Desenli Safir Altlık PSS 2 inç 4 inç 6 inç ICP kuru aşındırma yöntemi LED çipler için kullanılabilir.
Temel özellik
1. Malzeme özellikleri: Alt tabaka malzemesi, yüksek sertliğe, yüksek ısı direncine ve kimyasal kararlılığa sahip tek kristalli safirdir (Al₂O₃).
2. Yüzey yapısı: Yüzey, fotolitografi ve aşındırma yoluyla koni, piramit veya altıgen diziler gibi periyodik mikro-nano yapılara dönüştürülür.
3. Optik performans: Yüzey desenleme tasarımı sayesinde, arayüzdeki toplam ışık yansıması azaltılır ve ışık çıkarma verimliliği artırılır.
4. Termal performans: Safir alt tabaka mükemmel termal iletkenliğe sahiptir ve yüksek güçlü LED uygulamaları için uygundur.
5. Boyut özellikleri: Yaygın boyutlar 2 inç (50,8 mm), 4 inç (100 mm) ve 6 inç (150 mm)'dir.
Başlıca uygulama alanları
1. LED üretimi:
Geliştirilmiş ışık yayılım verimliliği: PSS, desen tasarımı sayesinde ışık kaybını azaltarak LED parlaklığını ve ışık verimliliğini önemli ölçüde artırır.
Geliştirilmiş epitaksiyel büyüme kalitesi: Desenli yapı, GaN epitaksiyel katmanları için daha iyi bir büyüme tabanı sağlar ve LED performansını iyileştirir.
2. Lazer Diyot (LD):
Yüksek güçlü lazerler: PSS'nin yüksek termal iletkenliği ve kararlılığı, yüksek güçlü lazer diyotları için uygundur ve ısı dağıtım performansını ve güvenilirliğini artırır.
Düşük eşik akımı: Epitelyal büyümeyi optimize edin, lazer diyotun eşik akımını azaltın ve verimliliği artırın.
3. Fotodedektör:
Yüksek hassasiyet: PSS'nin yüksek ışık geçirgenliği ve düşük kusur yoğunluğu, fotodedektörün hassasiyetini ve tepki hızını artırır.
Geniş spektral tepki: ultraviyoleden görünür ışığa kadar fotoelektrik algılama için uygundur.
4. Güç elektroniği:
Yüksek gerilim direnci: Safirin yüksek yalıtım ve termal kararlılığı, yüksek gerilim güç cihazları için uygundur.
Etkin ısı dağıtımı: Yüksek termal iletkenlik, güç cihazlarının ısı dağıtım performansını artırır ve kullanım ömrünü uzatır.
5. RF cihazları:
Yüksek frekans performansı: PSS'nin düşük dielektrik kaybı ve yüksek termal kararlılığı, yüksek frekanslı RF cihazları için uygundur.
Düşük gürültü: Yüksek düzlük ve düşük kusur yoğunluğu, cihaz gürültüsünü azaltır ve sinyal kalitesini iyileştirir.
6. Biyosensörler:
Yüksek hassasiyetli algılama: PSS'nin yüksek ışık geçirgenliği ve kimyasal kararlılığı, yüksek hassasiyetli biyosensörler için uygundur.
Biyouyumluluk: Safirin biyouyumluluğu, onu tıbbi ve biyolojik tespit uygulamaları için uygun hale getirir.
GaN epitaksiyel malzemeli desenli safir alt tabaka (PSS):
Desenli safir alt tabaka (PSS), GaN (galyum nitrür) epitaksiyel büyümesi için ideal bir alt tabakadır. Safirin kafes sabiti GaN'ye yakındır, bu da epitaksiyel büyümede kafes uyumsuzluklarını ve kusurları azaltabilir. PSS yüzeyinin mikro-nano yapısı, yalnızca ışık yayılım verimliliğini artırmakla kalmaz, aynı zamanda GaN epitaksiyel tabakasının kristal kalitesini de iyileştirerek LED'in performansını ve güvenilirliğini artırır.
Teknik parametreler
| Öğe | Desenli Safir Altlık (2~6 inç) | ||
| Çap | 50,8 ± 0,1 mm | 100,0 ± 0,2 mm | 150,0 ± 0,3 mm |
| Kalınlık | 430 ± 25 μm | 650 ± 25 μm | 1000 ± 25 μm |
| Yüzey Yönelimi | C düzlemi (0001), M eksenine (10-10) doğru açısal sapma 0,2 ± 0,1° | ||
| C düzlemi (0001), A eksenine (11-20) doğru 0 ± 0,1° açıyla sapmıştır. | |||
| Birincil Düzlem Yönlendirmesi | A-Düzlemi (11-20) ± 1,0° | ||
| Birincil Düz Uzunluk | 16,0 ± 1,0 mm | 30,0 ± 1,0 mm | 47,5 ± 2,0 mm |
| R-Uçağı | saat 9 | ||
| Ön Yüzey Kaplaması | Desenli | ||
| Arka Yüzey Kaplaması | SSP: İnce öğütülmüş, Ra=0,8-1,2 µm; DSP: Epi cilalı, Ra<0,3 nm | ||
| Lazer İşareti | Arka taraf | ||
| TTV | ≤8μm | ≤10μm | ≤20μm |
| YAY | ≤10μm | ≤15μm | ≤25μm |
| ÇARP | ≤12μm | ≤20μm | ≤30μm |
| Kenar Hariç Tutma | ≤2 mm | ||
| Desen Spesifikasyonu | Şekil Yapısı | Kubbe, Koni, Piramit | |
| Desen Yüksekliği | 1,6~1,8 μm | ||
| Desen Çapı | 2,75~2,85 μm | ||
| Desen Alanı | 0,1~0,3 μm | ||
XKH, müşterilerinin LED, ekran ve optoelektronik alanlarında verimli inovasyon elde etmelerine yardımcı olmak amacıyla, yüksek kaliteli, özelleştirilmiş desenli safir alt tabakalar (PSS) sağlama konusunda uzmanlaşmış olup, teknik destek ve satış sonrası hizmet sunmaktadır.
1. Yüksek kaliteli PSS tedariği: LED, ekran ve optoelektronik cihazların ihtiyaçlarını karşılamak üzere çeşitli boyutlarda (2", 4", 6") desenli safir alt tabakalar.
2. Özel tasarım: Işık yayılım verimliliğini optimize etmek için yüzey mikro-nano yapısını (örneğin koni, piramit veya altıgen dizi) müşteri ihtiyaçlarına göre özelleştirin.
3. Teknik destek: Müşterilerin ürün performansını iyileştirmelerine yardımcı olmak için PSS uygulama tasarımı, süreç optimizasyonu ve teknik danışmanlık hizmeti sunmak.
4. Epitaksiyel büyüme desteği: Yüksek kaliteli epitaksiyel katman büyümesini sağlamak için GaN epitaksiyel malzemesiyle uyumlu PSS sağlanmıştır.
5. Test ve sertifikasyon: Ürünlerin sektör standartlarına uygunluğunu sağlamak için PSS kalite kontrol raporu sunun.
Ayrıntılı Diyagram
