SiC safir Si GAAs gofret için silisyum karbür seramik tutucu

Kısa Açıklama:

Silisyum Karbür Seramik Tutucu, yarı iletken inceleme, gofret üretimi ve yapıştırma uygulamaları için tasarlanmış yüksek performanslı bir platformdur. Sinterlenmiş SiC (SSiC), reaksiyonla bağlanmış SiC (RSiC), silisyum nitrür ve alüminyum nitrür dahil olmak üzere gelişmiş seramik malzemelerle üretilen bu tutucu, yüksek sertlik, düşük termal genleşme, mükemmel aşınma direnci ve uzun hizmet ömrü sunar.

Bize e-posta gönderin

Özellikler

Ayrıntılı Diyagram

Silisyum Karbür (SiC) Seramik Ayna Genel Bakışı

OSilisyum Karbür Seramik MandrenYarı iletken inceleme, gofret üretimi ve yapıştırma uygulamaları için tasarlanmış yüksek performanslı bir platformdur. Gelişmiş seramik malzemelerle üretilmiştir; bunlar arasında şunlar yer alır:sinterlenmiş SiC (SSiC), reaksiyonla bağlanmış SiC (RSiC), silikon nitrür, Vealüminyum nitrür—bu, sunuyorYüksek sertlik, düşük termal genleşme, mükemmel aşınma direnci ve uzun kullanım ömrü..

Hassas mühendislik ve en son teknolojiyle yapılan parlatma sayesinde, bu mandren üstün performans sunar.Mikron altı düzlük, ayna kalitesinde yüzeyler ve uzun vadeli boyutsal kararlılık.Bu da onu kritik yarı iletken süreçleri için ideal çözüm haline getiriyor.

Başlıca Avantajlar

Yüksek Hassasiyet
Düzlük kontrol altında0,3–0,5 μmBu sayede gofret stabilitesi ve tutarlı işlem doğruluğu sağlanır.
Ayna Parlatma
BaşarırRa 0,02 μmYüzey pürüzlülüğü, yonga üzerindeki çizikleri ve kirlenmeyi en aza indirir; ultra temiz ortamlar için mükemmeldir.
Ultra Hafif
Kuvars veya metal alt tabakalardan daha güçlü ancak daha hafiftir; bu da hareket kontrolünü, tepki hızını ve konumlandırma doğruluğunu artırır.
Yüksek Sertlik
Olağanüstü Young modülü, ağır yükler ve yüksek hızlı çalışma altında boyutsal kararlılık sağlar.
Düşük Termal Genleşme
CTE, silikon levhalarla yakından eşleşerek termal stresi azaltır ve işlem güvenilirliğini artırır.
Üstün Aşınma Direnci
Aşırı sertlik, uzun süreli ve yüksek frekanslı kullanımlarda bile düzgünlüğü ve hassasiyeti korur.

Üretim Süreci

Hammadde Hazırlığı
Kontrollü parçacık boyutuna ve ultra düşük safsızlık oranına sahip yüksek saflıkta SiC tozları.
Şekillendirme ve Sinterleme
Örneğin şu teknikler:basınçsız sinterleme (SSiC) or reaksiyon bağlama (RSiC)Yoğun ve homojen seramik alt tabakalar üretmek.
Hassas İşleme
CNC taşlama, lazerle kesme ve ultra hassas işleme yöntemleri ±0,01 mm tolerans ve ≤3 μm paralellik sağlar.
Yüzey İşlemi
Çok aşamalı taşlama ve parlatma işlemiyle Ra 0,02 μm hassasiyetine ulaşılır; korozyon direnci veya özelleştirilmiş sürtünme özellikleri için isteğe bağlı kaplamalar mevcuttur.
Muayene ve Kalite Kontrolü
İnterferometreler ve yüzey pürüzlülüğü test cihazları, yarı iletken sınıfı özelliklerine uygunluğu doğrular.

Teknik Özellikler

Parametre	Değer	Birim
Düzlük	≤0,5	μm
Gofret boyutları	6'', 8'', 12'' (özel ölçüler mevcuttur)	—
Yüzey tipi	Pim tipi / Halka tipi	—
Pim yüksekliği	0,05–0,2	mm
Minimum pim çapı	ϕ0.2	mm
Minimum pim aralığı	3	mm
Minimum sızdırmazlık halkası genişliği	0.7	mm
Yüzey pürüzlülüğü	Ra 0.02	μm
Kalınlık toleransı	±0,01	mm
Çap toleransı	±0,01	mm
Paralellik toleransı	≤3	μm

Ana Uygulamalar

Yarıiletken gofret inceleme ekipmanı
Yarı iletken levha üretimi ve transfer sistemleri
Yonga levha yapıştırma ve paketleme araçları
Gelişmiş optoelektronik cihaz üretimi
Ultra düz, ultra temiz yüzeyler gerektiren hassas aletler

Soru-Cevap – Silisyum Karbür Seramik Mandren

S1: SiC seramik aynalar, kuvars veya metal aynalarla karşılaştırıldığında nasıl bir performans sergiler?
A1: SiC tutucular daha hafif, daha serttir ve silikon levhalara yakın bir CTE'ye sahiptir, bu da termal deformasyonu en aza indirir. Ayrıca üstün aşınma direnci ve daha uzun ömür sunarlar.

S2: Ne tür bir düzlük elde edilebilir?
A2: Kontrol altında0,3–0,5 μmYarı iletken üretiminin zorlu gereksinimlerini karşılıyor.

S3: Yüzey, yonga levhalarını çizecek mi?
A3: Hayır—ayna gibi parlatılmışRa 0,02 μmBu sayede çiziksiz kullanım ve partikül oluşumunun azalması sağlanır.

S4: Hangi wafer boyutları desteklenmektedir?
A4: Standart boyutlar6'', 8'' ve 12''Özelleştirme seçenekleri mevcuttur.

S5: Isı direnci nasıl?
A5: SiC seramikleri, termal döngü altında minimum deformasyonla mükemmel yüksek sıcaklık performansı sağlar.

Hakkımızda

XKH, özel optik cam ve yeni kristal malzemelerin yüksek teknoloji geliştirme, üretim ve satışında uzmanlaşmıştır. Ürünlerimiz optik elektronik, tüketici elektroniği ve askeri sektörlere hizmet vermektedir. Safir optik bileşenler, cep telefonu lens kapakları, seramik, LT, silisyum karbür (SIC), kuvars ve yarı iletken kristal levhalar sunuyoruz. Nitelikli uzmanlığımız ve son teknoloji ekipmanlarımızla, standart dışı ürün işleme konusunda mükemmelliğe ulaşmayı ve önde gelen bir optoelektronik malzeme yüksek teknoloji kuruluşu olmayı hedefliyoruz.