SiC Seramik Çatal Kol / Uç Efektörü – Yarı İletken Üretimi için Gelişmiş Hassas İşleme

SiC Seramik Çatal Kol / Uç Efektörü – Yarı İletken Üretimi için Gelişmiş Hassas Kullanım Öne Çıkan Görsel

Kısa Açıklama:

Genellikle Seramik Uç Efektörü olarak da adlandırılan SiC Seramik Çatal Kol, özellikle yarı iletken ve fotovoltaik üretimi gibi yüksek teknoloji endüstrilerinde yonga taşıma, hizalama ve konumlandırma için özel olarak geliştirilmiş, yüksek performanslı, hassas bir taşıma bileşenidir. Yüksek saflıkta silisyum karbür seramikler kullanılarak üretilen bu bileşen, olağanüstü mekanik mukavemet, ultra düşük termal genleşme ve termal şok ve korozyona karşı üstün direnç özelliklerini bir araya getirir.

Bize e-posta gönderin

Özellikler

Ayrıntılı Diyagram

Ürün Genel Bakışı

Alüminyum, paslanmaz çelik veya kuvarstan üretilen geleneksel uç efektörlerin aksine, SiC seramik uç efektörler vakum odalarında, temiz odalarda ve zorlu işleme ortamlarında eşsiz bir performans sunarak, onları yeni nesil gofret işleme robotlarının önemli bir parçası haline getiriyor. Kirlilik içermeyen üretime olan talebin artması ve çip üretiminde daha sıkı toleranslar sağlanmasıyla birlikte, seramik uç efektörlerin kullanımı hızla endüstri standardı haline geliyor.

Üretim Prensibi

ÜretimiSiC Seramik Uç EfektörleriHem performansı hem de dayanıklılığı garanti eden bir dizi yüksek hassasiyetli, yüksek saflıkta işlem içerir. Genellikle iki ana işlem kullanılır:

Reaksiyon Bağlı Silisyum Karbür (RB-SiC)

Bu işlemde, silisyum karbür tozu ve bağlayıcıdan yapılmış bir ön kalıp, yüksek sıcaklıklarda (~1500°C) erimiş silisyum ile aşılanır ve bu silisyum, kalan karbonla reaksiyona girerek yoğun ve sert bir SiC-Si kompoziti oluşturur. Bu yöntem, mükemmel boyut kontrolü sağlar ve büyük ölçekli üretim için uygun maliyetlidir.

Basınçsız Sinterlenmiş Silisyum Karbür (SSiC)

SSiC, ultra ince, yüksek saflıktaki SiC tozunun, katkı maddesi veya bağlayıcı faz kullanılmadan son derece yüksek sıcaklıklarda (>2000°C) sinterlenmesiyle üretilir. Bu sayede, neredeyse %100 yoğunluğa ve SiC malzemeleri arasında mevcut en yüksek mekanik ve termal özelliklere sahip bir ürün elde edilir. Ultra kritik yonga işleme uygulamaları için idealdir.

Son İşleme

Hassas CNC İşleme: Yüksek düzlük ve paralellik sağlar.
Yüzey İşlem: Elmas parlatma yüzey pürüzlülüğünü <0,02 µm'ye düşürür.
Denetleme:Her parçanın doğrulanması için optik interferometri, CMM ve tahribatsız muayene yöntemleri kullanılmaktadır.

Bu adımlar,SiC uç efektörüTutarlı gofret yerleştirme doğruluğu, mükemmel düzlemsellik ve minimum parçacık oluşumu sağlar.

Temel Özellikler ve Avantajlar

Özellik	Tanım
Ultra Yüksek Sertlik	Vickers sertliği > 2500 HV, aşınma ve kırılmaya dayanıklıdır.
Düşük Termal Genleşme	CTE ~4,5×10⁻⁶/K, termal döngüde boyutsal kararlılığı sağlar.
Kimyasal Eylemsizlik	HF, HCl, plazma gazları ve diğer aşındırıcı maddelere karşı dayanıklıdır.
Mükemmel Termal Şok Direnci	Vakum ve fırın sistemlerinde hızlı ısıtma/soğutma için uygundur.
Yüksek Sertlik ve Mukavemet	Uzun konsollu çatal kollarını sapma olmadan destekler.
Düşük Gaz Çıkışı	Ultra yüksek vakum (UHV) ortamları için idealdir.
ISO Sınıf 1 Temiz Odaya Hazır	Partikülsüz çalışma, gofretin bütünlüğünü sağlar.

