Safir üzerinde NPSS/FSS AlN şablonu üzerinde 50,8 mm/100 mm AlN Şablonu
Safir Üzerinde AlN
AlN-On-Sapphire, aşağıdakiler gibi çeşitli fotoelektrik cihazların yapımında kullanılabilir:
1. LED çipleri: LED çipleri genellikle alüminyum nitrür filmlerden ve diğer malzemelerden yapılır. LED çiplerinin alt katmanı olarak AlN-On-Sapphire levhalar kullanılarak LED'lerin verimliliği ve stabilitesi artırılabilir.
2. Lazerler: Safir Üzerinde AlN levhalar aynı zamanda tıbbi, iletişim ve malzeme işlemede yaygın olarak kullanılan lazerler için alt tabaka olarak da kullanılabilir.
3. Güneş pilleri: Güneş pillerinin imalatı, alüminyum nitrür gibi malzemelerin kullanımını gerektirir. Bir substrat olarak Safir Üzerinde AlN, güneş pillerinin verimliliğini ve ömrünü artırabilir.
4. Diğer optoelektronik cihazlar: Safir Üzerinde AlN levhalar aynı zamanda fotodetektörler, optoelektronik cihazlar ve diğer optoelektronik cihazların üretiminde de kullanılabilir.
Sonuç olarak, AlN-Safir levhalar yüksek termal iletkenlikleri, yüksek kimyasal stabiliteleri, düşük kayıpları ve mükemmel optik özellikleri nedeniyle opto-elektrik alanında yaygın olarak kullanılmaktadır.
NPSS/FSS'de 50,8 mm/100 mm AlN Şablonu
Öğe | Notlar | |||
Tanım | NPSS'de AlN şablonu | AlN-on-FSS şablonu | ||
Gofret çapı | 50,8 mm, 100 mm | |||
Yüzey | c-düzlemi NPSS | c-düzlem Düzlemsel Safir (FSS) | ||
Yüzey Kalınlığı | 50,8 mm, 100 mmc düzlemli Düzlemsel Safir (FSS) 100 mm: 650 um | |||
AIN epi katmanının kalınlığı | 3~4 um (hedef: 3,3 um) | |||
İletkenlik | Yalıtım | |||
Yüzey | Büyüdükçe | |||
RMS<1nm | RMS<2nm | |||
Arka taraf | Öğütülmüş | |||
FWHM(002)XRC | < 150 ark saniye | < 150 ark saniye | ||
FWHM(102)XRC | < 300 ark saniye | < 300 ark saniye | ||
Kenar Hariç Tutma | < 2 mm | < 3 mm | ||
Birincil düz yönlendirme | a-düzlemi+0,1° | |||
Birincil düz uzunluk | 50,8 mm: 16+/-1 mm 100 mm: 30+/-1 mm | |||
Paket | Nakliye kutusunda veya tekli gofret kabında paketlenmiştir |
Detaylı Diyagram

