Yonga levhalarda TTV, BOW, WARP ve TIR ne anlama gelir?

Yarı iletken silikon levhaları veya diğer malzemelerden yapılmış alt tabakaları incelerken, sıklıkla TTV, BOW, WARP ve muhtemelen TIR, STIR, LTV gibi teknik göstergelerle karşılaşırız. Bu parametreler neyi temsil eder?

TTV — Toplam Kalınlık Değişimi
YAY — Yay
ÇARP — Çarpıtma
TIR — Toplam Gösterge Değeri
STIR — Saha Toplam Gösterge Okuması
LTV — Yerel Kalınlık Değişimi

1. Toplam Kalınlık Değişimi — TTV

Yonga levhası sıkıştırıldığında ve yakın temas halindeyken, referans düzlemine göre levhanın maksimum ve minimum kalınlığı arasındaki fark. Genellikle mikrometre (μm) cinsinden ifade edilir ve sıklıkla şu şekilde gösterilir: ≤15 μm.

2. Yay — YAY

Plakanın serbest (sıkıştırılmamış) haldeyken, plaka yüzeyinin merkez noktasından referans düzlemine olan minimum ve maksimum mesafe arasındaki sapma. Bu, hem içbükey (negatif eğrilik) hem de dışbükey (pozitif eğrilik) durumları içerir. Genellikle mikrometre (μm) cinsinden ifade edilir ve sıklıkla şu şekilde gösterilir: ≤40 μm.

3. Warp — WARP

Plakanın serbest (sıkıştırılmamış) haldeyken, plaka yüzeyinden referans düzlemine (genellikle plakanın arka yüzeyi) olan minimum ve maksimum mesafe arasındaki sapma. Bu, hem içbükey (negatif eğrilme) hem de dışbükey (pozitif eğrilme) durumları içerir. Genellikle mikrometre (μm) cinsinden ifade edilir ve sıklıkla şu şekilde gösterilir: ≤30 μm.

4. Toplam Gösterge Değeri — TIR

Yonga levhası sıkıştırılıp yakın temas halindeyken, kalite alanı içindeki veya yonga levhası yüzeyindeki belirli bir yerel bölgedeki tüm noktaların kesişmelerinin toplamını en aza indiren bir referans düzlemi kullanıldığında, TIR, yonga levhası yüzeyinden bu referans düzlemine olan maksimum ve minimum mesafeler arasındaki sapmadır.

TTV, BOW, WARP ve TIR gibi yarı iletken malzeme özelliklerinde derin uzmanlığa dayanan XKH, katı endüstri standartlarına göre uyarlanmış hassas özel wafer işleme hizmetleri sunmaktadır. Safir, silisyum karbür (SiC), silikon wafer, SOI ve kuvars dahil olmak üzere çok çeşitli yüksek performanslı malzemeler tedarik ediyor ve destekliyoruz; bu sayede optoelektronik, güç cihazları ve MEMS'deki gelişmiş uygulamalar için olağanüstü düzlük, kalınlık tutarlılığı ve yüzey kalitesi sağlıyoruz. En zorlu tasarım gereksinimlerinizi karşılayan güvenilir malzeme çözümleri ve hassas işleme konusunda bize güvenebilirsiniz.