Yarı İletken ve Temiz Oda Otomasyonu için Yüksek Performanslı Alümina Seramik Uç Efektörü (Çatal Kol)
Ayrıntılı Diyagram


Ürün Tanıtımı

Seramik çatal kol veya robotik seramik el olarak da adlandırılan Alümina Seramik Uç Efektörü, yarı iletken, fotovoltaik, panel ekran ve yüksek saflıktaki laboratuvar ortamlarındaki otomatik sistemler için tasarlanmış, yüksek hassasiyetli bir taşıma bileşenidir. Olağanüstü termal stabilite, mekanik sağlamlık ve kimyasal direnç sağlayarak, silikon gofretler, cam alt tabakalar ve elektronik mikro bileşenler gibi hassas malzemelerin temiz, güvenilir ve emniyetli bir şekilde taşınmasını sağlar.
Bir tür robotik son efektör olan bu seramik bileşen, otomasyon sistemi ile iş parçası arasındaki son arayüzdür. Temiz odalar ve vakum ortamlarında hassas transfer, hizalama, yükleme/boşaltma ve konumlandırma görevlerinde kritik bir rol oynar.
Malzeme Genel Bakışı – Alümina Seramik (Al₂O₃)
Alümina seramik, mükemmel mekanik ve elektriksel özellikleriyle bilinen, son derece kararlı ve kimyasal olarak inert bir teknik seramik malzemedir. Bu uç efektörlerde kullanılan yüksek saflıktaki (≥ %99,5) alümina şunları sağlar:
-
Yüksek sertlik (Mohs 9):Elmastan sonra ikinci sırada yer alan alüminyum, aşınmaya karşı olağanüstü direnç sağlar.
-
Yüksek sıcaklık kabiliyeti: 1600°C'nin üzerinde yapısal bütünlüğünü korur.
-
Kimyasal atalet: Asitlere, alkalilere, solventlere ve plazma aşındırma ortamlarına dayanıklıdır.
-
Elektrik yalıtımı: Yüksek dielektrik dayanımına ve düşük dielektrik kaybına sahiptir.
-
Düşük termal genleşme: Isıl döngülü ortamlarda boyutsal kararlılığı sağlar.
-
Düşük partikül üretimi: Temiz oda uyumluluğu için gereklidir (Sınıf 10'dan Sınıf 1000'e kadar).
Bu özellikler, alümina seramiğini kirliliğe duyarlı endüstrilerdeki kritik görev operasyonları için ideal hale getirir.
Fonksiyonel Uygulamalar
Alümina seramik uç efektörü, özellikle geleneksel metalik veya plastik malzemelerin termal genleşme, kirlenme veya korozyon sorunları nedeniyle yetersiz kaldığı yüksek teknolojili endüstriyel proseslerde yaygın olarak kullanılmaktadır. Başlıca uygulama alanları şunlardır:
- Yarı iletken gofret transferi
- Fotolitografi yükleme ve boşaltma sistemleri
- OLED ve LCD hatlarında cam alt tabaka işleme
- Güneş pili üretiminde kristalin silikon gofret transferi
- Otomatik optik veya mikroelektronik muayene
- Analitik veya biyomedikal laboratuvarlarda numune taşınması
- Vakum ortamı otomasyon sistemleri
Parçacık veya statik yük oluşturmadan çalışabilme yeteneği, temiz oda otomasyonunda hassas robotik operasyonlar için vazgeçilmez olmasını sağlar.

Tasarım Özellikleri ve Özelleştirme
Her seramik uç efektörü, belirli bir robotik kol veya gofret işleme sistemine uyacak şekilde tasarlanmıştır. Aşağıdakilere dayalı olarak tam özelleştirmeyi destekliyoruz:
-
Gofret boyutu uyumluluğu: 2", 4", 6", 8", 12" ve daha fazlası
-
Yuva geometrisi ve aralığı: Kenar tutuşu, arka taraf desteği veya çentikli gofret tasarımlarına uygundur
-
Emiş portları: Temassız kullanım için entegre vakum delikleri veya kanalları
-
Montaj yapılandırması: Robotunuzun uç takım flanşına göre tasarlanmış delikler, dişler, yuvalar
-
Yüzey işleme: Cilalı, taşlanmış veya ince taşlanmış yüzey (Ra < 0,2 µm mevcuttur)
-
Kenar koruması: Yonga hasarını önlemek için yuvarlatılmış köşeler veya pah kırma
Müşterilerimiz tarafından sağlanan CAD çizimlerini veya 3D modelleri kullanarak mühendislerimiz her çatal kolunu ağırlık, dayanıklılık ve temizlik açısından optimize edebilir.

