8 inç Silikon gofret P/N tipi (100) 1-100Ω sahte geri kazanım alt tabakası
Wafer kutusunun tanıtımı
8 inçlik silikon gofret yaygın olarak kullanılan bir silikon alt tabaka malzemesidir ve entegre devrelerin üretim sürecinde yaygın olarak kullanılır. Bu tür silikon gofretler, mikroişlemciler, bellek yongaları, sensörler ve diğer elektronik cihazlar dahil olmak üzere çeşitli entegre devre türleri yapmak için yaygın olarak kullanılır. 8 inçlik silikon gofretler, daha büyük bir yüzey alanı ve tek bir silikon gofret üzerinde daha fazla yonga yapma yeteneği gibi avantajlara sahip nispeten büyük boyutlarda yongalar yapmak için yaygın olarak kullanılır ve bu da üretim verimliliğinin artmasına yol açar. 8 inçlik silikon gofret ayrıca büyük ölçekli entegre devre üretimi için uygun olan iyi mekanik ve kimyasal özelliklere sahiptir.
Ürün özellikleri
8" P/N tipi, Cilalı silikon gofret (25 adet)
Oryantasyon: 200
Direnç: 0,1 - 40 ohm•cm (Partiden partiye değişebilir)
Kalınlık: 725+/-20um
Prime/Monitör/Test Notu
MALZEME ÖZELLİKLERİ
Parametre | Özellik |
Tür/Dopant | P, Bor N, Fosfor N, Antimon N, Arsenik |
Oryantasyonlar | <100>, <111> müşterinin özelliklerine göre dilimleme yönleri |
Oksijen İçeriği | 1019ppmA Müşterinin spesifikasyonuna göre özel toleranslar |
Karbon İçeriği | < 0,6 ppmA |
MEKANİK ÖZELLİKLER
Parametre | Astar vurmak | Monitör/Test A | Test |
Çap | 200±0,2 mm | 200 ± 0,2 mm | 200 ± 0,5 mm |
Kalınlık | 725±20µm (standart) | 725±25µm (standart) 450±25µm 625±25µm 1000±25µm 1300±25µm 1500±25 µm | 725±50µm (standart) |
Tv | < 5 µm | < 10 µm | < 15 µm |
Yay | < 30 µm | < 30 µm | < 50 µm |
Dürüm | < 30 µm | < 30 µm | < 50 µm |
Kenar Yuvarlatma | YARI STD | ||
İşaretleme | Sadece birincil YARI-Düz, YARI-STD Düz Jeida Düz, Çentik |
Parametre | Astar vurmak | Monitör/Test A | Test |
Ön Yüz Kriterleri | |||
Yüzey durumu | Kimyasal Mekanik Cilalı | Kimyasal Mekanik Cilalı | Kimyasal Mekanik Cilalı |
Yüzey Pürüzlülüğü | < 2A° | < 2A° | < 2A° |
Kirlenme Parçacıklar@ >0,3 µm | = 20 | = 20 | = 30 |
Pus,Çukurlar Portakal kabuğu | Hiçbiri | Hiçbiri | Hiçbiri |
Testere, İşaretler Çizgiler | Hiçbiri | Hiçbiri | Hiçbiri |
Arka Taraf Kriterleri | |||
Çatlaklar, kaz ayakları, testere izleri, lekeler | Hiçbiri | Hiçbiri | Hiçbiri |
Yüzey durumu | Aşındırıcı aşındırılmış |
Ayrıntılı Diyagram


