Yüksek Hacimli Yarı İletken Üretimi için 12 İnç Safir Levha

Kısa Açıklama:

12 inçlik safir levha, geniş alanlı, yüksek verimli yarı iletken ve optoelektronik üretimindeki artan talebi karşılamak üzere tasarlanmıştır. Cihaz mimarileri ölçeklenmeye devam ettikçe ve üretim hatları daha büyük levha formatlarına doğru ilerledikçe, ultra geniş çaplı safir alt tabakalar verimlilik, verim optimizasyonu ve maliyet kontrolünde belirgin avantajlar sunmaktadır.

Bize e-posta gönderin

Özellikler

Ayrıntılı Diyagram

12 inç safir levhanın tanıtımı

Yüksek saflıkta tek kristalli Al₂O₃'ten üretilen 12 inçlik safir levhalarımız, mükemmel mekanik dayanıklılık, termal kararlılık ve yüzey kalitesini bir araya getiriyor. Optimize edilmiş kristal büyümesi ve hassas levha işleme sayesinde, bu alt tabakalar gelişmiş LED, GaN ve özel yarı iletken uygulamaları için güvenilir performans sunar.

Malzeme Özellikleri

Safir (tek kristalli alüminyum oksit, Al₂O₃), olağanüstü fiziksel ve kimyasal özellikleriyle bilinir. 12 inçlik safir levhalar, safir malzemenin tüm avantajlarını korurken çok daha geniş bir kullanılabilir yüzey alanı sağlar.

Başlıca malzeme özellikleri şunlardır:

Son derece yüksek sertlik ve aşınma direnci
Mükemmel termal kararlılık ve yüksek erime noktası
Asitlere ve alkalilere karşı üstün kimyasal direnç.
UV'den IR dalga boylarına kadar yüksek optik geçirgenlik.
Mükemmel elektrik yalıtım özellikleri

Bu özellikler, 12 inçlik safir levhaları zorlu işleme ortamları ve yüksek sıcaklıktaki yarı iletken üretim süreçleri için uygun hale getirir.

Üretim Süreci

12 inçlik safir levhaların üretimi, gelişmiş kristal büyüme ve ultra hassas işleme teknolojileri gerektirir. Tipik üretim süreci şunları içerir:

Tek Kristal Büyümesi
Yüksek saflıkta safir kristalleri, KY veya diğer geniş çaplı kristal büyütme teknolojileri gibi gelişmiş yöntemler kullanılarak yetiştirilir; bu da düzgün kristal yönelimini ve düşük iç gerilimi sağlar.
Kristal Şekillendirme ve Dilimleme
Safir külçesi, yüzey altı hasarını en aza indirmek için yüksek hassasiyetli kesme ekipmanı kullanılarak hassas bir şekilde şekillendirilir ve 12 inçlik dilimler halinde kesilir.
Taşlama ve Parlatma
Mükemmel yüzey pürüzlülüğü, düzlük ve kalınlık homojenliği elde etmek için çok aşamalı taşlama ve kimyasal mekanik parlatma (CMP) işlemleri uygulanır.
Temizlik ve Muayene
Her 12 inçlik safir levha, yüzey kalitesi, TTV, eğrilik, çarpılma ve kusur analizi de dahil olmak üzere kapsamlı bir temizlik ve sıkı denetimden geçer.

Uygulamalar

12 inçlik safir levhalar, aşağıdakiler de dahil olmak üzere gelişmiş ve yeni ortaya çıkan teknolojilerde yaygın olarak kullanılmaktadır:

Yüksek güçlü ve yüksek parlaklıklı LED alt tabakaları
GaN tabanlı güç cihazları ve RF cihazları
Yarı iletken ekipman taşıyıcı ve yalıtım alt tabakaları
Optik pencereler ve geniş alanlı optik bileşenler
Gelişmiş yarı iletken paketleme ve özel işlem taşıyıcıları

Geniş çap, seri üretimde daha yüksek verimlilik ve daha iyi maliyet etkinliği sağlar.

