4 inç SiC Wafer'lar 6H Yarı Yalıtımlı SiC Alt Tabakalar birinci sınıf, araştırma ve sahte sınıf

Kısa Açıklama:

Yarı yalıtımlı silisyum karbür alt tabaka, yarı yalıtımlı silisyum karbür kristalinin büyütülmesinden sonra kesme, taşlama, parlatma, temizleme ve diğer işleme teknolojileri kullanılarak oluşturulur. Alt tabaka üzerine epitaksi kalite gerekliliklerini karşılayan bir katman veya çok katmanlı kristal katman büyütülür ve ardından devre tasarımı ve paketleme birleştirilerek mikrodalga RF cihazı oluşturulur. 2 inç, 3 inç, 4 inç, 6 inç ve 8 inç boyutlarında endüstriyel, araştırma ve test sınıfı yarı yalıtımlı silisyum karbür tek kristal alt tabakalar olarak mevcuttur.

Bize e-posta gönderin

Özellikler

Ürün Özellikleri

Seviye			Sıfır MPD Üretim Sınıfı (Z Sınıfı)			Standart Üretim Sınıfı (P Sınıfı)		Sahte Sınıf (D Sınıfı)
Çap			99,5 mm~100,0 mm
	4H-SI		500 μm±20 μm			500 μm±25 μm
Wafer Yönlendirmesi			Eksen dışı: 4H-N için 4,0° 1120'ye doğru ±0,5°, Eksen üzerinde: 4H-SI için <0001>±0,5°
	4H-SI		≤1 cm^-2			≤5 cm^-2		≤15 cm^-2
	4H-SI		≥1E9 Ω·cm					≥1E5 Ω·cm
Birincil Düz Yönlendirme		{10-10} ±5,0°
Birincil Düz Uzunluk		32,5 mm±2,0 mm
İkincil Düz Uzunluk		18,0 mm±2,0 mm
İkincil Düz Yönlendirme		Silikon yüzü yukarı: 90° saat yönü. Prime'dan düz ±5.0°
Kenar Dışlama		3 mm
LTV/TTV/Yay/Çarpıtma		≤3 μm/≤5 μm/≤15 μm/≤30 μm						≤10 μm/≤15 μm/≤25 μm/≤40 μm
Pürüzlülük			C yüzü				Lehçe		Ra≤1 nm
			Si yüzü	CMP	Ra≤0,2 nm					Ra≤0,5 nm
Yüksek Yoğunluklu Işıktan Kaynaklanan Kenar Çatlakları		Hiçbiri						Toplam uzunluk ≤ 10 mm, tek uzunluk≤2 mm
Yüksek Yoğunluklu Işıkla Altıgen Plakalar		Toplam alan ≤%0,05						Toplam alan ≤%0,1
Yüksek Yoğunluklu Işığa Göre Politip Alanları		Hiçbiri						Toplam alan ≤%3
Görsel Karbon Kapanımları		Toplam alan ≤%0,05						Toplam alan ≤%3
Yüksek Yoğunluklu Işık Nedeniyle Silikon Yüzey Çizikleri		Hiçbiri						Toplam uzunluk ≤1＊gofret çapı
Yoğunluklu Işığa Göre Yüksek Kenar Çipleri		≥0,2 mm genişlik ve derinliğe izin verilmez						5'e izin verildi, her biri ≤1 mm
Yüksek Yoğunluklu Silikon Yüzey Kirlenmesi		Hiçbiri
Ambalajlama		Çoklu Gofret Kaset veya Tek Gofret Kabı