İçindekiler
1. FOUP'un Genel Bakışı ve Temel İşlevleri
2. FOUP'un Yapı ve Tasarım Özellikleri
3.FOUP'un Sınıflandırılması ve Uygulama Yönergeleri
4. Yarı İletken Üretiminde FOUP'un İşlemleri ve Önemi
5. Teknik Zorluklar ve Gelecekteki Geliştirme Trendleri
6.XKH'nin Özelleştirilmiş Çözümleri ve Hizmet Desteği
Yarı iletken üretim sürecinde, Önden Açılan Birleşik Kapsül (FOUP), yonga plakalarını korumak, taşımak ve depolamak için kullanılan kritik bir kaptır. İç kısmı 25 adet 300 mm yonga plakası alabilir ve ana bileşenleri arasında önden açılan bir kap ve açılıp kapanmaya yarayan özel bir kapı çerçevesi bulunur. FOUP, 12 inç yonga plaka fabrikalarındaki otomatik taşıma sisteminin temel taşıyıcısıdır. Genellikle kapalı halde taşınır ve yalnızca ekipman yükleme portuna itildiğinde açılarak yonga plakalarının ekipmanın yükleme/boşaltma portuna aktarılmasını sağlar.
FOUP'un tasarımı mikro ortam gereksinimlerine uyarlanmıştır. Arkasında gofret yerleştirmek için yuvalar bulunur ve kapak, açıcının kelepçesine uyacak şekilde özel olarak tasarlanmıştır. Gofret taşıma robotları, iletim sırasında gofretlerin kirlenmemesini sağlayan Sınıf 1 temiz hava ortamında çalışır. Ayrıca, FOUP, otomatik malzeme taşıma sistemi (AMHS) aracılığıyla işlem araçları arasında taşınır. Modern gofret fabrikaları, taşıma için çoğunlukla havai ray sistemleri kullanırken, birkaç eski fabrikada yer tabanlı otomatik güdümlü araçlar (AGV'ler) kullanılabilir.
FOUP, otomatik gofret transferini sağlamanın yanı sıra depolama işlevi de görür. Çok sayıda üretim aşaması nedeniyle, gofretlerin tüm süreç akışını tamamlaması aylar sürebilir. Yüksek aylık üretim hacimleriyle birleştiğinde, bu durum bir fabrikadaki on binlerce gofretin herhangi bir anda sürekli olarak transit veya geçici depolamada olduğu anlamına gelir. Depolama sırasında, FOUP'lar kirleticilerin gofretlerle temas etmesini önlemek için periyodik olarak azotla temizlenir ve bu da temiz ve güvenilir bir üretim süreci sağlar.
1. FOUP'un İşlevleri ve Önemi
FOUP'un temel işlevi, özellikle transfer sırasında verim üzerindeki etkileri önleyerek, gofretleri dış darbe ve kontaminasyondan korumaktır. Gaz temizleme ve Yerel Atmosfer Kontrolü (LAC) gibi yöntemlerle nemi etkili bir şekilde önleyerek, gofretlerin bir sonraki üretim aşamasına kadar güvenli bir durumda kalmasını sağlar. Sızdırmaz ve kontrollü sistemi, yalnızca gerekli bileşenlerin ve elementlerin girişine izin vererek, VOC'lerin, oksijenin ve nemin gofretlere olan olumsuz etkilerini önemli ölçüde azaltır.
25 gofretle tamamen dolu bir FOUP'un ağırlığı 9 kilograma kadar çıkabildiğinden, nakliyesi Otomatik Malzeme Taşıma Sistemi (AMHS) ile yapılmalıdır. Bunu kolaylaştırmak için FOUP, çeşitli bağlantı plakaları, pimler ve deliklerden oluşan kombinasyonlarla tasarlanmış ve kolay tanımlama ve sınıflandırma için RFID elektronik etiketleriyle donatılmıştır. Bu otomatik taşıma neredeyse hiç manuel işlem gerektirmez, hata oranlarını büyük ölçüde azaltır ve üretim sürecinin güvenliğini ve doğruluğunu artırır.
