12 inç SiC alt tabaka Çap 300mm Kalınlık 750μm 4H-N Tipi özelleştirilebilir
Teknik parametreler
12 inç Silisyum Karbür (SiC) Alt Tabaka Spesifikasyonu | |||||
Seviye | ZeroMPD Üretimi Sınıf(Z Sınıfı) | Standart Üretim Sınıf(P Sınıfı) | Sahte Sınıf (D Sınıfı) | ||
Çap | 3 0 0 mm~1305 mm | ||||
Kalınlık | 4H-N | 750μm±15μm | 750μm±25μm | ||
4H-SI | 750μm±15μm | 750μm±25μm | |||
Wafer Yönlendirmesi | Eksen dışı: 4H-N için <1120 >±0,5°'ye doğru 4,0°, Eksen üzerinde: 4H-SI için <0001>±0,5° | ||||
Mikroboru Yoğunluğu | 4H-N | ≤0,4 cm-2 | ≤4cm-2 | ≤25cm-2 | |
4H-SI | ≤5cm-2 | ≤10cm-2 | ≤25cm-2 | ||
Dirençlilik | 4H-N | 0,015~0,024 Ω·cm | 0,015~0,028 Ω·cm | ||
4H-SI | ≥1E10 Ω·cm | ≥1E5 Ω·cm | |||
Birincil Düz Yönlendirme | {10-10} ±5,0° | ||||
Birincil Düz Uzunluk | 4H-N | Yok | |||
4H-SI | Çentik | ||||
Kenar Dışlama | 3 mm | ||||
LTV/TTV/Yay/Çarpık | ≤5μm/≤15μm/≤35 μm/≤55 μm | ≤5μm/≤15μm/≤35 □ μm/≤55 □ μm | |||
Pürüzlülük | Polonya Ra≤1 nm | ||||
CMP Ra≤0,2 nm | Ra≤0,5 nm | ||||
Yüksek Yoğunluklu Işıkla Kenar Çatlakları Yüksek Yoğunluklu Işıkla Altıgen Plakalar Yüksek Yoğunluklu Işığa Göre Politip Alanları Görsel Karbon Kapanımları Yüksek Yoğunluklu Işık Nedeniyle Silikon Yüzey Çizikleri | Hiçbiri Toplam alan ≤0,05% Hiçbiri Toplam alan ≤0,05% Hiçbiri | Toplam uzunluk ≤ 20 mm, tek uzunluk ≤ 2 mm Toplam alan ≤0,1% Toplam alan≤%3 Toplam alan ≤%3 Toplam uzunluk≤1×wafer çapı | |||
Yüksek Yoğunluklu Işıkla Kenar Çipleri | Hiçbirine izin verilmez ≥0,2 mm genişlik ve derinlik | 7'ye izin verildi, her biri ≤1 mm | |||
(TSD) Vida çıkığı dişlisi | ≤500 cm-2 | Yok | |||
(BPD) Taban düzlemi çıkığı | ≤1000 cm-2 | Yok | |||
Yüksek Yoğunluklu Işık Tarafından Silikon Yüzey Kirlenmesi | Hiçbiri | ||||
Ambalajlama | Çoklu Gofret Kaset veya Tek Gofret Kabı | ||||
Notlar: | |||||
1 Kusur sınırları kenar dışlama alanı hariç tüm gofret yüzeyi için geçerlidir. 2Çizikler sadece Si yüzünde kontrol edilmelidir. 3 Dislokasyon verileri yalnızca KOH ile aşındırılmış gofretlerden elde edilmiştir. |
Temel Özellikler
1. Üretim Kapasitesi ve Maliyet Avantajları: 12 inçlik SiC alt tabakanın (12 inçlik silikon karbür alt tabaka) seri üretimi, yarı iletken üretiminde yeni bir dönemi başlatıyor. Tek bir gofretten elde edilebilen çip sayısı, 8 inçlik alt tabakaların 2,25 katına ulaşarak doğrudan üretim verimliliğinde bir sıçramaya neden oluyor. Müşteri geri bildirimleri, 12 inçlik alt tabakaların benimsenmesinin güç modülü üretim maliyetlerini %28 oranında azalttığını ve şiddetle rekabet edilen pazarda belirleyici bir rekabet avantajı yarattığını gösteriyor.
2. Olağanüstü Fiziksel Özellikler: 12 inçlik SiC alt tabakası, silisyum karbür malzemesinin tüm avantajlarını miras alır - termal iletkenliği silisyumun 3 katıdır ve kırılma alanı dayanımı silisyumun 10 katına ulaşır. Bu özellikler, 12 inçlik alt tabakalara dayalı cihazların 200°C'yi aşan yüksek sıcaklık ortamlarında kararlı bir şekilde çalışmasını sağlayarak, elektrikli araçlar gibi zorlu uygulamalar için özellikle uygun hale getirir.
