Safir SiC Si için İyon Işını Parlatma Makinesi
Ayrıntılı Diyagram


İyon Işınlı Cilalama Makinesi Ürün Genel Bakışı

İyon Işını Şekillendirme ve Parlatma Makinesi, iyon püskürtme prensibine dayanmaktadır. Yüksek vakumlu bir bölmenin içinde, bir iyon kaynağı plazma üretir ve bu plazma yüksek enerjili bir iyon ışınına hızlandırılır. Bu ışın, optik bileşenin yüzeyine bombardıman uygulayarak, malzemeyi atom ölçeğinde kaldırarak ultra hassas yüzey düzeltme ve sonlandırma sağlar.
Temassız bir işlem olan iyon ışınlı parlatma, mekanik stresi ortadan kaldırır ve yüzey altı hasarını önler; bu da onu astronomi, havacılık, yarı iletkenler ve ileri araştırma uygulamalarında kullanılan yüksek hassasiyetli optiklerin üretimi için ideal hale getirir.
İyon Işınlı Cilalama Makinesinin Çalışma Prensibi
İyon Üretimi
Vakum odasına inert gaz (örneğin argon) verilir ve elektriksel deşarj yoluyla iyonize edilerek plazma oluşturulur.
Hızlanma ve Işın Oluşumu
İyonlar birkaç yüz veya bin elektron volta (eV) hızlandırılır ve kararlı, odaklanmış bir ışın noktası haline getirilir.
Malzeme Kaldırma
İyon demeti, kimyasal reaksiyon başlatmadan atomları yüzeyden fiziksel olarak püskürtüyor.
Hata Algılama ve Yol Planlama
Yüzey şekil sapmaları interferometri ile ölçülür. Kaldırma fonksiyonları, bekleme sürelerini belirlemek ve optimize edilmiş takım yolları oluşturmak için uygulanır.
Kapalı Döngü Düzeltmesi
RMS/PV hassasiyet hedeflerine ulaşılana kadar işleme ve ölçüm döngüleri tekrarlanarak devam eder.
İyon Işınlı Cilalama Makinesinin Temel Özellikleri
Evrensel Yüzey Uyumluluğu– Düz, küresel, asferik ve serbest biçimli yüzeyleri işler
Ultra Kararlı Kaldırma Oranı– Nanometre altı rakam düzeltmesini mümkün kılar
Hasarsız İşleme– Yeraltı kusurları veya yapısal değişiklikler yok
Tutarlı Performans– Çeşitli sertlikteki malzemelerde eşit derecede iyi çalışır
Düşük/Orta Frekans Düzeltmesi– Orta/yüksek frekanslı eserler üretmeden hataları ortadan kaldırır
Düşük Bakım Gereksinimi– Minimum kesinti süresiyle uzun süreli kesintisiz çalışma
İyon Işınlı Cilalama Makinesinin Ana Teknik Özellikleri
Öğe | Şartname |
İşleme Yöntemi | Yüksek vakum ortamında iyon püskürtme |
İşlem Türü | Temassız yüzey şekillendirme ve parlatma |
Maksimum İş Parçası Boyutu | Φ4000 mm |
Hareket Eksenleri | 3 eksenli / 5 eksenli |
Kaldırma Kararlılığı | ≥%95 |
Yüzey Doğruluğu | PV < 10 nm; RMS ≤ 0,5 nm (tipik RMS < 1 nm; PV < 15 nm) |
Frekans Düzeltme Yeteneği | Orta/yüksek frekanslı hatalara yol açmadan düşük-orta frekanslı hataları ortadan kaldırır |
Sürekli Çalışma | Vakum bakımı yapılmadan 3–5 hafta |
Bakım Maliyeti | Düşük |
İyon Işınlı Cilalama Makinesinin İşleme Yetenekleri
Desteklenen Yüzey Türleri
Basit: Düz, küresel, prizma
Karmaşık: Simetrik/asimetrik asferik, eksen dışı asferik, silindirik
Özel: Ultra ince optik, çıta optik, yarım küresel optik, konformal optik, faz plakaları, serbest biçimli yüzeyler
Desteklenen Materyaller
Optik camlar: Kuvars, mikrokristalin, K9 vb.
Kızılötesi malzemeler: Silisyum, germanyum, vb.
Metaller: Alüminyum, paslanmaz çelik, titanyum alaşımı, vb.
Kristaller: YAG, tek kristal silisyum karbür, vb.
Sert/kırılgan malzemeler: Silisyum karbür, vb.
Yüzey Kalitesi / Hassasiyet
PV < 10 nm
RMS ≤ 0,5 nm


