Yarı İletken, Fotonik ve Optik Uygulamalar için Yüksek Saflıkta Erimiş Kuvars Gofretler 2″4″6″8″12″
Ayrıntılı Diyagram
Kuvars Camına Genel Bakış
Kuvars yongalar, günümüz dijital dünyasını yönlendiren sayısız modern cihazın omurgasını oluşturur. Akıllı telefonunuzdaki navigasyondan 5G baz istasyonlarının omurgasına kadar kuvars, yüksek performanslı elektronik ve fotonikte gereken kararlılığı, saflığı ve hassasiyeti sessizce sunar. İster esnek devreleri desteklesin, ister MEMS sensörlerini etkinleştirsin, isterse kuantum hesaplamanın temelini oluştursun, kuvarsın benzersiz özellikleri onu tüm sektörlerde vazgeçilmez kılar.
Kuvarsın (SiO2) amorf fazı olan "Erimiş Silika" veya "Erimiş Kuvars", borosilikat camla karşılaştırıldığında katkı maddesi içermez; bu nedenle saf hali olan SiO2'de bulunur. Erimiş silika, normal cama kıyasla kızılötesi ve ultraviyole spektrumda daha yüksek bir geçirgenliğe sahiptir. Erimiş silika, ultra saf SiO2'nin eritilmesi ve tekrar katılaştırılmasıyla üretilir. Sentetik erimiş silika ise, gazlaştırılan ve ardından H2 + O2 atmosferinde oksitlenen SiCl4 gibi silikon açısından zengin kimyasal öncüllerden yapılır. Bu durumda oluşan SiO2 tozu, bir altlık üzerinde silika ile eritilir. Erimiş silika blokları, son olarak cilalama işlemine tabi tutulan gofretler halinde kesilir.
Kuvars Cam Gofretin Temel Özellikleri ve Faydaları
-
Ultra Yüksek Saflık (≥%99,99 SiO2)
Malzeme kirliliğinin en aza indirilmesi gereken ultra temiz yarı iletken ve fotonik prosesleri için idealdir. -
Geniş Termal Çalışma Aralığı
1100°C'nin üzerindeki kriyojenik sıcaklıklarda eğilme veya bozulma olmadan yapısal bütünlüğünü korur. -
Üstün UV ve IR İletimi
Derin ultraviyole (DUV) ile yakın kızılötesi (NIR) arasında mükemmel optik netlik sunarak hassas optik uygulamaları destekler. -
Düşük Termal Genleşme Katsayısı
Sıcaklık dalgalanmaları altında boyutsal kararlılığı artırır, stresi azaltır ve proses güvenilirliğini iyileştirir. -
Üstün Kimyasal Direnç
Çoğu asit, alkali ve çözücüye karşı etkisizdir; bu da onu kimyasal olarak agresif ortamlar için uygun hale getirir. -
Yüzey Kaplama Esnekliği
Fotonik ve MEMS gereksinimleriyle uyumlu, ultra pürüzsüz, tek taraflı veya çift taraflı cilalı yüzeylerle mevcuttur.
Kuvars Cam Gofret Üretim Süreci
Erimiş kuvars gofretler bir dizi kontrollü ve hassas adımla üretilir:
-
Hammadde Seçimi
Yüksek saflıkta doğal kuvars veya sentetik SiO₂ kaynaklarının seçimi. -
Erime ve Füzyon
Kuvars, kapanımları ve kabarcıkları ortadan kaldırmak için kontrollü atmosfer altında elektrikli fırınlarda ~2000°C'de eritilir. -
Blok Oluşturma
Erimiş silika soğutularak katı bloklar veya külçeler haline getirilir. -
Gofret Dilimleme
Külçeleri gofret parçalarına kesmek için hassas elmas veya tel testereler kullanılır. -
Taşlama ve Parlatma
Her iki yüzey de tam optik, kalınlık ve pürüzlülük özelliklerini karşılamak için düzleştirilmiş ve cilalanmıştır. -
Temizlik ve Muayene
Wafer'lar ISO Sınıf 100/1000 temiz odalarda temizlenir ve kusurlar ve boyutsal uygunluk açısından titiz bir denetime tabi tutulur.
