Safir SiC Si için İyon Işın Parlatma Makinesi
Ayrıntılı Diyagram
İyon Işınlı Parlatma Makinesi Ürün Genel Bakışı
İyon Işınlı Şekillendirme ve Parlatma Makinesi, iyon püskürtme prensibine dayanmaktadır. Yüksek vakumlu bir odanın içinde, bir iyon kaynağı plazma üretir ve bu plazma yüksek enerjili bir iyon ışınına hızlandırılır. Bu ışın, optik bileşenin yüzeyini bombardıman ederek, ultra hassas yüzey düzeltme ve son işlem elde etmek için atomik ölçekte malzeme uzaklaştırır.
Temassız bir işlem olan iyon ışınlı parlatma, mekanik stresi ortadan kaldırır ve yüzey altı hasarını önler; bu da onu astronomi, havacılık ve uzay, yarı iletkenler ve ileri araştırma uygulamalarında kullanılan yüksek hassasiyetli optiklerin üretimi için ideal hale getirir.
İyon Işınlı Parlatma Makinesinin Çalışma Prensibi
İyon Üretimi
Vakum odasına inert gaz (örneğin argon) verilir ve elektriksel deşarj yoluyla iyonize edilerek plazma oluşturulur.
Hızlanma ve Işın Oluşturma
İyonlar birkaç yüz veya bin elektron volt (eV) seviyesine kadar hızlandırılır ve kararlı, odaklanmış bir ışın noktası haline getirilir.
Malzeme Kaldırma
İyon ışını, kimyasal reaksiyon başlatmadan yüzeyden atomları fiziksel olarak püskürtür.
Hata Tespiti ve Yol Planlaması
Yüzey şekli sapmaları interferometri ile ölçülür. Bekleme sürelerini belirlemek ve optimize edilmiş takım yolları oluşturmak için kaldırma fonksiyonları uygulanır.
Kapalı Döngü Düzeltmesi
RMS/PV hassasiyet hedeflerine ulaşılana kadar işleme ve ölçüm döngüleri tekrarlı olarak devam eder.
İyon Işınlı Parlatma Makinesinin Başlıca Özellikleri
Evrensel Yüzey Uyumluluğu– Düz, küresel, asferik ve serbest biçimli yüzeyleri işler.
Ultra Kararlı Giderme Oranı– Nanometre altı hassasiyette rakam düzeltmesine olanak tanır.
Hasarsız İşleme– Yüzey altında herhangi bir kusur veya yapısal değişiklik yok.
Tutarlı Performans– Farklı sertlikteki malzemelerde eşit derecede iyi sonuç verir.
Düşük/Orta Frekans Düzeltmesi– Orta/yüksek frekanslı parazitler oluşturmadan hataları ortadan kaldırır.
Düşük Bakım Gereksinimi– Minimum arıza süresiyle uzun süreli kesintisiz çalışma
İyon Işınlı Parlatma Makinesinin Başlıca Teknik Özellikleri
| Öğe | Özellikler |
| İşleme Yöntemi | Yüksek vakum ortamında iyon püskürtme |
| İşlem Türü | Temassız yüzey şekillendirme ve parlatma |
| Maksimum İş Parçası Boyutu | Φ4000 mm |
| Hareket Eksenleri | 3 eksenli / 5 eksenli |
| Çıkarma Kararlılığı | ≥%95 |
| Yüzey Doğruluğu | PV < 10 nm; RMS ≤ 0,5 nm (tipik RMS < 1 nm; PV < 15 nm) |
| Frekans Düzeltme Yeteneği | Orta ve düşük frekanslı hataları, orta/yüksek frekanslı hatalar oluşturmadan ortadan kaldırır. |
| Sürekli Çalışma | 3-5 hafta boyunca vakum bakımı yapılmadan |
| Bakım Maliyeti | Düşük |
İyon Işınlı Parlatma Makinesinin İşleme Kapasiteleri
Desteklenen Yüzey Tipleri
Basit: Düz, küresel, prizma
Karmaşık: Simetrik/asimetrik asferik, eksen dışı asferik, silindirik
Özel Konular: Ultra ince optikler, çıta optikleri, yarım küresel optikler, konformal optikler, faz plakaları, serbest biçimli yüzeyler
Desteklenen Malzemeler
Optik cam: Kuvars, mikrokristalin, K9, vb.
