8 inç SiC Üretim sınıfı levha 4H-N SiC alt tabaka
Aşağıdaki tabloda 8 inç SiC levhalarımızın özellikleri gösterilmektedir:
8 inç N-tipi SiC DSP Özellikleri | |||||
Sayı | Öğe | Birim | Üretme | Araştırma | kukla |
1:parametreler | |||||
1.1 | çoktipli | -- | 4H | 4H | 4H |
1.2 | yüzey yönelimi | ° | <11-20>4±0,5 | <11-20>4±0,5 | <11-20>4±0,5 |
2: Elektrik parametresi | |||||
2.1 | katkı maddesi | -- | n-tipi Azot | n-tipi Azot | n-tipi Azot |
2.2 | direnç | ohm ·cm | 0,015~0,025 | 0,01~0,03 | NA |
3: Mekanik parametre | |||||
3.1 | çap | mm | 200±0,2 | 200±0,2 | 200±0,2 |
3.2 | kalınlık | μm | 500±25 | 500±25 | 500±25 |
3.3 | Çentik yönü | ° | [1- 100]±5 | [1- 100]±5 | [1- 100]±5 |
3.4 | Çentik Derinliği | mm | 1~1,5 | 1~1,5 | 1~1,5 |
3.5 | YBD | μm | ≤5(10mm*10mm) | ≤5(10mm*10mm) | ≤10(10mm*10mm) |
3.6 | TTV | μm | ≤10 | ≤10 | ≤15 |
3.7 | Yay | μm | -25~25 | -45~45 | -65~65 |
3.8 | Çözgü | μm | ≤30 | ≤50 | ≤70 |
3.9 | AFM | nm | Ra≤0,2 | Ra≤0,2 | Ra≤0,2 |
4: Yapı | |||||
4.1 | mikropipe yoğunluğu | adet/cm2 | ≤2 | ≤10 | ≤50 |
4.2 | metal içeriği | atom/cm2 | ≤1E11 | ≤1E11 | NA |
4.3 | TSD | adet/cm2 | ≤500 | ≤1000 | NA |
4.4 | BPD | adet/cm2 | ≤2000 | ≤5000 | NA |
4.5 | TED | adet/cm2 | ≤7000 | ≤10000 | NA |
5.Ön kalite | |||||
5.1 | ön | -- | Si | Si | Si |
5.2 | yüzey kalitesi | -- | Si-yüzlü CMP | Si-yüzlü CMP | Si-yüzlü CMP |
5.3 | parçacık | adet/gofret | ≤100(boyut≥0,3μm) | NA | NA |
5.4 | çizik | adet/gofret | ≤5,Toplam Uzunluk≤200mm | NA | NA |
5.5 | Kenar talaşlar/girintiler/çatlaklar/lekeler/kirlilik | -- | Hiçbiri | Hiçbiri | NA |
5.6 | Çok tipli alanlar | -- | Hiçbiri | Alan ≤%10 | Alan ≤30% |
5.7 | ön işaretleme | -- | Hiçbiri | Hiçbiri | Hiçbiri |
6:Arka kalite | |||||
6.1 | arka kaplama | -- | C yüzlü MP | C yüzlü MP | C yüzlü MP |
6.2 | çizik | mm | NA | NA | NA |
6.3 | Arka kusurlar kenarı çipler/girintiler | -- | Hiçbiri | Hiçbiri | NA |
6.4 | Sırt pürüzlülüğü | nm | Ra≤5 | Ra≤5 | Ra≤5 |
6.5 | Geri işaretleme | -- | Çentik | Çentik | Çentik |
7:kenar | |||||
7.1 | kenar | -- | Pah | Pah | Pah |
8: Paket | |||||
8.1 | ambalajlama | -- | Vakumlu epi hazır ambalajlama | Vakumlu epi hazır ambalajlama | Vakumlu epi hazır ambalajlama |
8.2 | ambalajlama | -- | Çoklu gofret kaset paketleme | Çoklu gofret kaset paketleme | Çoklu gofret kaset paketleme |
Detaylı Diyagram
Mesajınızı buraya yazıp bize gönderin