8 inç Silikon gofret P/N tipi (100) 1-100Ω sahte geri kazanım alt tabakası
Wafer kutusunun tanıtımı
8 inçlik silikon yonga, yaygın olarak kullanılan bir silikon alt tabaka malzemesidir ve entegre devrelerin üretim sürecinde yaygın olarak kullanılır. Bu tür silikon yongalar, mikroişlemciler, bellek yongaları, sensörler ve diğer elektronik cihazlar dahil olmak üzere çeşitli entegre devre türlerinin üretiminde yaygın olarak kullanılır. 8 inçlik silikon yongalar, nispeten büyük boyutlu yongaların üretiminde yaygın olarak kullanılır ve daha geniş yüzey alanı ve tek bir silikon yonga üzerinde daha fazla yonga üretebilme gibi avantajlara sahiptir; bu da üretim verimliliğini artırır. 8 inçlik silikon yonga ayrıca, büyük ölçekli entegre devre üretimi için uygun olan iyi mekanik ve kimyasal özelliklere sahiptir.
Ürün özellikleri
8" P/N tipi, Cilalı silikon gofret (25 adet)
Oryantasyon: 200
Direnç: 0,1 - 40 ohm•cm (Partiden partiye değişiklik gösterebilir)
Kalınlık: 725+/-20um
Prime/Monitör/Test Notu
MALZEME ÖZELLİKLERİ
Parametre | Özellik |
Tip/Dopant | P, Bor N, Fosfor N, Antimon N, Arsenik |
Oryantasyonlar | <100>, <111> müşterinin özelliklerine göre dilimleme yönleri |
Oksijen İçeriği | 1019ppmA Müşterinin spesifikasyonuna göre özel toleranslar |
Karbon İçeriği | < 0,6 ppmA |
MEKANİK ÖZELLİKLER
Parametre | Astar vurmak | Monitör/Test A | Test |
Çap | 200±0,2 mm | 200 ± 0,2 mm | 200 ± 0,5 mm |
Kalınlık | 725±20µm (standart) | 725±25µm (standart) 450±25µm 625±25µm 1000±25µm 1300±25µm 1500±25 µm | 725±50µm (standart) |
TTV | < 5 µm | < 10 µm | < 15 µm |
Yay | < 30 µm | < 30 µm | < 50 µm |
Dürüm | < 30 µm | < 30 µm | < 50 µm |
Kenar Yuvarlatma | YARI STANDART | ||
İşaretleme | Sadece birincil yarı düz, yarı standart düz Jeida düz, çentik |
Parametre | Astar vurmak | Monitör/Test A | Test |
Ön Taraf Kriterleri | |||
Yüzey durumu | Kimyasal Mekanik Cilalı | Kimyasal Mekanik Cilalı | Kimyasal Mekanik Cilalı |
Yüzey Pürüzlülüğü | < 2 A° | < 2 A° | < 2 A° |
Kirlenme Parçacıklar@ >0,3 µm | = 20 | = 20 | = 30 |
Pus,Çukurlar Portakal kabuğu | Hiçbiri | Hiçbiri | Hiçbiri |
Testere, İşaretler Çizgiler | Hiçbiri | Hiçbiri | Hiçbiri |
Arka Taraf Kriterleri | |||
Çatlaklar, kaz ayakları, testere izleri, lekeler | Hiçbiri | Hiçbiri | Hiçbiri |
Yüzey durumu | Kostik kazınmış |
Ayrıntılı Diyagram


