4 inç 6 inç Lityum niyobat tek kristal film LNOI gofret
LNOI malzemelerinin hazırlanma süreci esas olarak aşağıdaki dört adıma ayrılır:
(1) He iyonları belirli bir enerjide X-kesimli lityum niyobat malzemesine enjekte edildi ve lityum niyobat yüzey tabakasının altındaki belirli bir derinlikteki kusur tabakasına sokuldu;
(2) İyon implante edilmiş lityum niyobat malzemesi, bir bağlanma yapısı oluşturmak üzere bir oksit tabakasına sahip bir silikon alt tabakaya bağlanır;
(3) Bağlayıcı yapı, He iyonu aşılanmasıyla oluşan kusurların gelişmesi ve birleşerek çatlaklar oluşturması için tavlandı. Son olarak, lityum niyobat, kusur tabakası boyunca ayrılarak kalıntı lityum niyobat dilimleri ve LNOI yongaları oluşturuldu.
LNOI gofretin uygulamaları ve avantajları
1--Lityum niyobat piezoelektrik filmler (LNOI), yüksek piezoelektrik katsayıya ve dielektrik sabitine sahip olup, mekanik enerjiyi elektrik enerjisine veya elektrik enerjisini mekanik enerjiye dönüştürebilir. Bu nedenle, basınç sensörleri, ivme sensörleri, sıcaklık sensörleri vb. gibi sensör alanlarında yaygın olarak kullanılır. Ayrıca, lityum niyobat piezoelektrik film, piezoelektrik seramik dönüştürücü kompleks piezoelektrik seramik filtre gibi akustik cihazlarda ve titreşim cihazlarında da kullanılabilir.
2-Lityum niyobat piezoelektrik filminin kararlılığı da avantajlarından biridir. Kristal yapı kararlılığı ve kimyasal atalet özelliği sayesinde lityum niyobat piezoelektrik film, yüksek sıcaklık, yüksek nem, güçlü asit, güçlü alkali ve diğer zorlu ortamlarda iyi korozyon direnci ve dayanıklılıkla çalışabilir.
3-Lityum niyobat piezoelektrik film, mükemmel performans ve stabiliteye sahip yeni bir piezoelektrik malzemedir ve geniş bir uygulama potansiyeline sahiptir. Bilim ve teknolojinin sürekli gelişmesiyle birlikte, lityum niyobat piezoelektrik film daha fazla şehirde uygulanacak ve insanların hayatlarına daha fazla kolaylık ve yenilik getirecektir.
Ayrıntılı Diyagram


