Ultra Hassas SiC Hava Yataklı Tabla

Kısa Açıklama:

Yarı iletken endüstrisinin sürekli evrimiyle birlikte, işleme ve inceleme ekipmanları giderek daha yüksek performans talep etmektedir. Hareket kontrolü ve nanometre seviyesinde konumlandırma alanındaki kapsamlı uzmanlığımızdan yola çıkarak, düzlemsel H tipi çift eksenli ultra hassas hava yataklı bir platform geliştirdik.

Bize e-posta gönderin

Özellikler

Ayrıntılı Diyagram

Genel Bakış

Sonlu eleman optimizasyonlu silisyum karbür (SiC) seramik yapısı ve kompanzasyonlu hava yatağı teknolojisiyle tasarlanan bu platform, olağanüstü doğruluk, rijitlik ve dinamik tepki sunar. Aşağıdakiler için idealdir:

Yarıiletken işleme ve inceleme
Mikro/nano üretim ve metroloji
Nanometre ölçekli uç kesme ve parlatma
Yüksek hızlı hassas tarama

Başlıca Özellikler

SiC hava yataklı kılavuz yoluultra yüksek sertlik ve hassasiyet için
Yüksek dinamizmHız 1 m/s'ye kadar, ivme 4 g'ye kadar, hızlı dengeye ulaşma
Çift tahrikli portal Y ekseniyüksek yük taşıma kapasitesi ve istikrar sağlar
Kodlayıcı seçenekleri: optik ızgara veya lazer interferometresi
Konumlandırma doğruluğu: ±0,15 μm;tekrarlanabilirlik: ±75 nm
Optimize edilmiş kablo yönlendirmesitemiz tasarım ve uzun vadeli güvenilirlik için
Özelleştirilebilir yapılandırmalaruygulamaya özgü ihtiyaçlar için

Ultra Hassas Tasarım ve Doğrudan Tahrikli, Temassız Mimari

SiC Seramik ÇerçeveAlüminyum alaşımına göre yaklaşık 5 kat daha yüksek sertlik ve yaklaşık 5 kat daha düşük termal genleşme özelliği sayesinde yüksek hız stabilitesi ve termal dayanıklılık sağlar.
Dengeli Hava YatağıÖzel tasarım, sertliği, yük taşıma kapasitesini ve hareket stabilitesini artırır.
Dinamik Performans1 m/sn hızı ve 4 g ivmeyi destekler, yüksek verimlilik gerektiren işlemler için idealdir.
Sorunsuz EntegrasyonTitreşim izolasyon sistemleri, döner platformlar, eğim modülleri ve wafer taşıma platformlarıyla uyumludur.
Kablo YönetimiKontrollü bükme yarıçapı, uzun kullanım ömrü için gerilimi en aza indirir.

Çekirdeksiz Doğrusal MotorSıfır dişli kuvvetiyle sorunsuz hareket.
Çoklu Motor SürücüsüYük düzlemine motor yerleştirilmesi, düzgünlüğü, düzlemselliği ve açısal hassasiyeti artırır.
Isı YalıtımıMotorlar sahne yapısından izole edilmiştir; yüksek çalışma döngüleri için isteğe bağlı hava veya su soğutma sistemi mevcuttur.

Teknik Özellikler

Model	400-400	500-500	600-600
Eksenler	X (tarama) / Y (adım)	X (tarama) / Y (adım)	X (tarama) / Y (adım)
Hareket (mm)	400 / 400	500 / 500	600 / 600
Doğruluk (μm)	±0,15	±0,2	±0,2
Tekrarlanabilirlik (nm)	±75	±100	±100
Çözünürlük (nm)	0.3	0.3	0.3
Maksimum Hız (m/s)	1	1	1
İvme (g)	4	4	4
Doğruluk (μm)	±0,2	±0,3	±0,4
Kararlılık (nm)	±5	±5	±5
Maksimum Yük (kg)	20	20	20
Eğim/Yuvarlanma/Yanal Dönme (yay saniye)	±1	±1	±1

Test Koşulları:

Hava beslemesi: temiz, kuru; çiğ noktası ≤ 0°F; partikül filtrasyonu ≤ 0,25 μm; veya %99,99 azot.
Ölçüm doğruluğu, 20±1 °C sıcaklıkta ve %40-60 bağıl nemde, tabla merkezinin 25 mm yukarısında ölçülmüştür.

Uygulamalar

Yarı iletken litografisi, denetimi ve gofret işlemesi
Mikro/nano üretim ve hassas metroloji
Yüksek teknoloji optik üretimi ve interferometri
Havacılık ve uzay ve ileri bilimsel araştırma

Sıkça Sorulan Sorular – Silisyum Karbür Hava Yataklı Tabla

1. Hava yataklı platform nedir?

Hava yataklı bir platform, platform ile kılavuz ray arasında ince bir basınçlı hava tabakası kullanarak hareket kabiliyeti sağlar.Sürtünmesiz, aşınmasız ve ultra pürüzsüz hareketGeleneksel mekanik rulmanların aksine, kayma-yapışma olayını ortadan kaldırır, nanometre düzeyinde doğruluk sağlar ve uzun vadeli güvenilirliği destekler.

2. Sahne yapısında neden silisyum karbür (SiC) kullanılır?

Yüksek sertlikAlüminyum alaşımına göre yaklaşık 5 kat daha dayanıklıdır, bu da dinamik hareket sırasında deformasyonu en aza indirir.
Düşük termal genleşmeAlüminyuma göre yaklaşık 5 kat daha düşük maliyetle, sıcaklık değişimlerinde bile hassasiyetini korur.
HafifÇeliğe kıyasla daha düşük yoğunluk, yüksek hız ve yüksek ivmeli çalışma imkanı sağlar.
Mükemmel istikrarÜstün sönümleme ve rijitlik sayesinde ultra hassas konumlandırma.

3. Bu aşama yağlama veya bakım gerektiriyor mu?

Geleneksel yağlamaya gerek yoktur çünkümekanik temas yokÖnerilen bakım işlemleri şunlardır:

Tedariktemiz, kuru basınçlı hava veya nitrojen
Filtrelerin ve kurutucuların periyodik olarak incelenmesi
Kabloların ve soğutma sistemlerinin izlenmesi

4. Hava besleme gereksinimleri nelerdir?

Çiğ noktası: ≤ 0 °F (≈ –18 °C)
Parçacık filtrasyonu: ≤ 0,25 μm
Temiz, kuru hava veya %99,99 saflıkta azot
Minimum dalgalanma ile istikrarlı basınç

Hakkımızda

XKH, özel optik cam ve yeni kristal malzemelerin yüksek teknoloji geliştirme, üretim ve satışında uzmanlaşmıştır. Ürünlerimiz optik elektronik, tüketici elektroniği ve askeri sektörlere hizmet vermektedir. Safir optik bileşenler, cep telefonu lens kapakları, seramik, LT, silisyum karbür (SIC), kuvars ve yarı iletken kristal levhalar sunuyoruz. Nitelikli uzmanlığımız ve son teknoloji ekipmanlarımızla, standart dışı ürün işleme konusunda mükemmelliğe ulaşmayı ve önde gelen bir optoelektronik malzeme yüksek teknoloji kuruluşu olmayı hedefliyoruz.