GaN malzemesinin yetiştirildiği 2 inç, 4 inç ve 6 inç ebatlarında desenli safir altlık (PSS), LED aydınlatma için kullanılabilir.

GaN malzemesinin yetiştirildiği 2 inç, 4 inç ve 6 inç ebatlarında desenli safir alt tabaka (PSS), LED aydınlatma için kullanılabilir. (Öne Çıkan Görsel)

Kısa Açıklama:

Desenli safir alt tabaka (PSS), safir alt tabaka üzerinde kuru aşındırma için kullanılan bir maskedir. Maske, standart litografi işlemiyle bir desenle işlenir, ardından safir ICP aşındırma teknolojisiyle aşındırılır, maske çıkarılır ve son olarak üzerine GaN malzemesi büyütülür, böylece GaN malzemesinin boyuna epitaksisi yatay epitaksiye dönüşür. Bu işlem, fotorezist kaplama, kademeli pozlama, pozlama deseni geliştirme, ICP kuru aşındırma ve temizleme gibi çeşitli adımları içerir.

Bize e-posta gönderin

Özellikler

Ana özellikler

1. Yapısal özellikler:
PSS yüzeyi, şekli, boyutu ve dağılımı aşındırma işlemi parametreleri ayarlanarak kontrol edilebilen düzenli bir koni veya üçgen koni desenine sahiptir.
Bu grafik yapılar, ışığın yayılma yolunu değiştirmeye ve ışığın toplam yansımasını azaltmaya yardımcı olarak, ışık çıkarma verimliliğini artırır.

2. Malzeme özellikleri:
PSS, yüksek sertlik, yüksek ısı iletkenliği, iyi kimyasal kararlılık ve optik şeffaflık özelliklerine sahip yüksek kaliteli safiri alt tabaka malzemesi olarak kullanır.
Bu özellikler, PSS'nin yüksek sıcaklık ve basınç gibi zorlu ortamlara dayanmasını ve mükemmel optik performansını korumasını sağlar.

3. Optik performans:
PSS, GaN ve safir alt tabaka arasındaki arayüzde çoklu saçılmayı değiştirerek, GaN katmanı içinde tamamen yansıyan fotonların safir alt tabakadan kaçma şansı bulmasını sağlar.
Bu özellik, LED'in ışık yayma verimliliğini önemli ölçüde artırır ve LED'in ışık şiddetini yükseltir.

4. Proses özellikleri:
PSS'nin üretim süreci nispeten karmaşıktır ve litografi ve aşındırma gibi birden fazla aşama içerir; ayrıca yüksek hassasiyetli ekipman ve süreç kontrolü gerektirir.
Ancak, teknolojinin sürekli ilerlemesi ve maliyetlerin düşmesiyle birlikte, PSS üretim süreci kademeli olarak optimize edilmekte ve iyileştirilmektedir.

Temel avantaj

1. Işık yayılım verimliliğini artırma: PSS, ışık yayılım yolunu değiştirerek ve toplam yansımayı azaltarak LED'in ışık yayılım verimliliğini önemli ölçüde artırır.

2. LED ömrünü uzatır: PSS, GaN epitaksiyel malzemelerinin dislokasyon yoğunluğunu azaltarak, aktif bölgedeki radyasyonsuz rekombinasyonu ve ters kaçak akımı azaltır ve LED'in ömrünü uzatır.

3. LED parlaklığının iyileştirilmesi: Işık yayılım verimliliğinin artması ve LED ömrünün uzaması sayesinde, PSS üzerindeki LED ışık şiddeti önemli ölçüde artırılmıştır.

4. Üretim maliyetlerini düşürme: PSS'nin üretim süreci nispeten karmaşık olsa da, LED'lerin ışık verimliliğini ve ömrünü önemli ölçüde artırarak üretim maliyetlerini bir ölçüde düşürür ve ürünün rekabet gücünü artırır.

Başlıca uygulama alanları

1. LED aydınlatma: LED çipler için alt tabaka malzemesi olarak PSS, LED'lerin ışık verimliliğini ve ömrünü önemli ölçüde artırabilir.
LED aydınlatma alanında PSS, sokak lambaları, masa lambaları, otomobil farları gibi çeşitli aydınlatma ürünlerinde yaygın olarak kullanılmaktadır.

2. Yarı iletken cihazlar: LED aydınlatmanın yanı sıra, PSS ışık dedektörleri, lazerler vb. gibi diğer yarı iletken cihazların üretiminde de kullanılabilir. Bu cihazlar iletişim, tıp, askeri ve diğer alanlarda geniş bir uygulama yelpazesine sahiptir.

3. Optoelektronik entegrasyon: PSS'nin optik özellikleri ve kararlılığı, onu optoelektronik entegrasyon alanında ideal malzemelerden biri haline getirir. Optoelektronik entegrasyonda, PSS optik sinyallerin iletimini ve işlenmesini gerçekleştirmek için optik dalga kılavuzları, optik anahtarlar ve diğer bileşenler yapmak için kullanılabilir.

Teknik parametreler

Öğe	Desenli Safir Altlık (2~6 inç)
Çap	50,8 ± 0,1 mm	100,0 ± 0,2 mm	150,0 ± 0,3 mm
Kalınlık	430 ± 25 μm	650 ± 25 μm	1000 ± 25 μm
Yüzey Yönelimi	C düzlemi (0001), M eksenine (10-10) doğru açısal sapma 0,2 ± 0,1°
	C düzlemi (0001), A eksenine (11-20) doğru 0 ± 0,1° açıyla sapmıştır.
Birincil Düzlem Yönlendirmesi	A-Düzlemi (11-20) ± 1,0°
Birincil Düz Uzunluk	16,0 ± 1,0 mm	30,0 ± 1,0 mm	47,5 ± 2,0 mm
R-Uçağı	saat 9
Ön Yüzey Kaplaması	Desenli
Arka Yüzey Kaplaması	SSP: İnce öğütülmüş, Ra=0,8-1,2 µm; DSP: Epi cilalı, Ra<0,3 nm
Lazer İşareti	Arka taraf
TTV	≤8μm	≤10μm	≤20μm
YAY	≤10μm	≤15μm	≤25μm
ÇARP	≤12μm	≤20μm	≤30μm
Kenar Hariç Tutma	≤2 mm
Desen Spesifikasyonu	Şekil Yapısı	Kubbe, Koni, Piramit
	Desen Yüksekliği	1,6~1,8 μm
	Desen Çapı	2,75~2,85 μm
	Desen Alanı	0,1~0,3 μm

XKH, desenli safir alt tabaka (PSS) geliştirme, üretim ve satışına odaklanmaktadır ve dünyanın dört bir yanındaki müşterilerine yüksek kaliteli, yüksek performanslı PSS ürünleri sunmayı taahhüt etmektedir. XKH, gelişmiş üretim teknolojisine ve profesyonel teknik ekibe sahiptir; bu sayede müşteri ihtiyaçlarına göre farklı özelliklerde ve farklı desen yapılarında PSS ürünleri özelleştirilebilir. Aynı zamanda XKH, ürün kalitesine ve hizmet kalitesine önem vermekte ve müşterilerine kapsamlı teknik destek ve çözümler sunmayı taahhüt etmektedir. PSS alanında zengin deneyim ve avantajlar biriktiren XKH, LED aydınlatma, yarı iletken cihazlar ve diğer sektörlerin yenilikçi gelişimini birlikte desteklemek için küresel ortaklarla çalışmayı dört gözle beklemektedir.