8 inç SiC Üretim sınıfı gofret 4H-N SiC alt tabaka
Aşağıdaki tabloda 8 inç SiC gofretlerimizin özellikleri gösterilmektedir:
| 8 inç N tipi SiC DSP Özellikleri | |||||
| Sayı | Öğe | Birim | Üretme | Araştırma | Aptal |
| 1:parametreler | |||||
| 1.1 | politip | -- | 4H | 4H | 4H |
| 1.2 | yüzey yönelimi | ° | <11-20>4±0,5 | <11-20>4±0,5 | <11-20>4±0,5 |
| 2: Elektriksel parametre | |||||
| 2.1 | katkı maddesi | -- | n-tipi Azot | n-tipi Azot | n-tipi Azot |
| 2.2 | özdirenç | ohm ·cm | 0,015~0,025 | 0,01~0,03 | NA |
| 3: Mekanik parametre | |||||
| 3.1 | çap | mm | 200±0,2 | 200±0,2 | 200±0,2 |
| 3.2 | kalınlık | mikron | 500±25 | 500±25 | 500±25 |
| 3.3 | Çentik yönelimi | ° | [1- 100]±5 | [1- 100]±5 | [1- 100]±5 |
| 3.4 | Çentik Derinliği | mm | 1~1,5 | 1~1,5 | 1~1,5 |
| 3.5 | Ömür boyu fayda | mikron | ≤5(10mm*10mm) | ≤5(10mm*10mm) | ≤10(10mm*10mm) |
| 3.6 | Tv | mikron | ≤10 | ≤10 | ≤15 |
| 3.7 | Yay | mikron | -25~25 | -45~45 | -65~65 |
| 3.8 | Çarpıtma | mikron | ≤30 | ≤50 | ≤70 |
| 3.9 | AKM | nm | Ra≤0.2 | Ra≤0.2 | Ra≤0.2 |
| 4:Yapı | |||||
| 4.1 | mikro boru yoğunluğu | adet/cm2 | ≤2 | ≤10 | ≤50 |
| 4.2 | metal içeriği | atomlar/cm2 | ≤1E11 | ≤1E11 | NA |
| 4.3 | TSD | adet/cm2 | ≤500 | ≤1000 | NA |
| 4.4 | Sınırda Kişilik Bozukluğu | adet/cm2 | ≤2000 | ≤5000 | NA |
| 4.5 | TED | adet/cm2 | ≤7000 | ≤10000 | NA |
| 5.Ön kalite | |||||
| 5.1 | ön | -- | Si | Si | Si |
| 5.2 | yüzey bitirme | -- | Si-yüz CMP | Si-yüz CMP | Si-yüz CMP |
| 5.3 | parçacık | ea/gofret | ≤100(boyut≥0,3μm) | NA | NA |
| 5.4 | çizik | ea/gofret | ≤5,Toplam Uzunluk≤200mm | NA | NA |
| 5.5 | Kenar çentikler/girintiler/çatlaklar/lekeler/kirlenme | -- | Hiçbiri | Hiçbiri | NA |
| 5.6 | Politip alanları | -- | Hiçbiri | Alan ≤%10 | Alan ≤%30 |
| 5.7 | ön işaretleme | -- | Hiçbiri | Hiçbiri | Hiçbiri |
| 6:Arka kalite | |||||
| 6.1 | arka bitiş | -- | C-yüzlü milletvekili | C-yüzlü milletvekili | C-yüzlü milletvekili |
| 6.2 | çizik | mm | NA | NA | NA |
| 6.3 | Arka kusurlar kenar cipsler/girintiler | -- | Hiçbiri | Hiçbiri | NA |
| 6.4 | Sırt pürüzlülüğü | nm | Ra≤5 | Ra≤5 | Ra≤5 |
| 6.5 | Geri işaretleme | -- | Çentik | Çentik | Çentik |
| 7:kenar | |||||
| 7.1 | kenar | -- | Pah kırma | Pah kırma | Pah kırma |
| 8:Paket | |||||
| 8.1 | ambalajlama | -- | Vakumlu Epi-hazır ambalajlama | Vakumlu Epi-hazır ambalajlama | Vakumlu Epi-hazır ambalajlama |
| 8.2 | ambalajlama | -- | Çoklu gofret kaset ambalajı | Çoklu gofret kaset ambalajı | Çoklu gofret kaset ambalajı |
Ayrıntılı Diyagram
Mesajınızı buraya yazın ve bize gönderin