4 inç SiC Wafer'lar 6H Yarı Yalıtımlı SiC Alt Tabakalar birincil, araştırma ve sahte sınıf

Kısa Açıklama:

Yarı yalıtımlı silisyum karbür alt tabakası, yarı yalıtımlı silisyum karbür kristalinin büyütülmesinden sonra kesme, taşlama, parlatma, temizleme ve diğer işleme teknolojileriyle oluşturulur. Epitaksi olarak kalite gereksinimlerini karşılayan alt tabaka üzerine bir katman veya çok katmanlı kristal katman büyütülür ve ardından devre tasarımı ve paketleme birleştirilerek mikrodalga RF cihazı yapılır. 2 inç 3 inç 4 inç gh 6 inç 8 inç endüstriyel, araştırma ve test sınıfı yarı yalıtımlı silisyum karbür tek kristal alt tabakalar olarak mevcuttur.

Bize e-posta gönderin

Ürün Detayı

Ürün Etiketleri

Ürün Özellikleri

Seviye			Sıfır MPD Üretim Sınıfı (Z Sınıfı)			Standart Üretim Sınıfı (P Sınıfı)		Sahte Sınıf (D Sınıfı)
Çap			99,5 mm~100,0 mm
	4H-SI		500 μm±20 μm			500 μm±25 μm
Wafer Yönlendirmesi			Eksen dışı: 4H-N için 4.0°'ye doğru< 1120 > ±0.5°, Eksen üzerinde: 4H-SI için <0001>±0.5°
	4H-SI		≤1cm^-2			≤5 cm^-2		≤15 cm^-2
	4H-SI		≥1E9 Ω·cm					≥1E5 Ω·cm
Birincil Düz Yönlendirme		{10-10} ±5,0°
Birincil Düz Uzunluk		32,5 mm±2,0 mm
İkincil Düz Uzunluk		18,0 mm±2,0 mm
İkincil Düz Yönlendirme		Silikon yüzü yukarı: 90° saat yönü. Prime'dan düz ±5.0°
Kenar Dışlama		3 mm
LTV/TTV/Yay/Çarpık		≤3 μm/≤5 μm/≤15 μm/≤30 μm						≤10 μm/≤15 μm/≤25 μm/≤40 μm
Pürüzlülük			C yüzü				Lehçe		Ra≤1 nm
			Si yüzü	ÇMP	Ra≤0,2 nm					Ra≤0,5 nm
Yüksek Yoğunluklu Işıkla Kenar Çatlakları		Hiçbiri						Toplam uzunluk ≤ 10 mm, tek uzunluk≤2 mm
Yüksek Yoğunluklu Işıkla Altıgen Plakalar		Toplam alan ≤0,05%						Toplam alan ≤0,1%
Yüksek Yoğunluklu Işığa Göre Politip Alanları		Hiçbiri						Toplam alan≤%3
Görsel Karbon Kapanımları		Toplam alan ≤0,05%						Toplam alan ≤%3
Yüksek Yoğunluklu Işık Nedeniyle Silikon Yüzey Çizikleri		Hiçbiri						Toplam uzunluk≤1＊wafer çapı
Kenar Çipleri Yüksek Yoğunluklu Işık		Hiçbirine izin verilmez ≥0,2 mm genişlik ve derinlik						5'e izin verildi, her biri ≤1 mm
Yüksek Yoğunlukla Silisyum Yüzey Kirlenmesi		Hiçbiri
Ambalajlama		Çoklu Gofret Kaset veya Tek Gofret Kabı