Kızılötesi malzemeler: Silikon, germanyum, vb.
Metaller: Alüminyum, paslanmaz çelik, titanyum alaşımı vb.
Kristaller: YAG, tek kristalli silisyum karbür, vb.
Sert/kırılgan malzemeler: Silisyum karbür, vb.
Yüzey Kalitesi / Hassasiyet
PV < 10 nm
RMS ≤ 0,5 nm
İyon Işınlı Parlatma Makinesinin İşleme Örnekleri
Durum 1 – Standart Düz Ayna
İş parçası: D630 mm kuvars levha
Sonuç: PV 46,4 nm; RMS 4,63 nm
Vaka 2 – X-ışını Yansıtıcı Ayna
İş parçası: 150 × 30 mm silikon düz levha
Sonuç: PV 8,3 nm; RMS 0,379 nm; Eğim 0,13 µrad
Durum 3 – Eksen Dışı Ayna
İş parçası: D326 mm eksen dışı taşlanmış ayna
Sonuç: PV 35,9 nm; RMS 3,9 nm
Kuvars Camlarla İlgili Sıkça Sorulan Sorular
Sıkça Sorulan Sorular – İyon Işınlı Parlatma Makinesi
S1: İyon ışınıyla parlatma nedir?
A1:İyon ışınlı parlatma, iş parçası yüzeyinden malzeme çıkarmak için odaklanmış bir iyon ışını (örneğin argon iyonları) kullanan temassız bir işlemdir. İyonlar hızlandırılır ve yüzeye yönlendirilir, bu da atomik düzeyde malzeme çıkarılmasına ve ultra pürüzsüz yüzeyler elde edilmesine neden olur. Bu işlem, mekanik gerilimi ve yüzey altı hasarını ortadan kaldırarak hassas optik bileşenler için idealdir.
S2: İyon Işınlı Parlatma Makinesi hangi yüzey tiplerini işleyebilir?
A2:Oİyon Işın Parlatma MakinesiBasit optik bileşenler de dahil olmak üzere çeşitli yüzeyleri işleyebilir.düzlemler, küreler ve prizmalar, karmaşık geometriler gibiasferik yüzeyler, eksen dışı asferik yüzeyler, Veserbest biçimli yüzeylerÖzellikle optik cam, kızılötesi optik, metaller ve sert/kırılgan malzemeler gibi malzemelerde etkilidir.
S3: İyon Işın Parlatma Makinesi hangi malzemelerle çalışabilir?
A3:Oİyon Işın Parlatma MakinesiAşağıdakiler de dahil olmak üzere çok çeşitli malzemeleri parlatabilir:
-
Optik camKuvars, mikrokristalin, K9, vb.
-
Kızılötesi malzemelerSilikon, germanyum, vb.
-
MetallerAlüminyum, paslanmaz çelik, titanyum alaşımı vb.
-
Kristal malzemeler: YAG, tek kristalli silisyum karbür, vb.
-
Diğer sert/kırılgan malzemelerSilisyum karbür, vb.
Hakkımızda
XKH, özel optik cam ve yeni kristal malzemelerin yüksek teknoloji geliştirme, üretim ve satışında uzmanlaşmıştır. Ürünlerimiz optik elektronik, tüketici elektroniği ve askeri sektörlere hizmet vermektedir. Safir optik bileşenler, cep telefonu lens kapakları, seramik, LT, silisyum karbür (SIC), kuvars ve yarı iletken kristal levhalar sunuyoruz. Nitelikli uzmanlığımız ve son teknoloji ekipmanlarımızla, standart dışı ürün işleme konusunda mükemmelliğe ulaşmayı ve önde gelen bir optoelektronik malzeme yüksek teknoloji kuruluşu olmayı hedefliyoruz.