Seramik Uç Efektörlerin Avantajları
Özellik | Fayda |
---|---|
Yüksek Mekanik Sertlik | Robotik yükleme kuvvetleri altında boyutsal hassasiyeti korur |
Mükemmel Termal Performans | Yüksek sıcaklık veya plazma ortamlarında güvenilir bir şekilde çalışır |
Sıfır Metal Kirliliği | Kritik yarı iletken işlemede iyon kontaminasyonu riski yok |
Düşük Sürtünmeli Yüzey | Gofret veya cam yüzeylerde çizilme riskini azaltır |
Anti-Statik ve Manyetik Olmayan | Toz çekmez veya manyetik duyarlı bileşenleri etkilemez |
Uzun Hizmet Ömrü | Tekrarlanan yüksek hızlı otomasyon döngülerinde üstün aşınma direnci |
Ultra Temiz Uyumluluk | ISO 14644 temiz odalar (Sınıf 100 ve altı) için uygundur |
Plastik veya alüminyum kollarla karşılaştırıldığında, alümina seramik, minimum bakım gereksinimiyle önemli ölçüde iyileştirilmiş kimyasal ve fiziksel stabilite sağlar.
Mülk | Metal Kol | Plastik Kol | Alümina Seramik Kol |
---|---|---|---|
Sertlik | Ilıman | Düşük | Çok Yüksek (Mohs 9) |
Termal Stabilite | ≤ 500°C | ≤ 150°C | ≥ 1600°C |
Kimyasal Direnç | Ilıman | Fakir | Harika |
Temiz Oda Uygunluğu | Orta | Düşük | Çok Yüksek |
Aşınma Direnci | Orta | Düşük | Üstün |
Dielektrik Dayanımı | Düşük | Orta | Yüksek |
Özel İşleme Hassasiyeti | Sınırlı | Ilıman | Yüksek (±0,01 mm mümkün) |
Teknik Özellikler
Parametre | Değer |
---|---|
Malzeme | Yüksek saflıkta Alümina (≥ %99,5) |
Çalışma Sıcaklığı | 1600°C'ye kadar |
Yüzey Pürüzlülüğü | Ra ≤ 0,2 µm (isteğe bağlı) |
Uyumlu Wafer Boyutları | 2" ila 12" veya özel |
Düzlük Toleransı | ±0,01 mm (uygulamaya bağlı) |
Vakum Emiş Desteği | İsteğe bağlı, özelleştirilebilir kanallar |
Montaj Seçenekleri | Cıvatalı, flanşlı, yivli delikler |
Sıkça Sorulan Sorular (SSS)
S1: Son efektör mevcut robotik sistemlere entegre edilebilir mi?
A1:Evet. Robotik arayüzünüze göre özelleştirmeyi destekliyoruz. Hassas uyarlama için bize bir CAD çizimi veya flanş boyutları gönderebilirsiniz.
S2: Seramik kollar kullanım sırasında kolayca kırılır mı?
A2:Seramik doğası gereği kırılgan olsa da, tasarımlarımızda gerilim yoğunlaşmasını en aza indirmek için optimize edilmiş geometri kullanılır. Uygun kullanım koşulları altında, metal veya plastikten önemli ölçüde daha uzun hizmet ömrü sağlarlar.
S3: Bunu ultra yüksek vakum veya plazma aşındırma odalarında kullanmak mümkün müdür?
A3:Evet. Alümina seramik gaz salınımı yapmayan, termal olarak kararlı ve korozyona karşı dirençlidir; yüksek vakumlu, reaktif gazlı veya plazma ortamları için mükemmel şekilde uygundur.
S4: Bu bileşenler nasıl temizleniyor veya bakımı yapılıyor?
A4:Deiyonize su, alkol veya temiz oda uyumlu deterjanlar kullanılarak temizlenebilirler. Kimyasal kararlılıkları ve inert yüzeyleri sayesinde özel bir bakım gerektirmezler.
Hakkımızda
XKH, özel optik cam ve yeni kristal malzemelerin yüksek teknoloji geliştirme, üretim ve satışında uzmanlaşmıştır. Ürünlerimiz optik elektronik, tüketici elektroniği ve askeri sektöre hizmet vermektedir. Safir optik bileşenler, cep telefonu lens kapakları, Seramik, LT, Silisyum Karbür SIC, Kuvars ve yarı iletken kristal gofretler sunuyoruz. Uzmanlığımız ve son teknoloji ekipmanlarımız sayesinde, standart dışı ürün işlemede uzmanlaşıyor ve optoelektronik malzemeler alanında lider bir yüksek teknoloji kuruluşu olmayı hedefliyoruz.
