AvantajlarıCamdan Geçerek (TGV)ve TGV üzerinden Silikon Via (TSV) işlemleri esas olarak şunlardır:
(1) mükemmel yüksek frekanslı elektriksel özellikler. Cam malzeme bir yalıtkan malzemedir, dielektrik sabiti silikon malzemenin yalnızca yaklaşık 1/3'ü kadardır ve kayıp faktörü silikon malzemeninkinden 2-3 büyüklük sırası daha düşüktür, bu da alt tabaka kaybını ve parazitik etkileri büyük ölçüde azaltır ve iletilen sinyalin bütünlüğünü sağlar;
(2)büyük boy ve ultra ince cam alt tabakaelde edilmesi kolaydır. Corning, Asahi ve SCHOTT ve diğer cam üreticileri ultra büyük boyutlu (>2m × 2m) ve ultra ince (<50µm) panel cam ve ultra ince esnek cam malzemeleri sağlayabilir.
3) Düşük maliyet. Büyük boyutlu ultra ince panel camına kolay erişimden yararlanın ve yalıtım katmanlarının biriktirilmesini gerektirmez, cam adaptör plakasının üretim maliyeti silikon bazlı adaptör plakasının yalnızca yaklaşık 1/8'idir;
4) Basit işlem. TGV'nin alt tabaka yüzeyine ve iç duvarına yalıtım tabakası biriktirmeye gerek yoktur ve ultra ince adaptör plakasında inceltme gerekmez;
(5) Güçlü mekanik stabilite. Adaptör plakasının kalınlığı 100 µm'den az olsa bile, eğilme hala küçüktür;
(6) Geniş uygulama yelpazesi, gofret düzeyinde paketleme alanında uygulanan, gofret-gofret arasındaki en kısa mesafeyi elde etmek için ortaya çıkan uzunlamasına ara bağlantı teknolojisidir, ara bağlantının minimum aralığı, mükemmel elektriksel, termal, mekanik özelliklere sahip yeni bir teknoloji yolu sağlar, RF çipinde, üst düzey MEMS sensörlerinde, yüksek yoğunluklu sistem entegrasyonunda ve benzersiz avantajlara sahip diğer alanlarda, yeni nesil 5G, 6G yüksek frekanslı çip 3D'dir. Yeni nesil 5G ve 6G yüksek frekanslı çiplerin 3D paketlenmesi için ilk tercihlerden biridir.
TGV'nin kalıplama işlemi esas olarak kumlama, ultrasonik delme, ıslak aşındırma, derin reaktif iyon aşındırma, ışığa duyarlı aşındırma, lazer aşındırma, lazer kaynaklı derinlik aşındırma ve odaklama deliği oluşumunu içerir.
Son araştırma ve geliştirme sonuçları, teknolojinin 20:1 derinlik-genişlik oranına sahip delikler ve 5:1 kör delikler hazırlayabildiğini ve iyi bir morfolojiye sahip olduğunu göstermektedir. Küçük yüzey pürüzlülüğü ile sonuçlanan lazerle indüklenen derin kazıma, şu anda en çok çalışılan yöntemdir. Şekil 1'de gösterildiği gibi, sıradan lazer delmenin etrafında belirgin çatlaklar vardır, ancak lazerle indüklenen derin kazımanın çevresi ve yan duvarları temiz ve pürüzsüzdür.
İşleme süreciTGVinterpozer Şekil 2'de gösterilmiştir. Genel şema önce cam alt tabakaya delikler açmak ve ardından yan duvar ve yüzeye bariyer tabakası ve tohum tabakası yerleştirmektir. Bariyer tabakası, Cu'nun cam alt tabakaya difüzyonunu önlerken, ikisinin yapışmasını artırır, elbette bazı çalışmalarda bariyer tabakasının gerekli olmadığı da bulunmuştur. Daha sonra Cu, elektrokaplama ile biriktirilir, daha sonra tavlanır ve Cu tabakası CMP ile çıkarılır. Son olarak, RDL yeniden kablolama tabakası PVD kaplama litografisi ile hazırlanır ve tutkal çıkarıldıktan sonra pasifleştirme tabakası oluşturulur.
(a) Yonga hazırlanması, (b) TGV oluşumu, (c) çift taraflı elektrokaplama – bakır biriktirme, (d) tavlama ve CMP kimyasal-mekanik parlatma, yüzey bakır tabakasının çıkarılması, (e) PVD kaplama ve litografi, (f) RDL yeniden kablolama tabakasının yerleştirilmesi, (g) yapıştırıcının çıkarılması ve Cu/Ti aşındırma, (h) pasifleştirme tabakasının oluşturulması.
Özetle,cam deliğinden geçme (TGV)Uygulama beklentileri geniştir ve mevcut iç pazar yükseliş aşamasındadır; ekipmandan ürün tasarımına ve araştırma ve geliştirme büyüme oranı küresel ortalamanın üzerindedir
İhlal varsa, iletişim silinir
Gönderi zamanı: 16-Tem-2024