Kuvars Cam gofretin özellikleri
| özellik | birim | 4" | 6" | 8" | 10" | 12" |
|---|---|---|---|---|---|---|
| Çap / boyut (veya kare) | mm | 100 | 150 | 200 | 250 | 300 |
| Tolerans (±) | mm | 0.2 | 0.2 | 0.2 | 0.2 | 0.2 |
| Kalınlık | mm | 0,10 veya daha fazla | 0,30 veya daha fazla | 0,40 veya daha fazla | 0,50 veya daha fazla | 0,50 veya daha fazla |
| Birincil referans düz | mm | 32.5 | 57.5 | Yarı çentik | Yarı çentik | Yarı çentik |
| LTV (5mm×5mm) | mikron | < 0,5 | < 0,5 | < 0,5 | < 0,5 | < 0,5 |
| TTV | mikron | < 2 | < 3 | < 3 | < 5 | < 5 |
| Yay | mikron | ±20 | ±30 | ±40 | ±40 | ±40 |
| Çarpıtma | mikron | ≤ 30 | ≤ 40 | ≤ 50 | ≤ 50 | ≤ 50 |
| PLTV (5mm×5mm) < 0,4μm | % | ≥%95 | ≥%95 | ≥%95 | ≥%95 | ≥%95 |
| Kenar Yuvarlatma | mm | SEMI M1.2 Standardı ile uyumludur / IEC62276'ya bakın | ||||
| Yüzey Tipi | Tek Taraflı Cilalı / Çift Taraflı Cilalı | |||||
| Cilalı taraf Ra | nm | ≤1 | ≤1 | ≤1 | ≤1 | ≤1 |
| Arka Taraf Kriterleri | mikron | genel 0.2-0.7 veya özelleştirilmiş | ||||
Kuvars ve Diğer Şeffaf Malzemeler
| Mülk | Kuvars Cam | Borosilikat Cam | Safir | Standart Cam |
|---|---|---|---|---|
| Maksimum Çalışma Sıcaklığı | ~1100°C | ~500°C | ~2000°C | ~200°C |
| UV İletimi | Mükemmel (JGS1) | Fakir | İyi | Çok fakir |
| Kimyasal Direnç | Harika | Ilıman | Harika | Fakir |
| Saflık | Son derece yüksek | Düşük ila orta | Yüksek | Düşük |
| Termal Genleşme | Çok düşük | Ilıman | Düşük | Yüksek |
| Maliyet | Orta ila yüksek | Düşük | Yüksek | Çok düşük |
Kuvars Cam Gofret Hakkında SSS
S1: Erimiş kuvars ile erimiş silika arasındaki fark nedir?
Her ikisi de SiO₂'nin amorf formları olsa da, erimiş kuvars genellikle doğal kuvars kaynaklarından elde edilirken, erimiş silika sentetik olarak üretilir. İşlevsel olarak benzer performans sunarlar, ancak erimiş silika biraz daha yüksek saflık ve homojenliğe sahip olabilir.
S2: Erimiş kuvars gofretler yüksek vakumlu ortamlarda kullanılabilir mi?
Evet. Düşük gaz salınımı özellikleri ve yüksek ısıl dirençleri nedeniyle, erimiş kuvars gofretler vakum sistemleri ve havacılık uygulamaları için mükemmeldir.
S3: Bu gofretler derin UV lazer uygulamaları için uygun mudur?
Kesinlikle. Erimiş kuvars, ~185 nm'ye kadar yüksek geçirgenliğe sahiptir ve bu da onu DUV optikleri, litografi maskeleri ve excimer lazer sistemleri için ideal hale getirir.
S4: Özel gofret üretimini destekliyor musunuz?
Evet. Özel uygulama gereksinimlerinize göre çap, kalınlık, yüzey kalitesi, düzlükler/çentikler ve lazer desenleme dahil olmak üzere tam özelleştirme sunuyoruz.
Hakkımızda
XKH, özel optik cam ve yeni kristal malzemelerin yüksek teknoloji geliştirme, üretim ve satışında uzmanlaşmıştır. Ürünlerimiz optik elektronik, tüketici elektroniği ve askeri sektöre hizmet vermektedir. Safir optik bileşenler, cep telefonu lens kapakları, Seramik, LT, Silisyum Karbür SIC, Kuvars ve yarı iletken kristal gofretler sunuyoruz. Uzmanlığımız ve son teknoloji ekipmanlarımız sayesinde, standart dışı ürün işlemede uzmanlaşıyor ve optoelektronik malzemeler alanında lider bir yüksek teknoloji kuruluşu olmayı hedefliyoruz.
