6 inç SiC Epitaxiy gofret N/P tipi özelleştirilmiş kabul
Silisyum karbür epitaksiyel levhanın hazırlanma süreci, Kimyasal Buhar Biriktirme (CVD) teknolojisinin kullanıldığı bir yöntemdir.İlgili teknik prensipler ve hazırlık süreci adımları aşağıdadır:
Teknik prensip:
Kimyasal Buhar Biriktirme: Gaz fazındaki ham madde gazı kullanılarak, belirli reaksiyon koşulları altında ayrıştırılır ve istenen ince filmi oluşturmak üzere alt tabaka üzerinde biriktirilir.
Gaz fazı reaksiyonu: Piroliz veya parçalama reaksiyonu yoluyla, gaz fazındaki çeşitli hammadde gazları reaksiyon odasında kimyasal olarak değiştirilir.
Hazırlık süreci adımları:
Substrat işlemi: Substrat, epitaksiyel levhanın kalitesini ve kristalliğini sağlamak için yüzey temizliğine ve ön işleme tabi tutulur.
Reaksiyon odası hata ayıklaması: Reaksiyon koşullarının stabilitesini ve kontrolünü sağlamak için reaksiyon odasının sıcaklığını, basıncını ve akış hızını ve diğer parametreleri ayarlayın.
Hammadde tedariği: Gerekli gaz ham maddelerini reaksiyon odasına besleyin, gerektiği gibi karıştırın ve akış hızını kontrol edin.
Reaksiyon prosesi: Reaksiyon odasının ısıtılmasıyla, gaz halindeki besleme stoğu, arzu edilen tortuyu, yani silisyum karbür filmi üretmek üzere oda içinde kimyasal bir reaksiyona girer.
Soğutma ve boşaltma: Reaksiyonun sonunda, reaksiyon odasındaki birikintilerin soğutulması ve katılaştırılması için sıcaklık kademeli olarak düşürülür.
Epitaksiyel levha tavlama ve son işleme: biriktirilen epitaksiyel levha tavlanır ve elektriksel ve optik özelliklerini geliştirmek için sonradan işlenir.
Silisyum karbür epitaksiyel levha hazırlama işleminin spesifik adımları ve koşulları, spesifik ekipmana ve gereksinimlere bağlı olarak değişebilir.Yukarıdakiler yalnızca genel bir süreç akışı ve prensibidir; özel operasyonun fiili duruma göre ayarlanması ve optimize edilmesi gerekir.
Detaylı Diyagram
![WechatIMG321](http://www.xkh-semitech.com/uploads/WechatIMG321.jpg)
![WechatIMG320](http://www.xkh-semitech.com/uploads/WechatIMG320.jpg)