik alt tabaka kullanan cihazların, silikon tabanlı cihazlara göre 40-50°C daha düşük sıcaklıklarda çalıştığını ve bu sayede ekipman hizmet ömrünü önemli ölçüde uzattığını göstermektedir.
Ana Uygulamalar
1. Yeni Enerji Araç Ekosistemi: 12 inç SiC alt tabaka (12 inç silisyum karbür alt tabaka), elektrikli araç güç aktarma organları mimarisinde devrim yaratıyor. Yerleşik şarj cihazlarından (OBC) ana tahrik invertörlerine ve akü yönetim sistemlerine kadar, 12 inç alt tabakaların sağladığı verimlilik iyileştirmeleri, araç menzilini %5-8 oranında artırıyor. Önde gelen bir otomobil üreticisinin raporları, 12 inç alt tabakalarımızın benimsenmesinin hızlı şarj sistemlerindeki enerji kaybını etkileyici bir şekilde %62 oranında azalttığını gösteriyor.
2. Yenilenebilir Enerji Sektörü: Fotovoltaik santrallerde, 12 inç SiC alt tabakalara dayalı invertörler yalnızca daha küçük form faktörlerine sahip olmakla kalmaz, aynı zamanda %99'u aşan dönüşüm verimliliğine de ulaşır. Özellikle dağıtık üretim senaryolarında, bu yüksek verimlilik, operatörler için elektrik kayıplarında yıllık yüz binlerce yuan tasarruf anlamına gelir.
3. Endüstriyel Otomasyon: 12 inçlik alt tabakalar kullanan frekans dönüştürücüler, endüstriyel robotlarda, CNC takım tezgahlarında ve diğer ekipmanlarda mükemmel performans göstermektedir. Yüksek frekanslı anahtarlama özellikleri, motor tepki hızını %30 artırırken, elektromanyetik paraziti geleneksel çözümlerin üçte birine indirmektedir.
4.Tüketici Elektroniği İnovasyonu: Yeni nesil akıllı telefon hızlı şarj teknolojileri, 12 inçlik SiC alt tabakalarını benimsemeye başladı. 65 W'ın üzerindeki hızlı şarj ürünlerinin tamamen silisyum karbür çözümlerine geçiş yapacağı ve 12 inçlik alt tabakaların en uygun maliyet-performans seçeneği olarak ortaya çıkacağı öngörülüyor.
12 inç SiC Alt Tabakası için XKH Özelleştirilmiş Hizmetleri
12 inç SiC alt tabakalarına (12 inç silisyum karbür alt tabakaları) yönelik özel gereksinimleri karşılamak için XKH kapsamlı servis desteği sunmaktadır:
1.Kalınlık Özelleştirmesi:
Farklı uygulama ihtiyaçlarını karşılamak için 725 μm dahil olmak üzere çeşitli kalınlık özelliklerinde 12 inçlik alt tabakalar sağlıyoruz.
2.Doping konsantrasyonu:
Üretimimiz, 0,01-0,02Ω·cm aralığında hassas özdirenç kontrolü ile n-tipi ve p-tipi alt tabakalar dahil olmak üzere birden fazla iletkenlik tipini desteklemektedir.
3.Test Hizmetleri:
Tam kapsamlı wafer seviyesinde test ekipmanlarımız ile eksiksiz muayene raporları sunuyoruz.
XKH, her müşterinin 12 inç SiC alt tabakalar için benzersiz gereksinimleri olduğunun bilincindedir. Bu nedenle, aşağıdakiler için en rekabetçi çözümleri sunmak üzere esnek iş birliği modelleri sunuyoruz:
· Ar-Ge örnekleri
· Hacim üretim alımları
Özelleştirilmiş hizmetlerimiz, 12 inç SiC alt tabakalar için özel teknik ve üretim ihtiyaçlarınızı karşılayabilmemizi sağlar.


