Silisyum karbür seramik tepsi vantuzu, silisyum karbür seramik tüp beslemesi, yüksek sıcaklıkta sinterleme, özel işleme.
Başlıca özellikler:
1. Silisyum karbür seramik tepsi
- Yüksek sertlik ve aşınma direnci: Sertliği elmasa yakındır ve yarı iletken levha işleme sırasında mekanik aşınmaya uzun süre dayanabilir.
- Yüksek ısı iletkenliği ve düşük termal genleşme katsayısı: hızlı ısı dağılımı ve boyutsal kararlılık, termal gerilmeden kaynaklanan deformasyonu önler.
- Yüksek düzlük ve yüzey kalitesi: Yüzey düzlüğü mikron seviyesine kadar olup, yonga levhası ile disk arasında tam temas sağlayarak kirlenmeyi ve hasarı azaltır.
Kimyasal kararlılık: Güçlü korozyon direnci, yarı iletken üretiminde ıslak temizleme ve aşındırma işlemleri için uygundur.
2. Silisyum karbür seramik tüp
- Yüksek sıcaklık dayanımı: 1600°C'nin üzerindeki yüksek sıcaklık ortamlarında uzun süre çalışabilir, yarı iletken yüksek sıcaklık işlemleri için uygundur.
Mükemmel korozyon direnci: Asitlere, alkalilere ve çeşitli kimyasal çözücülere karşı dayanıklıdır, zorlu proses ortamları için uygundur.
- Yüksek sertlik ve aşınma direnci: Parçacık erozyonuna ve mekanik aşınmaya karşı dirençlidir, kullanım ömrünü uzatır.
- Yüksek ısı iletkenliği ve düşük termal genleşme katsayısı: hızlı ısı iletimi ve boyutsal kararlılık, termal gerilmeden kaynaklanan deformasyon veya çatlamayı azaltır.
Ürün Parametreleri:
Silisyum karbür seramik tepsi parametresi:
| (Malzeme özelliği) | (Birim) | (ssic) | |
| (SiC içeriği) | (Ağırlık)% | >99 | |
| (Ortalama tane boyutu) | mikron | 4-10 | |
| (Yoğunluk) | kg/dm3 | >3.14 | |
| (Görünür gözeneklilik) | Vo1% | <0.5 | |
| (Vickers sertliği) | HV 0.5 | GPa | 28 |
| *() Eğilme dayanımı* (üç puan) | 20ºC | MPa | 450 |
| (Basınç dayanımı) | 20ºC | MPa | 3900 |
| (Elastik Modül) | 20ºC | GPa | 420 |
| (Kırılma tokluğu) | MPa/m'% | 3.5 | |
| (Termal iletkenlik) | 20°C | W/(m*K) | 160 |
| (Direnç) | 20°C | Ohm.cm | 106-108 |
(Termal genleşme katsayısı) | a(RT**...80ºC) | K-1*10-6 | 4.3 |
(Maksimum çalışma sıcaklığı) | oºC | 1700 | |
Silisyum karbür seramik tüp parametresi:
| Öğeler | İndeks |
| α-SIC | %99 minimum |
| Görünür Gözeneklilik | %16 maksimum |
| Hacim Yoğunluğu | 2,7 g/cm³ dakika |
| Yüksek Sıcaklıkta Eğilme Dayanımı | 100 MPa minimum |
| Isı Genleşme Katsayısı | K-1 4.7x10 -6 |
| Isı İletkenlik Katsayısı (1400ºC) | 24 W/mk |
| Maksimum Çalışma Sıcaklığı | 1650ºC |
Başlıca kullanım alanları:
1. Silisyum karbür seramik levha
- Yarı iletken levha kesme ve parlatma: Kesme ve parlatma işlemleri sırasında yüksek hassasiyet ve stabilite sağlamak için yatak platformu görevi görür.
- Litografi işlemi: Pozlama sırasında yüksek hassasiyetli konumlandırma sağlamak için yonga levhası litografi makinesine sabitlenir.
- Kimyasal Mekanik Parlatma (CMP): Parlatma pedleri için destek platformu görevi görerek düzgün basınç ve ısı dağılımı sağlar.
2. Silisyum karbür seramik tüp
- Yüksek sıcaklık fırın tüpü: Difüzyon fırını ve oksidasyon fırını gibi yüksek sıcaklık ekipmanlarında, yüksek sıcaklık işlemine tabi tutulacak silikon levhaları taşımak için kullanılır.
- CVD/PVD işlemi: Reaksiyon odasında yatak borusu olarak kullanılır, yüksek sıcaklıklara ve aşındırıcı gazlara karşı dayanıklıdır.
- Yarı iletken ekipman aksesuarları: Isı eşanjörleri, gaz boru hatları vb. için, ekipmanın termal yönetim verimliliğini artırmak amacıyla kullanılır.
XKH, silisyum karbür seramik tepsiler, vantuzlar ve silisyum karbür seramik tüpler için eksiksiz bir özel hizmet yelpazesi sunmaktadır. Silisyum karbür seramik tepsiler ve vantuzlar, XKH tarafından farklı boyut, şekil ve yüzey pürüzlülüğü gereksinimlerine göre özelleştirilebilir ve özel kaplama işlemiyle aşınma direnci ve korozyon direnci artırılabilir; silisyum karbür seramik tüpler için XKH, çeşitli iç çap, dış çap, uzunluk ve karmaşık yapı (şekilli tüp veya gözenekli tüp gibi) özelleştirilebilir ve parlatma, antioksidasyon kaplama ve diğer yüzey işleme süreçleri sağlanabilir. XKH, müşterilerin silisyum karbür seramik ürünlerinin performans avantajlarından tam olarak yararlanarak yarı iletkenler, LED'ler ve fotovoltaikler gibi üst düzey üretim alanlarının zorlu gereksinimlerini karşılamalarını sağlar.
Ayrıntılı Diyagram