Uygulamalar

SiC Seramik Çatal Kol/Uç Efektörü, aşırı hassasiyet, temizlik ve kimyasal direnç gerektiren endüstrilerde yaygın olarak kullanılmaktadır. Başlıca uygulama senaryoları şunlardır:

Yarı İletken Üretimi

Biriktirme (CVD, PVD), aşındırma (RIE, DRIE) ve temizleme sistemlerinde gofret yükleme/boşaltma.
FOUP'lar, kasetler ve proses araçları arasında robotik gofret taşımacılığı.
Isıl işlem veya tavlama sırasında yüksek sıcaklıkta işleme.

Fotovoltaik Hücre Üretimi

Hassas silikon gofretlerin veya güneş alt tabakalarının otomatik hatlarda hassas bir şekilde taşınması.

Düz Panel Ekran (FPD) Endüstrisi

OLED/LCD üretim ortamlarında büyük cam panellerin veya alt tabakaların taşınması.

Bileşik Yarı İletken / MEMS

Kirlilik kontrolü ve konumlandırma doğruluğunun kritik önem taşıdığı GaN, SiC ve MEMS üretim hatlarında kullanılır.

Özellikle hassas operasyonlarda hatasız, stabil bir kullanım sağlanmasında son etken rolü kritik öneme sahiptir.

Özelleştirme Yetenekleri

Değişen ekipman ve proses gereksinimlerini karşılamak için kapsamlı özelleştirme seçenekleri sunuyoruz:

Çatal Tasarımı: İki uçlu, çok parmaklı veya bölünmüş seviyeli düzenler.
Wafer Boyut Uyumluluğu: 2” ile 12” arası gofretler.
Montaj Arayüzleri: OEM robotik kollarla uyumludur.
Kalınlık ve Yüzey Toleransları: Mikron seviyesinde düzlük ve kenar yuvarlatma mevcuttur.
Kaymaz Özellikler: Güvenli gofret tutuşu için isteğe bağlı yüzey dokuları veya kaplamalar.

Her biriseramik uç efektörüMüşterilerle birlikte, minimum takım değişikliğiyle hassas uyumu garantilemek için tasarlanmıştır.

Sıkça Sorulan Sorular (SSS)

S1: SiC, son efektör uygulaması için kuvarstan neden daha iyidir?
A1:Kuvars, saflığı nedeniyle yaygın olarak kullanılsa da mekanik dayanıklılığı düşüktür ve yük veya sıcaklık şoku altında kırılmaya eğilimlidir. SiC, üstün mukavemet, aşınma direnci ve termal stabilite sunarak, arıza süresi ve yonga hasarı riskini önemli ölçüde azaltır.

S2: Bu seramik çatal kolu tüm robotik gofret işleyicileriyle uyumlu mudur?
A2:Evet, seramik uç efektörlerimiz çoğu büyük gofret işleme sistemiyle uyumludur ve hassas mühendislik çizimleriyle özel robot modellerinize uyarlanabilir.

S3: 300 mm'lik gofretleri eğilmeden işleyebilir mi?
A3:Kesinlikle. SiC'nin yüksek rijitliği, ince ve uzun çatal kollarının bile hareket sırasında sarkma veya sapma olmadan 300 mm'lik gofretleri güvenli bir şekilde tutmasını sağlar.

S4: Bir SiC seramik uç efektörünün tipik hizmet ömrü nedir?
A4:Doğru kullanıldığında, bir SiC uç efektörü, termal ve mekanik strese karşı mükemmel direnci sayesinde geleneksel kuvars veya alüminyum modellere göre 5 ila 10 kat daha uzun ömürlü olabilir.

S5: Yedek parça veya hızlı prototipleme hizmetleri sunuyor musunuz?
A5:Evet, hızlı numune üretimini destekliyoruz ve mevcut ekipmanlardan CAD çizimlerine veya tersine mühendislikle üretilmiş parçalara dayalı değiştirme hizmetleri sunuyoruz.

Hakkımızda

XKH, özel optik cam ve yeni kristal malzemelerin yüksek teknoloji geliştirme, üretim ve satışında uzmanlaşmıştır. Ürünlerimiz optik elektronik, tüketici elektroniği ve askeri sektöre hizmet vermektedir. Safir optik bileşenler, cep telefonu lens kapakları, Seramik, LT, Silisyum Karbür SIC, Kuvars ve yarı iletken kristal gofretler sunuyoruz. Uzmanlığımız ve son teknoloji ekipmanlarımız sayesinde, standart dışı ürün işlemede uzmanlaşıyor ve optoelektronik malzemeler alanında lider bir yüksek teknoloji kuruluşu olmayı hedefliyoruz.