SiC kristal büyüme fırını SiC külçesi yetiştirme 4 inç 6 inç 8 inç PTV Lely TSSG LPE büyüme yöntemi
Başlıca kristal büyütme yöntemleri ve özellikleri
(1) Fiziksel Buhar Transfer Yöntemi (PTV)
Prensip: Yüksek sıcaklıklarda SiC hammaddesi gaz fazına süblimleşir ve daha sonra tohum kristalinde yeniden kristalleşir.
Başlıca özellikleri:
Yüksek büyüme sıcaklığı (2000-2500°C).
Yüksek kalitede, büyük boyutlu 4H-SiC ve 6H-SiC kristalleri yetiştirilebilir.
Büyüme hızı yavaştır ancak kristal kalitesi yüksektir.
Uygulama: Genellikle güç yarı iletkenlerinde, RF cihazlarında ve diğer yüksek teknolojili alanlarda kullanılır.
(2) Lely yöntemi
Prensip: Kristaller, SiC tozlarının yüksek sıcaklıklarda kendiliğinden süblimleşmesi ve yeniden kristalleşmesiyle büyütülür.
Başlıca özellikleri:
Büyüme süreci tohum gerektirmez ve kristal boyutu küçüktür.
Kristal kalitesi yüksek, ancak büyüme verimliliği düşüktür.
Laboratuvar araştırmaları ve küçük seri üretimler için uygundur.
Uygulama: Esas olarak bilimsel araştırmalarda ve küçük boyutlu SiC kristallerinin hazırlanmasında kullanılır.
(3) Üst Tohum Çözelti Büyüme Yöntemi (TSSG)
Prensip: Yüksek sıcaklıktaki çözeltide SiC hammaddesi çözünür ve tohum kristal üzerinde kristalleşir.
Başlıca özellikleri:
Büyüme sıcaklığı düşüktür (1500-1800°C).
Yüksek kalitede, düşük kusurlu SiC kristalleri yetiştirilebilir.
Büyüme hızı yavaştır ancak kristal düzgünlüğü iyidir.
Uygulama: Optoelektronik cihazlar gibi yüksek kaliteli SiC kristallerinin hazırlanması için uygundur.
(4) Sıvı Faz epitaksi (LPE)
Prensip: Sıvı metal çözeltisinde, SiC hammaddesinin alttaş üzerinde epitaksiyel büyümesi.
Başlıca özellikleri:
Büyüme sıcaklığı düşüktür (1000-1500°C).
Hızlı büyüme hızı, film büyütmeye uygundur.
Kristal kalitesi yüksektir ancak kalınlığı sınırlıdır.
Uygulama: Esas olarak sensörler ve optoelektronik cihazlar gibi SiC filmlerin epitaksiyel büyümesinde kullanılır.
Silisyum karbür kristal fırınının ana uygulama yolları
SiC kristal fırını, sic kristalleri hazırlamak için kullanılan temel ekipmandır ve başlıca uygulama alanları şunlardır:
Güç yarı iletken cihaz üretimi: Güç cihazları (MOSFET'ler, diyotlar gibi) için alt tabaka malzemesi olarak yüksek kaliteli 4H-SiC ve 6H-SiC kristalleri yetiştirmek için kullanılır.
Uygulamalar: Elektrikli araçlar, fotovoltaik invertörler, endüstriyel güç kaynakları, vb.
RF cihaz üretimi: 5G iletişim, radar ve uydu iletişiminin yüksek frekans ihtiyaçlarını karşılamak üzere RF cihazları için alt tabaka olarak düşük kusurlu SiC kristalleri yetiştirmek için kullanılır.
Optoelektronik cihaz üretimi: LED'ler, ultraviyole dedektörler ve lazerler için alt tabaka malzemesi olarak yüksek kaliteli SiC kristalleri yetiştirmek için kullanılır.
Bilimsel araştırma ve küçük parti üretimi: SiC kristal büyüme teknolojisinin inovasyonunu ve optimizasyonunu desteklemek için laboratuvar araştırmaları ve yeni malzeme geliştirme.
Yüksek sıcaklık cihazı üretimi: Havacılık ve yüksek sıcaklık sensörlerinin temel malzemesi olarak yüksek sıcaklığa dayanıklı SiC kristalleri yetiştirmek için kullanılır.
Şirket tarafından sağlanan SiC fırın ekipmanları ve hizmetleri
XKH, SIC kristal fırın ekipmanlarının geliştirilmesi ve üretimine odaklanarak aşağıdaki hizmetleri sunmaktadır:
Özelleştirilmiş ekipman: XKH, müşteri gereksinimlerine göre PTV ve TSSG gibi çeşitli büyüme yöntemlerine sahip özelleştirilmiş büyüme fırınları sağlar.
Teknik destek: XKH, kristal büyütme prosesi optimizasyonundan ekipman bakımına kadar tüm süreçte müşterilerine teknik destek sağlar.
Eğitim Hizmetleri: XKH, ekipmanların verimli bir şekilde çalışmasını sağlamak için müşterilere operasyonel eğitim ve teknik rehberlik sağlar.
Satış Sonrası Hizmet: XKH, müşteri üretiminin sürekliliğini sağlamak için hızlı yanıt veren satış sonrası hizmet ve ekipman yükseltmeleri sağlar.
Silisyum karbür kristal büyütme teknolojisi (PTV, Lely, TSSG, LPE gibi), güç elektroniği, RF cihazları ve optoelektronik alanlarında önemli uygulamalara sahiptir. XKH, müşterilerine yüksek kaliteli SiC kristallerinin büyük ölçekli üretiminde destek olmak ve yarı iletken endüstrisinin gelişimine katkıda bulunmak için gelişmiş SiC fırın ekipmanları ve eksiksiz bir hizmet yelpazesi sunmaktadır.
Ayrıntılı Diyagram