2. FOUP'un Yapısı ve Sınıflandırılması
Bir FOUP'un tipik boyutları yaklaşık 420 mm genişlik, 335 mm derinlik ve 335 mm yüksekliktir. Ana yapısal bileşenleri şunlardır: üstten kaldırma tertibatı taşıması için üstte bir OHT (mantar kafa); ekipman plakalarına erişim için bir ön kapı; farklı kirlilik seviyelerine sahip işlem alanlarını ayırt etmek için genellikle renk kodlu yan kulplar; mesaj kartlarını yerleştirmek için bir kart alanı; ve FOUP için benzersiz tanımlayıcı görevi gören ve aletlerin ve üstten kaldırma tertibatlarının FOUP'u tanımasını sağlayan bir alt RFID etiketi. Taban ayrıca, aletlerle eşleştirme ve işlem alanlarını ayırt etmek için dört tanımlama ve konumlandırma deliğiyle donatılmıştır.
Kullanıma göre FOUP'lar üç türe ayrılır: PRD (üretim için), ENG (mühendislik gofretleri için) ve MON (monitör gofretleri için). PRD FOUP'lar ürün üretimi için kullanılabilirken, ENG tipleri Ar-Ge veya deneyler için uygundur ve MON tipleri ise CMP ve DIFF gibi aşamalar için proses izlemeye ayrılmıştır. PRD FOUP'ların hem ENG hem de MON amaçları için, ENG tiplerinin ise MON için kullanılabildiğini, ancak tersinin kalite riskleri oluşturduğunu unutmamak önemlidir.
Kirlilik seviyelerine göre sınıflandırılan FOUP'lar, FE FOUP (ön uç proses, metalsiz), BE FOUP (arka uç proses, metal içerir) ve NI FOUP, CU FOUP ve CO FOUP gibi belirli metal prosesleri için özel olarak tasarlanmış FOUP'lar olarak sınıflandırılabilir. Farklı prosesler için FOUP'lar genellikle yan kulpların veya kapı panellerinin rengine göre ayırt edilir. Ön uç proseslerden gelen FOUP'lar arka uç proseslerde de kullanılabilir, ancak arka uç FOUP'ları asla ön uç proseslerde kullanılmamalıdır, çünkü bu kontaminasyon risklerine neden olur.
Yarı iletken üretiminde önemli bir taşıyıcı olan FOUP, yüksek otomasyon ve sıkı kontaminasyon kontrolü sayesinde üretim sürecinde gofretlerin güvenliğini ve temizliğini garanti altına alarak modern gofret fabrikalarında vazgeçilmez bir altyapı haline geliyor.
Çözüm
XKH, müşterilerine özel proses gereksinimlerinize ve ekipman arayüz spesifikasyonlarınıza sıkı sıkıya bağlı kalarak, son derece özelleştirilmiş Önden Açılan Birleşik Kapsül (FOUP) çözümleri sunmaya kendini adamıştır. Gelişmiş malzeme teknolojisi ve hassas üretim süreçlerinden yararlanarak, her FOUP ürününün olağanüstü hava geçirmezlik, temizlik ve mekanik stabilite sağlamasını garanti ediyoruz. Teknik ekibimiz, seçim danışmanlığından yapısal optimizasyona, temizlik ve bakıma kadar kapsamlı yaşam döngüsü desteği sunarak, FOUP ile Otomatik Malzeme Taşıma Sisteminiz (AMHS) ve işleme ekipmanınız arasında kusursuz entegrasyon ve verimli iş birliği sağlar. Temel hedeflerimiz olarak, yonga plakalarının güvenliğini ve üretim veriminin artırılmasını sürekli olarak önceliklendiriyoruz. Yenilikçi ürünler ve kapsamlı teknik hizmetler aracılığıyla, yarı iletken üretim süreçleriniz için güçlü bir garanti sağlıyor ve sonuç olarak üretim verimliliğini ve ürün verimini artırıyoruz.
Gönderi zamanı: 08-09-2025