Mikrojet lazer teknolojisi ekipmanları wafer kesme SiC malzeme işleme

Kısa Açıklama:

Mikrojet lazer teknolojisi ekipmanı, yüksek enerjili lazer ve mikron seviyesindeki sıvı jetini birleştiren bir tür hassas işleme sistemidir. Lazer ışınını yüksek hızlı sıvı jetine (deiyonize su veya özel sıvı) bağlayarak, yüksek hassasiyet ve düşük termal hasarla malzeme işleme gerçekleştirilebilir. Bu teknoloji özellikle sert ve kırılgan malzemelerin (SiC, safir, cam gibi) kesilmesi, delinmesi ve mikro yapı işlenmesi için uygundur ve yarı iletken, fotoelektrik ekran, tıbbi cihazlar ve diğer alanlarda yaygın olarak kullanılır.

Bize e-posta gönderin

Ürün Detayı

Ürün Etiketleri

Çalışma prensibi：

1. Lazer bağlantısı: Darbeli lazer (UV/yeşil/kızılötesi) sıvı jetin içine odaklanarak kararlı bir enerji iletim kanalı oluşturur.

2. Sıvı yönlendirme: Yüksek hızlı jet (akış hızı 50-200m/s) işleme alanını soğutur ve ısı birikimini ve kirliliği önlemek için döküntüleri uzaklaştırır.

3. Malzemenin uzaklaştırılması: Lazer enerjisi, malzemenin soğuk işlenmesini (ısıdan etkilenen bölge <1μm) sağlamak için sıvıda kavitasyon etkisi yaratır.

4. Dinamik kontrol: Farklı malzeme ve yapıların ihtiyaçlarını karşılamak için lazer parametrelerinin (güç, frekans) ve jet basıncının gerçek zamanlı ayarlanması.

Anahtar parametreler:

1. Lazer gücü: 10-500W (ayarlanabilir)

2. Jet çapı: 50-300μm

3.İşleme hassasiyeti: ±0,5μm (kesme), derinlik-genişlik oranı 10:1 (delme)

Teknik avantajları:

(1) Neredeyse sıfır ısı hasarı
- Sıvı jet soğutma, ısıdan etkilenen bölgeyi (HAZ) **<1μm**'ye kadar kontrol ederek, geleneksel lazer işlemlerinden kaynaklanan mikro çatlakları önler (HAZ genellikle >10μm'dir).

(2) Ultra yüksek hassasiyetli işleme
- **±0,5 μm**'ye kadar kesme/delme hassasiyeti, kenar pürüzlülüğü Ra<0,2 μm, daha sonra parlatma ihtiyacını azaltır.

- Karmaşık 3 boyutlu yapı işlemelerini (konik delikler, şekilli yuvalar gibi) destekler.

(3) Geniş malzeme uyumluluğu
- Sert ve kırılgan malzemeler: SiC, safir, cam, seramik (geleneksel yöntemlerde kolayca kırılabilir).

- Isıya duyarlı malzemeler: Polimerler, biyolojik dokular (termal denatürasyon riski yoktur).

(4) Çevre koruma ve verimlilik
- Toz kirliliği yoktur, sıvı geri dönüştürülebilir ve filtrelenebilir.

- İşleme hızında %30-50 artış (talaşlı imalata kıyasla).

(5) Akıllı kontrol
- Entegre görsel konumlandırma ve AI parametre optimizasyonu, uyarlanabilir malzeme kalınlığı ve kusurları.

Teknik özellikler：

Tezgah hacmi	300300150	400400200
Doğrusal eksen XY	Doğrusal motor. Doğrusal motor	Doğrusal motor. Doğrusal motor
Doğrusal eksen Z	150	200
Konumlandırma doğruluğu μm	+/-5	+/-5
Tekrarlanan konumlandırma doğruluğu μm	+/-2	+/-2
Hızlanma G	1	0,29
Sayısal kontrol	3 eksen /3+1 eksen /3+2 eksen	3 eksen /3+1 eksen /3+2 eksen
Sayısal kontrol türü	DPSS Nd:YAG	DPSS Nd:YAG
Dalga boyu nm	532/1064	532/1064
Anma gücü W	50/100/200	50/100/200
Su jeti	40-100	40-100
Nozul basınç çubuğu	50-100	50-600
Boyutlar (takım tezgahı) (genişlik * uzunluk * yükseklik) mm	144519442260	170015002120
Boyut (kontrol kabini) (G * U * Y)	70025001600	70025001600
Ağırlık (ekipman) T	2.5	3
Ağırlık (kontrol kabini) KG	800	800
İşleme yeteneği	Yüzey pürüzlülüğü Ra≤1.6um Açma hızı ≥1,25 mm/s Çevre kesme ≥6mm/s Doğrusal kesme hızı ≥50mm/s	Yüzey pürüzlülüğü Ra≤1.2um Açma hızı ≥1,25 mm/s Çevre kesme ≥6mm/s Doğrusal kesme hızı ≥50mm/s
	Galyum nitrür kristali, ultra geniş bant aralıklı yarı iletken malzemeler (elmas/Galyum oksit), havacılık özel malzemeleri, LTCC karbon seramik substrat, fotovoltaik, sintilatör kristali ve diğer malzeme işlemeleri için. Not: İşleme kapasitesi malzeme özelliklerine bağlı olarak değişir

İşlem durumu:

XKH'nin hizmetleri:

XKH, mikrojet lazer teknolojisi ekipmanları için erken süreç geliştirme ve ekipman seçimi danışmanlığından, orta vadeli özelleştirilmiş sistem entegrasyonuna (lazer kaynağı, jet sistemi ve otomasyon modülünün özel eşleştirilmesi dahil), daha sonraki operasyon ve bakım eğitimine ve sürekli süreç optimizasyonuna kadar tam bir yaşam döngüsü servis desteği yelpazesi sunar, tüm süreç profesyonel teknik ekip desteği ile donatılmıştır; 20 yıllık hassas işleme deneyimine dayanarak, yarı iletken ve tıbbi gibi farklı endüstriler için ekipman doğrulaması, seri üretim tanıtımı ve satış sonrası hızlı yanıt (24 saat teknik destek + önemli yedek parça rezervi) dahil olmak üzere tek elden çözümler sağlayabilir ve 12 ay uzun garanti ve ömür boyu bakım ve yükseltme hizmeti sözü verebiliriz. Müşteri ekipmanının her zaman sektör lideri işleme performansını ve kararlılığını koruduğundan emin olun.