Yarı iletken teknolojisinin sürekli gelişmesiyle birlikte, yarı iletken endüstrisinde ve hatta fotovoltaik endüstrisinde, gofret alt tabakasının veya epitaksiyel tabakanın yüzey kalitesine yönelik gereksinimler de oldukça katı hale gelmiştir. Peki, gofretler için kalite gereksinimleri nelerdir?safir levhaÖrneğin, yonga levhalarının yüzey kalitesini değerlendirmek için hangi göstergeler kullanılabilir?
Yonga levhalarının değerlendirme göstergeleri nelerdir?
Üç gösterge
Safir levhalar için değerlendirme göstergeleri toplam kalınlık sapması (TTV), eğilme (Bow) ve çarpılma (Warp) değerleridir. Bu üç parametre birlikte silikon levhanın düzlüğünü ve kalınlık homojenliğini yansıtır ve levhanın dalgalanma derecesini ölçebilir. Dalgalanma, levha yüzeyinin kalitesini değerlendirmek için düzlükle birlikte kullanılabilir.
TTV, BOW, Warp nedir?
TTV (Toplam Kalınlık Değişimi)
TTV, bir yonga levhasının maksimum ve minimum kalınlığı arasındaki farktır. Bu parametre, yonga levhası kalınlığının homojenliğini ölçmek için kullanılan önemli bir göstergedir. Yarı iletken üretiminde, yonga levhasının kalınlığı tüm yüzey boyunca çok homojen olmalıdır. Ölçümler genellikle yonga levhası üzerinde beş farklı noktada yapılır ve aradaki fark hesaplanır. Sonuç olarak, bu değer yonga levhasının kalitesini değerlendirmek için önemli bir temel oluşturur.
Yay
Yarı iletken üretiminde "eğilme" (bow), sıkıştırılmamış bir silikon levhanın orta noktası ile referans düzlemi arasındaki mesafenin serbest bırakılmasıyla oluşan, levhanın bükülmesini ifade eder. Kelime muhtemelen, bir nesnenin büküldüğünde aldığı şekli, örneğin bir yayın kavisli şeklini tanımlamaktan gelmektedir. Eğilme değeri, silikon levhanın merkezi ve kenarı arasındaki sapmanın ölçülmesiyle tanımlanır. Bu değer genellikle mikrometre (µm) cinsinden ifade edilir.
Çarpıtma
Çarpılma, serbestçe sıkıştırılmamış bir silikon levhanın orta noktası ile referans düzlemi arasındaki maksimum ve minimum mesafe arasındaki farkı ölçen, silikon levhaların küresel bir özelliğidir. Silikon levhanın yüzeyinden düzleme olan mesafeyi temsil eder.
TTV, Bow ve Warp arasındaki fark nedir?
TTV, kalınlıktaki değişikliklere odaklanır ve gofretin bükülmesi veya bozulmasıyla ilgilenmez.
Yay, esas olarak orta noktanın ve kenarın eğimini dikkate alarak, genel eğime odaklanır.
Çarpılma daha kapsamlıdır ve tüm yonga yüzeyinin bükülmesini ve kıvrılmasını içerir.
Bu üç parametre silikon levhanın şekli ve geometrik özellikleriyle ilgili olsa da, farklı şekillerde ölçülüp tanımlanırlar ve yarı iletken süreci ve levha işleme üzerindeki etkileri de farklıdır.
Üç parametrenin değeri ne kadar küçükse o kadar iyidir; parametre değeri ne kadar büyükse, yarı iletken işlemine olan olumsuz etkisi de o kadar büyük olur. Bu nedenle, bir yarı iletken uzmanı olarak, tüm işlem süreci için gofret profili parametrelerinin önemini kavramalı ve yarı iletken işlemi yaparken ayrıntılara dikkat etmeliyiz.
(Sansür)
Yayın tarihi: 24 Haz-2024