Silikon Karbür Seramik Tepsisi Enayi Silikon Karbür Seramik Tüp Besleme Yüksek Sıcaklık Sinterleme Özel İşleme

Silikon Karbür Seramik Tepsi Enayi Silikon Karbür Seramik Tüp Besleme Yüksek Sıcaklık Sinterleme Özel İşleme Özel Görüntü

Kısa Açıklama:

Silikon karbür seramik tepsisi ve silikon karbür seramik tüpleri, yarı iletken üretiminde vazgeçilmez yüksek performanslı malzemelerdir. Silikon karbür seramik tepsisi esas olarak yüksek hassasiyetli işlemin stabilitesini sağlamak için sabit ve yatakta gofret işlemede kullanılır; Silikon karbür seramik tüpleri, aşırı ortamlara dayanmak ve verimli termal yönetimi korumak için yüksek sıcaklıkta fırın tüplerinde, difüzyon fırın tüplerinde ve diğer senaryolarda yaygın olarak kullanılır. Her ikisi de, mükemmel fiziksel ve kimyasal özellikleri nedeniyle yarı iletken endüstrisinde anahtar bir bileşen haline gelen çekirdek malzeme olarak silikon karbüre dayanmaktadır.

Bize E -posta Gönder

Ürün detayı

Ürün Etiketleri

Ana Özellikler:

1. silikon karbür seramik tepsisi
- Yüksek sertlik ve aşınma direnci: Sertlik elmasa yakındır ve gofret işlemede uzun süre mekanik aşınmaya dayanabilir.
- Yüksek termal iletkenlik ve düşük termal genleşme katsayısı: Hızlı ısı dağılımı ve boyutsal stabilite, termal stresin neden olduğu deformasyondan kaçınır.
- Yüksek düzlük ve yüzey kaplaması: Yüzey düzlüğü mikron seviyesine kadardır, gofret ve disk arasında tam teması sağlar, kontaminasyonu ve hasarı azaltır.
Kimyasal stabilite: Yarı iletken üretiminde ıslak temizleme ve aşındırma işlemleri için uygun güçlü korozyon direnci.
2. Silikon Karbür Seramik Tüp
- Yüksek sıcaklık direnci: Yarı iletken yüksek sıcaklık işlemi için uygun, uzun bir süre 1600 ° C'nin üzerindeki yüksek sıcaklık ortamında çalışabilir.
Mükemmel korozyon direnci: Sert işlem ortamları için uygun asitlere, alkalilere ve çeşitli kimyasal çözücülere dirençli.
- Yüksek sertlik ve aşınma direnci: Parçacık erozyonuna ve mekanik aşınmaya direnme, servis ömrünü uzatın.
- Yüksek termal iletkenlik ve düşük termal genleşme katsayısı: Hızlı ısı ve boyutsal stabilite iletimi, termal stresin neden olduğu deformasyonu veya çatlamayı azaltma.

Ürün parametresi ：

Silikon Karbür Seramik Tepsi Parametresi:

(Malzeme Mülkiyet)		(Birim)	(SSIC)
(Sic içeriği)		(WT)%	> 99
(Ortalama tane boyutu)		mikron	4-10
(Yoğunluk)		kg/dm3	> 3.14
(Görünür gözeneklilik)		%1	<0.5
(Vickers sertliği)	HV 0.5	Genel not ortalaması	28
() Bükülme mukavemeti (üç puan)	20ºC	MPa	450
(Sıkıştırıcı mukavemet)	20ºC	MPa	3900
(Elastik modül)	20ºC	Genel not ortalaması	420
(Kırılma Tokluğu)		MPA/M '%	3.5
(Termal iletkenlik)	20 ° ºC	W/(m*k)	160
(Direnç)	20 ° ºC	Ohm.cm	106-108
(Termal Genişleme Katsayısı)	A (rt ** ... 80ºC)	K-1*10-6	4.3
(Maksimum çalışma sıcaklığı)		OºC	1700

Silikon Karbür Seramik Tüp Parametresi:

Öğeler	İndeks
α-sic	% 99 dk
Görünür gözeneklilik	% 16 maks.
Toplu yoğunluk	2.7g/cm3 dakika
Yüksek sıcaklıkta bükme mukavemeti	100 MPa Min
Termal genleşme katsayısı	K -1 4.7x10 -6
Termal iletkenlik katsayısı (1400ºC)	24 w/mk
Maks. Çalışma sıcaklığı	1650ºC

Ana uygulamalar:

1. silikon karbür seramik plaka
- Gofret Kesme ve Parlatma: Kesme ve parlatma sırasında yüksek hassasiyet ve stabilite sağlamak için bir yatak platformu görevi görür.
- Litografi Süreci: Gofret, maruz kalma sırasında yüksek hassasiyetli konumlandırma sağlamak için litografi makinesinde sabitlenir.
- Kimyasal Mekanik Parlatma (CMP): Pedlerin parlatılması için bir destek platformu görevi görür, düzgün basınç ve ısı dağılımı sağlar.
2. Silikon Karbür Seramik Tüp
- Yüksek sıcaklıkta fırın tüpü: Difüzyon fırını ve oksidasyon fırını gibi yüksek sıcaklıkta ekipman için kullanılır ve yüksek sıcaklık işlemi işlemi için gofret taşımak için.
- CVD/PVD işlemi: Reaksiyon odasında bir yatak tüpü olarak, yüksek sıcaklıklara ve aşındırıcı gazlara dirençli.
- Yarı iletken ekipman aksesuarları: Isı eşanjörleri, gaz boru hatları vb. İçin, ekipmanın termal yönetim verimliliğini artırmak için.
XKH, silikon karbür seramik tepsileri, vantuzlar ve silikon karbür seramik tüpleri için çok çeşitli özel hizmetler sunmaktadır. Silikon karbür seramik tepsileri ve emme bardağı, XKH, farklı boyutlar, şekiller ve yüzey pürüzlülüğündeki müşteri gereksinimlerine göre özelleştirilebilir ve özel kaplama tedavisini destekleyebilir, aşınma direncini ve korozyon direncini artırabilir; Silikon karbür seramik tüpleri için XKH, çeşitli iç çap, dış çap, uzunluk ve karmaşık yapıyı (şekilli tüp veya gözenekli tüp gibi) özelleştirebilir ve parlatma, anti-oksidasyon kaplaması ve diğer yüzey işlem süreçleri sağlayabilir. XKH, müşterilerin yarı iletkenler, LED'ler ve fotovoltaikler gibi üst düzey üretim alanlarının zorlu gereksinimlerini karşılamak için silikon karbür seramik ürünlerinin performans avantajlarından tam olarak yararlanabilmelerini sağlar.