8 inç SiC Üretim sınıfı gofret 4H-N SiC alt tabaka
Aşağıdaki tabloda 8 inçlik SiC yonga levhalarımızın özellikleri gösterilmektedir:
| 8 inç N tipi SiC DSP Özellikleri | |||||
| Sayı | Öğe | Birim | Üretme | Araştırma | Kukla |
| 1:parametreler | |||||
| 1.1 | politip | -- | 4H | 4H | 4H |
| 1.2 | yüzey yönlendirmesi | ° | <11-20>4±0.5 | <11-20>4±0.5 | <11-20>4±0.5 |
| 2: Elektriksel parametre | |||||
| 2.1 | katkı maddesi | -- | n-tipi Azot | n-tipi Azot | n-tipi Azot |
| 2.2 | direnç | ohm ·cm | 0.015~0.025 | 0.01~0.03 | NA |
| 3: Mekanik parametre | |||||
| 3.1 | çap | mm | 200±0.2 | 200±0.2 | 200±0.2 |
| 3.2 | kalınlık | μm | 500±25 | 500±25 | 500±25 |
| 3.3 | Çentik yönlendirmesi | ° | [1- 100]±5 | [1- 100]±5 | [1- 100]±5 |
| 3.4 | Çentik Derinliği | mm | 1~1.5 | 1~1.5 | 1~1.5 |
| 3.5 | LTV | μm | ≤5 (10 mm * 10 mm) | ≤5 (10 mm * 10 mm) | ≤10 (10 mm * 10 mm) |
| 3.6 | TTV | μm | ≤10 | ≤10 | ≤15 |
| 3.7 | Yay | μm | -25~25 | -45~45 | -65~65 |
| 3.8 | Çarpıtma | μm | ≤30 | ≤50 | ≤70 |
| 3.9 | AFM | nm | Ra≤0.2 | Ra≤0.2 | Ra≤0.2 |
| 4: Yapı | |||||
| 4.1 | mikro boru yoğunluğu | ea/cm2 | ≤2 | ≤10 | ≤50 |
| 4.2 | metal içeriği | atom/cm2 | ≤1E11 | ≤1E11 | NA |
| 4.3 | TSD | ea/cm2 | ≤500 | ≤1000 | NA |
| 4.4 | BPD | ea/cm2 | ≤2000 | ≤5000 | NA |
| 4.5 | TED | ea/cm2 | ≤7000 | ≤10000 | NA |
| 5. Ön kalite | |||||
| 5.1 | ön | -- | Si | Si | Si |
| 5.2 | yüzey kaplaması | -- | Si-yüzey CMP | Si-yüzey CMP | Si-yüzey CMP |
| 5.3 | parçacık | ea/wafer | ≤100 (boyut≥0,3 μm) | NA | NA |
| 5.4 | çizik | ea/wafer | ≤5, Toplam Uzunluk ≤200 mm | NA | NA |
| 5.5 | Kenar kırıklar/çizikler/çatlaklar/lekeler/kirlenme | -- | Hiçbiri | Hiçbiri | NA |
| 5.6 | Politip alanları | -- | Hiçbiri | Alan ≤%10 | Alan ≤%30 |
| 5.7 | ön işaretleme | -- | Hiçbiri | Hiçbiri | Hiçbiri |
| 6: Sırt kalitesi | |||||
| 6.1 | geri bitirme | -- | C-yüz MP | C-yüz MP | C-yüz MP |
| 6.2 | çizik | mm | NA | NA | NA |
| 6.3 | Arka kusurlar kenarı yongalar/girintiler | -- | Hiçbiri | Hiçbiri | NA |
| 6.4 | Sırt pürüzlülüğü | nm | Ra≤5 | Ra≤5 | Ra≤5 |
| 6.5 | Geri işaretleme | -- | Çentik | Çentik | Çentik |
| 7:kenar | |||||
| 7.1 | kenar | -- | Pah | Pah | Pah |
| 8:Paket | |||||
| 8.1 | ambalajlama | -- | Vakumlu Epi-hazır ambalajlama | Vakumlu Epi-hazır ambalajlama | Vakumlu Epi-hazır ambalajlama |
| 8.2 | ambalajlama | -- | Çoklu gofret kaset ambalajı | Çoklu gofret kaset ambalajı | Çoklu gofret kaset ambalajı |
Ayrıntılı Diyagram
İlgili Ürünler
Mesajınızı buraya yazın ve bize gönderin.