3.Yüzey İşleme Teknolojisi: Özellikle 12 inçlik SiC alt tabakalar için yeni bir kimyasal mekanik parlatma (CMP) süreci geliştirdik ve atom seviyesinde yüzey düzlüğü (Ra<0,15nm) elde ettik. Bu atılım, büyük çaplı silisyum karbür gofret yüzey işleminin dünya çapındaki zorluğunu çözerek yüksek kaliteli epitaksiyel büyüme için engelleri ortadan kaldırıyor.
4.Termal Yönetim Performansı: Pratik uygulamalarda, 12 inçlik SiC alt tabakalar dikkate değer ısı dağıtma yetenekleri göstermektedir. Test verileri, aynı güç yoğunluğu altında, 12 inçlik alt tabakalar kullanan cihazların silikon tabanlı cihazlardan 40-50°C daha düşük sıcaklıklarda çalıştığını ve ekipman hizmet ömrünü önemli ölçüde uzattığını göstermektedir.
Ana Uygulamalar
1. Yeni Enerji Araç Ekosistemi: 12 inçlik SiC alt tabakası (12 inçlik silikon karbür alt tabakası), elektrikli araç güç aktarma organları mimarisinde devrim yaratıyor. Yerleşik şarj cihazlarından (OBC) ana tahrik invertörlerine ve pil yönetim sistemlerine kadar, 12 inçlik alt tabakaların getirdiği verimlilik iyileştirmeleri araç menzilini %5-8 oranında artırıyor. Önde gelen bir otomobil üreticisinin raporları, 12 inçlik alt tabakalarımızı benimsemenin hızlı şarj sistemlerindeki enerji kaybını etkileyici bir şekilde %62 oranında azalttığını gösteriyor.
2. Yenilenebilir Enerji Sektörü: Fotovoltaik güç istasyonlarında, 12 inç SiC alt tabakalarına dayalı invertörler yalnızca daha küçük form faktörlerine sahip olmakla kalmaz, aynı zamanda %99'u aşan dönüşüm verimliliğine de ulaşır. Özellikle dağıtılmış üretim senaryolarında, bu yüksek verimlilik operatörler için elektrik kayıplarında yıllık yüz binlerce yuan tasarruf anlamına gelir.
3.Endüstriyel Otomasyon: 12 inçlik alt tabakaları kullanan frekans dönüştürücüler, endüstriyel robotlarda, CNC takım tezgahlarında ve diğer ekipmanlarda mükemmel performans gösterir. Yüksek frekanslı anahtarlama özellikleri, elektromanyetik paraziti geleneksel çözümlerin üçte birine düşürürken motor tepki hızını %30 oranında iyileştirir.
4.Tüketici Elektroniği İnovasyonu: Yeni nesil akıllı telefon hızlı şarj teknolojileri 12 inç SiC alt tabakaları benimsemeye başladı. 65W'ın üzerindeki hızlı şarj ürünlerinin tamamen silikon karbür çözümlerine geçiş yapacağı ve 12 inç alt tabakaların optimum maliyet-performans seçeneği olarak ortaya çıkacağı öngörülüyor.
12 inç SiC Alt Tabakası için XKH Özelleştirilmiş Hizmetleri
12 inç SiC alt tabakalarına (12 inç silisyum karbür alt tabakaları) yönelik özel gereksinimleri karşılamak için XKH kapsamlı servis desteği sunmaktadır:
1.Kalınlık Özelleştirmesi:
Farklı uygulama ihtiyaçlarını karşılamak için 725 μm dahil olmak üzere çeşitli kalınlık özelliklerinde 12 inçlik alt tabakalar sağlıyoruz.
2.Doping konsantrasyonu:
Üretimimiz, 0,01-0,02Ω·cm aralığında hassas özdirenç kontrolü ile n-tipi ve p-tipi alt tabakalar dahil olmak üzere birden fazla iletkenlik tipini destekler.
3.Test Hizmetleri:
Tam kapsamlı wafer seviyesi test ekipmanlarımız ile eksiksiz muayene raporları sunuyoruz.
XKH, her müşterinin 12 inçlik SiC alt tabakaları için benzersiz gereksinimleri olduğunu anlıyor. Bu nedenle, aşağıdakiler için en rekabetçi çözümleri sağlamak üzere esnek iş birliği modelleri sunuyoruz:
· Ar-Ge örnekleri
· Hacim üretim alımları
Özelleştirilmiş hizmetlerimiz, 12 inç SiC alt tabakalar için özel teknik ve üretim ihtiyaçlarınızı karşılayabilmemizi sağlar.