12 İnç Safir Levhaların Avantajları

Daha yüksek cihaz çıktısı için daha geniş kullanılabilir alan, gofret başına daha yüksek üretim kapasitesi.
Süreç tutarlılığı ve homojenliğinde iyileşme
Yüksek hacimli üretimde cihaz başına maliyetin düşürülmesi
Büyük boyutlu ürünlerin taşınması için mükemmel mekanik dayanıklılık.
Farklı uygulamalar için özelleştirilebilir özellikler

Özelleştirme Seçenekleri

12 inçlik safir levhalar için esnek özelleştirme seçenekleri sunuyoruz, bunlar arasında şunlar yer alıyor:

Kristal yönelimi (C düzlemi, A düzlemi, R düzlemi, vb.)
Kalınlık ve çap toleransı
Tek taraflı veya çift taraflı parlatma
Kenar profili ve pah tasarımı
Yüzey pürüzlülüğü ve düzlük gereksinimleri

Parametre	Özellikler	Notlar
Yonga Çapı	12 inç (300 mm)	Standart geniş çaplı gofret
Malzeme	Tek kristalli Safir (Al₂O₃)	Yüksek saflıkta, elektronik/optik sınıfı
Kristal Yönelimi	C düzlemi (0001), A düzlemi (11-20), R düzlemi (1-102)	İsteğe bağlı oryantasyon seçenekleri mevcuttur.
Kalınlık	430–500 μm	İsteğe bağlı olarak özel kalınlık temin edilebilir.
Kalınlık Toleransı	±10 μm	Gelişmiş cihazlar için sıkı tolerans.
Toplam Kalınlık Değişimi (TTV)	≤10 μm	Yonga levhaları üzerinde homojen işlemeyi sağlar.
Yay	≤50 μm	Tüm yonga levhası üzerinden ölçülmüştür.
Çarpıtma	≤50 μm	Tüm yonga levhası üzerinden ölçülmüştür.
Yüzey İşlemi	Tek taraflı cilalı (SSP) / Çift taraflı cilalı (DSP)	Yüksek optik kalitede yüzey
Yüzey Pürüzlülüğü (Ra)	≤0,5 nm (cilalanmış)	Epitaksiyel büyüme için atomik düzeyde pürüzsüzlük
Kenar Profili	Pah / Yuvarlak kenar	Taşıma sırasında kırılmayı önlemek için
Yönlendirme Doğruluğu	±0,5°	Epitaksiyel tabakanın doğru şekilde büyümesini sağlar.
Hata Yoğunluğu	<10 cm⁻²	Optik muayene ile ölçülmüştür.
Düzlük	≤2 μm / 100 mm	Düzgün litografi ve epitaksiyel büyüme sağlar.
Temizlik	100. Sınıf – 1000. Sınıf	Temiz oda uyumlu
Optik İletim	>%85 (UV–IR)	Dalga boyuna ve kalınlığa bağlıdır.

12 İnç Safir Levha Hakkında Sıkça Sorulan Sorular

S1: 12 inçlik bir safir levhanın standart kalınlığı nedir?
A: Standart kalınlık aralığı 430 μm ile 500 μm arasındadır. Müşteri taleplerine göre özel kalınlıklar da üretilebilir.

S2: 12 inçlik safir levhalar için hangi kristal yönelimleri mevcuttur?
A: C düzlemi (0001), A düzlemi (11-20) ve R düzlemi (1-102) yönlendirmeleri sunuyoruz. Diğer yönlendirmeler, belirli cihaz gereksinimlerine göre özelleştirilebilir.

S3: Yonga levhasının toplam kalınlık değişimi (TTV) nedir?
A: 12 inçlik safir levhalarımız tipik olarak 10 μm'den daha düşük bir TTV değerine sahiptir ve bu da yüksek kaliteli cihaz üretimi için levha yüzeyinin tamamında homojenlik sağlar.

Hakkımızda

XKH, özel optik cam ve yeni kristal malzemelerin yüksek teknoloji geliştirme, üretim ve satışında uzmanlaşmıştır. Ürünlerimiz optik elektronik, tüketici elektroniği ve askeri sektörlere hizmet vermektedir. Safir optik bileşenler, cep telefonu lens kapakları, seramik, LT, silisyum karbür (SIC), kuvars ve yarı iletken kristal levhalar sunuyoruz. Nitelikli uzmanlığımız ve son teknoloji ekipmanlarımızla, standart dışı ürün işleme konusunda mükemmelliğe ulaşmayı ve önde gelen bir optoelektronik malzeme yüksek teknoloji kuruluşu olmayı hedefliyoruz.