8 inç SiC Üretim sınıfı plaka 4H-N SiC substrat

Kısa Açıklama:

8 inçlik SiC alt tabakalar, güç MOSFET'leri (Metal Oksit Yarı İletken Alan Etkili Transistörler), Schottky diyotları ve diğer güç yarı iletken cihazları gibi yüksek güçlü elektronik cihazlarda kullanılır.


Ürün ayrıntısı

Ürün etiketleri

Aşağıdaki tabloda 8 inç SiC levhalarımızın özellikleri gösterilmektedir:

8 inç N-tipi SiC DSP Özellikleri

Sayı Öğe Birim Üretme Araştırma kukla
1:parametreler
1.1 çoktipli -- 4H 4H 4H
1.2 yüzey yönelimi ° <11-20>4±0,5 <11-20>4±0,5 <11-20>4±0,5
2: Elektrik parametresi
2.1 katkı maddesi -- n-tipi Azot n-tipi Azot n-tipi Azot
2.2 direnç ohm ·cm 0,015~0,025 0,01~0,03 NA
3: Mekanik parametre
3.1 çap mm 200±0,2 200±0,2 200±0,2
3.2 kalınlık μm 500±25 500±25 500±25
3.3 Çentik yönü ° [1- 100]±5 [1- 100]±5 [1- 100]±5
3.4 Çentik Derinliği mm 1~1,5 1~1,5 1~1,5
3.5 YBD μm ≤5(10mm*10mm) ≤5(10mm*10mm) ≤10(10mm*10mm)
3.6 TTV μm ≤10 ≤10 ≤15
3.7 Yay μm -25~25 -45~45 -65~65
3.8 Çözgü μm ≤30 ≤50 ≤70
3.9 AFM nm Ra≤0,2 Ra≤0,2 Ra≤0,2
4: Yapı
4.1 mikropipe yoğunluğu adet/cm2 ≤2 ≤10 ≤50
4.2 metal içeriği atom/cm2 ≤1E11 ≤1E11 NA
4.3 TSD adet/cm2 ≤500 ≤1000 NA
4.4 BPD adet/cm2 ≤2000 ≤5000 NA
4.5 TED adet/cm2 ≤7000 ≤10000 NA
5.Ön kalite
5.1 ön -- Si Si Si
5.2 yüzey -- Si-yüzlü CMP Si-yüzlü CMP Si-yüzlü CMP
5.3 parçacık adet/gofret ≤100(boyut≥0,3μm) NA NA
5.4 çizik adet/gofret ≤5,Toplam Uzunluk≤200mm NA NA
5.5 Kenar
talaşlar/girintiler/çatlaklar/lekeler/kirlilik
-- Hiçbiri Hiçbiri NA
5.6 Çok tipli alanlar -- Hiçbiri Alan ≤%10 Alan ≤30%
5.7 ön işaretleme -- Hiçbiri Hiçbiri Hiçbiri
6:Arka kalite
6.1 arka kaplama -- C yüzlü MP C yüzlü MP C yüzlü MP
6.2 çizik mm NA NA NA
6.3 Arka kusurlar kenarı
çipler/girintiler
-- Hiçbiri Hiçbiri NA
6.4 Sırt pürüzlülüğü nm Ra≤5 Ra≤5 Ra≤5
6.5 Geri işaretleme -- Çentik Çentik Çentik
7:kenar
7.1 kenar -- Pah Pah Pah
8: Paket
8.1 ambalajlama -- Vakumlu epi hazır
ambalajlama
Vakumlu epi hazır
ambalajlama
Vakumlu epi hazır
ambalajlama
8.2 ambalajlama -- Çoklu gofret
kaset paketleme
Çoklu gofret
kaset paketleme
Çoklu gofret
kaset paketleme

Detaylı Diyagram

asd (1)
asd (2)
asd (3)

  • Öncesi:
  • Sonraki:

  • Mesajınızı buraya yazıp bize gönderin