İyon Işını Cilalama Makinesinin İşleme Örnek Çalışmaları
Vaka 1 – Standart Düz Ayna
İş parçası: D630 mm kuvars düz
Sonuç: PV 46,4 nm; RMS 4,63 nm
Vaka 2 – X-ışını Yansıtıcı Ayna
İş parçası: 150 × 30 mm silikon düz
Sonuç: PV 8,3 nm; RMS 0,379 nm; Eğim 0,13 µrad
Durum 3 – Eksen Dışı Ayna
İş parçası: D326 mm eksen dışı taşlanmış ayna
Sonuç: PV 35,9 nm; RMS 3,9 nm
Kuvars Camlar Hakkında SSS
SSS – İyon Işınlı Cilalama Makinesi
S1: İyon ışınlı parlatma nedir?
A1:İyon ışınlı parlatma, iş parçası yüzeyinden malzemeyi çıkarmak için odaklanmış bir iyon demeti (argon iyonları gibi) kullanan temassız bir işlemdir. İyonlar hızlandırılıp yüzeye doğru yönlendirilir, böylece atomik düzeyde malzeme giderimi sağlanır ve ultra pürüzsüz yüzeyler elde edilir. Bu işlem, mekanik stresi ve yüzey altı hasarını ortadan kaldırarak hassas optik bileşenler için idealdir.
S2: İyon Işınlı Cilalama Makinesi hangi tip yüzeyleri işleyebilir?
A2:Theİyon Işınlı Cilalama Makinesibasit optik bileşenler de dahil olmak üzere çeşitli yüzeyleri işleyebilirdüzlükler, küreler ve prizmalar, karmaşık geometrilerin yanı sıraasferler, eksen dışı asferler, Veserbest biçimli yüzeylerÖzellikle optik cam, kızılötesi optik, metal ve sert/kırılgan malzemeler gibi malzemelerde etkilidir.
S3: İyon Işınlı Cilalama Makinesi hangi malzemelerle çalışabilir?
A3:Theİyon Işınlı Cilalama Makinesiaşağıdakiler de dahil olmak üzere çok çeşitli malzemeleri parlatabilir:
-
Optik cam: Kuvars, mikrokristalin, K9 vb.
-
Kızılötesi malzemeler: Silisyum, germanyum vb.
-
Metaller: Alüminyum, paslanmaz çelik, titanyum alaşımı vb.
-
Kristal malzemeler: YAG, tek kristal silisyum karbür vb.
-
Diğer sert/kırılgan malzemeler: Silisyum karbür vb.
Hakkımızda
XKH, özel optik cam ve yeni kristal malzemelerin yüksek teknoloji geliştirme, üretim ve satışında uzmanlaşmıştır. Ürünlerimiz optik elektronik, tüketici elektroniği ve askeri sektöre hizmet vermektedir. Safir optik bileşenler, cep telefonu lens kapakları, Seramik, LT, Silisyum Karbür SIC, Kuvars ve yarı iletken kristal gofretler sunuyoruz. Uzmanlığımız ve son teknoloji ekipmanlarımız sayesinde, standart dışı ürün işlemede uzmanlaşıyor ve optoelektronik malzemeler alanında lider bir yüksek teknoloji kuruluşu olmayı hedefliyoruz.
