4 inç SiC Plakalar 6H Yarı Yalıtımlı SiC Yüzeyler birinci sınıf, araştırma ve yapay sınıf

Kısa Açıklama:

Yarı yalıtımlı silisyum karbür substrat, yarı yalıtımlı silisyum karbür kristalinin büyütülmesinden sonra kesme, taşlama, cilalama, temizleme ve diğer işleme teknolojileri ile oluşturulur. Substrat üzerinde epitaksi olarak kalite gereksinimlerini karşılayan bir katman veya çok katmanlı kristal katman büyütülür ve ardından devre tasarımı ve paketleme birleştirilerek mikrodalga RF cihazı yapılır. 2 inç 3 inç 4 inç gh 6 inç 8 inç endüstriyel, araştırma ve test sınıfı yarı yalıtımlı silisyum karbür tek kristal yüzeyler olarak mevcuttur.

Bize e-posta gönder

Ürün Detayı

Ürün Etiketleri

Ürün Özellikleri

Seviye			Sıfır MPD Üretim Sınıfı (Z Sınıfı)			Standart Üretim Sınıfı (P Sınıfı)		Sahte Sınıf (D Sınıfı)
Çap			99,5 mm~100,0 mm
	4H-SI		500 μm±20 μm			500 μm±25 μm
Gofret Yönü			Eksen dışı : 4H-N için < 1120 > ±0,5°'ye doğru 4,0°, Eksen üstü : 4H-SI için <0001>±0,5°
	4H-SI		≤1cm^-2			≤5 cm^-2		≤15cm^-2
	4H-SI		≥1E9 Ω·cm					≥1E5 Ω·cm
Birincil Düz Yönlendirme		{10-10} ±5,0°
Birincil Düz Uzunluk		32,5 mm±2,0 mm
İkincil Düz Uzunluk		18,0 mm±2,0 mm
İkincil Düz Yönelim		Silikon yüzü yukarı: 90° CW. Prime düzden itibaren ±5,0°
Kenar Hariç Tutma		3mm
LTV/TTV/Yay/Çözgü		≤3 μm/≤5 μm/≤15 μm/≤30 μm						≤10 μm/≤15 μm/≤25 μm/≤40 μm
Pürüzlülük			C yüzü				Lehçe		Ra≤1 nm
			Yüzün	CMP	Ra≤0,2 nm					Ra≤0,5 nm
Yüksek Yoğunluklu Işık Nedeniyle Kenar Çatlakları		Hiçbiri						Kümülatif uzunluk ≤ 10 mm, tek uzunluk≤2 mm
Yüksek Yoğunluklu Işıkla Altıgen Plakalar		Kümülatif alan ≤%0,05						Kümülatif alan ≤%0,1
Yüksek Yoğunluklu Işıkla Politip Alanlar		Hiçbiri						Kümülatif alan≤3%
Görsel Karbon Kapanımları		Kümülatif alan ≤%0,05						Kümülatif alan ≤%3
Yüksek Yoğunluklu Işık Nedeniyle Silikon Yüzey Çizikleri		Hiçbiri						Kümülatif uzunluk≤1＊wafer çapı
Işık Yoğunluğuna Göre Yüksek Kenar Talaşları		Hiçbirine izin verilmez ≥0,2 mm genişlik ve derinlik						5'e izin verilir, her biri ≤1 mm
Yüksek Yoğunlukla Silikon Yüzey Kirliliği		Hiçbiri
Ambalajlama		Çoklu Gofret Kaseti veya Tekli Gofret Kabı